公开(公告)号：EP3963036B1

公开(公告)日：2024-07-10

申请号：EP20798029.3

申请日：2020-04-23

IPC分类号： C09K13/00 ,  H01L21/3213

CPC分类号： C09K13/00 ,  H01L21/32134

公开(公告)号：EP4034605B1

公开(公告)日：2024-01-17

申请号：EP20867124.8

申请日：2020-09-18

发明人： LIANG, Yannan ,  WEN, Liqing ,  HU, Bin ,  LIN, Tawei

IPC分类号： C09G1/00 ,  C09G1/02 ,  C23F1/10 ,  C23F3/04 ,  H01L21/321

公开(公告)号：EP4045226B1

公开(公告)日：2024-01-03

申请号：EP20875901.9

申请日：2020-10-06

发明人： LIANG, Yannan ,  HU, Bin ,  WEN, Liqing ,  CHANG, Shu-Wei

IPC分类号： B24B1/00 ,  C09G1/02 ,  H01L21/02 ,  B24B37/04 ,  C09K3/14 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/321

公开(公告)号：EP3248673B1

公开(公告)日：2021-04-07

申请号：EP17158131.7

申请日：2017-02-27

发明人： CHOU, Shih-Pin ,  CHANG, Wen-Hung ,  MAHULIKAR, Deepak ,  VARGA, Tamas ,  MISHRA, Abhudaya

IPC分类号： B01F3/12 ,  C09G1/02 ,  B01F15/00 ,  B01F13/10 ,  B01F7/00 ,  B01F5/10 ,  B01F3/22 ,  B01F15/04 ,  B24B57/00 ,  B24B57/02

公开(公告)号：EP3735325A1

公开(公告)日：2020-11-11

申请号：EP18898847.1

申请日：2018-12-18

申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.

发明人： WOJTCZAK, William A. ,  MIZUTANI, Atsushi ,  PARK, Keeyoung

IPC分类号： B08B3/08 ,  B08B9/08 ,  C11D3/16

公开(公告)号：EP3639293A1

公开(公告)日：2020-04-22

申请号：EP18816870.2

申请日：2018-06-15

申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A., Inc.

发明人： MALIK, Sanjay ,  REINERTH, William, A.

IPC分类号： H01L21/02 ,  C08L59/00 ,  G03F7/004 ,  H01L23/538

公开(公告)号：EP3631045A1

公开(公告)日：2020-04-08

申请号：EP18805643.6

申请日：2018-05-21

申请人： Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc.

发明人： LIANG, Yannan ,  WEN, Liqing ,  HU, Bin ,  LEE, Hyosang ,  CHANG, Shu-Wei ,  LIN, Sung Tsai ,  LIN, Tawei

IPC分类号： C23F1/28

公开(公告)号：EP3241075B1

公开(公告)日：2024-10-16

申请号：EP15876079.3

申请日：2015-12-28

发明人： DU, Bing ,  DORY, Thomas ,  WOJTCZAK, William A.

IPC分类号： G03F7/42 ,  H01L21/311 ,  C11D3/00 ,  C11D3/28 ,  C11D3/30 ,  C11D7/26 ,  C11D7/32 ,  C11D3/20 ,  C11D3/43

公开(公告)号：EP4423205A1

公开(公告)日：2024-09-04

申请号：EP22887973.0

申请日：2022-10-21

申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.

发明人： LIANG, Yannan ,  HU, Bin ,  MISHRA, Abhudaya ,  HUANG, Ting-Kai ,  ZHANG, Yibin ,  JOHNSTON, James ,  MCDONOUGH, James

IPC分类号： C09G1/02 ,  C23F3/04

CPC分类号： H01L21/3212 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463

公开(公告)号：EP3850123B1

公开(公告)日：2024-01-03

申请号：EP19860312.8

申请日：2019-08-08

发明人： TAKAHASHI, Tomonori ,  GONZALEZ, Frank

IPC分类号： C23F1/26 ,  C23F1/44 ,  C09K13/06 ,  H01L21/311 ,  H01L21/3213