Lineargeber mit Kalibrierfunktionalität
    74.
    发明公开
    Lineargeber mit Kalibrierfunktionalität 有权
    直线光栅校准功能

    公开(公告)号:EP2908098A1

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:EP14155609.2

    申请日:2014-02-18

    IPC分类号: G01D5/244

    摘要: Lineargeber (100) mit einer eine Positionscodemarkierung (3c) aufweisender Massverkörperung (3), einem ein Kalibriermittel aufweisenden Lesekopf (1) und einer Steuer-und Auswerteeinheit (2) und Kalibrierverfahren zum Kalibrieren eines Positionscodes (3c) aus Codeelementen (20) mit dem Lesekopf (1). Der Lesekopf (1) weist eine Sensoreinheit (4) mit wenigstens zwei Erfassungsbezugspunkten (R1, R2) auf, deren Erfassungsabstand wenigstens ein Eichmass (s, s1, s2, s3) hochpräzise festlegt. Im Rahmen des Kalibrierverfahrens werden kalibrierte Positionswerte (K20b, K20c, K27b, K27c, K28b, K28c) für Codeelemente (20) mit Hilfe des hochpräzis bestimmten Eich-masses (s, s1, s2, s3) erstellt und in der Steuer- und Auswerteeinheit (2) hinterlegt.

    摘要翻译: 线性编码器(100),其具有方向与位置代码标记(3c)的比例的实施例(3),一个校准装置具有用于与所述校准代码元素的位置的代码(3C)(20)的读取头(1)和一个控制和评估单元(2)和校准方法 读头(1)。 读头(1)具有的传感器单元(4)具有至少两个检测参考点(R1,R2),至少一个校准量度的检测距离(S,S1,S2,S3)确定精度高。 作为校准过程的一部分被用于代码元素(20)具有高精度定的校准块(S,S1,S2,S3)被创建的帮助,并在控制和评估单元校准位置值(K20b,K20C,K27b,K27C,K28b,K28c) (2)沉积的。

    SHAPE MEASURING METHOD AND DEVICE
    75.
    发明公开
    SHAPE MEASURING METHOD AND DEVICE 审中-公开
    无形中的

    公开(公告)号:EP2905576A1

    公开(公告)日:2015-08-12

    申请号:EP13843473.3

    申请日:2013-10-02

    申请人: Hitachi, Ltd.

    IPC分类号: G01B11/12 G01B11/24 G01C3/06

    摘要: The purpose of the present invention is to provide a shape inspection device that improves, without making the device larger, durability and measurement precision by measuring a plurality of points with a single distance sensor. The present invention provides a shape measuring device that measures the shape of an object to be measured and that comprises: a distance sensor that calculates the distance to the object to be measure by irradiating a measurement light toward the object to be measured and detecting the reflected light from the object to be measured; a separating unit that separates the measurement light from the distance sensor into a plurality of measurement light rays to be irradiated onto a plurality of measuring points; and a selecting unit that selects, from the plurality of measurement light beams separated by the separating unit, the measurement light to irradiate the object to be measured.

    摘要翻译: 本发明的目的是提供一种形状检查装置,其通过用单个距离传感器测量多个点来改善,而不使装置更大,耐久性和测量精度。 本发明提供了一种测量待测物体的形状的形状测量装置,其特征在于,包括:距离传感器,其通过向测量对象物体照射测量光并计算被测物体的反射距离 来自待测物体的光; 分离单元,其将来自距离传感器的测量光分离成多个待照射到多个测量点上的测量光; 以及选择单元,其从由分离单元分离的多个测量光束中选择测量光以照射被测量物体。

    MONITOR SYSTEM FOR DETERMINING ORIENTATIONS OF MIRROR ELEMENTS AND EUV LITHOGRAPHY SYSTEM
    76.
    发明公开
    MONITOR SYSTEM FOR DETERMINING ORIENTATIONS OF MIRROR ELEMENTS AND EUV LITHOGRAPHY SYSTEM 有权
    监测系统用于确定镜面组件和EUV光刻系统的指引

    公开(公告)号:EP2904454A1

    公开(公告)日:2015-08-12

    申请号:EP13774079.1

    申请日:2013-10-07

    IPC分类号: G03F7/20 G02B26/08

    摘要: An optical system comprising a mirror system (19) comprising a plurality of mirror elements (23), wherein orientations of the mirror elements can be set independently of one another, and a monitor system (52) configured to determine the orientations of the mirror elements (23). The monitor system comprises: a monitor radiation source (57) configured to illuminate the plurality of mirror elements with light (55) having a plurality of different wavelengths; a monitor lens (59) having an object plane (61), an image plane (63), and a pupil plane (77) arranged between the object plane and the image plane; a color filter (78) having wavelength-dependent transmission properties which differ from one another at different positions; and a spatially resolving and wavelength-resolving light detector (67) having a detection area (65); wherein the mirror elements (23) are arranged in a region of the object plane (61) of the monitor lens (59); wherein the detection area (65) of the light detector (67) is arranged in a region of the image plane (63) of the monitor lens (59); and wherein the color filter (78) is arranged in a region of the pupil plane (77) of the monitor lens (59).

    Dispositif de détection de la position des aiguilles d'une montre
    80.
    发明公开
    Dispositif de détection de la position des aiguilles d'une montre 有权
    装置用于检测所述时钟指针的位置

    公开(公告)号:EP2869140A1

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:EP13190872.5

    申请日:2013-10-30

    IPC分类号: G04C17/00

    摘要: Dispositif de détection de la position d'au moins une première et une seconde aiguilles (10, 12) d'une montre électromécanique, ces première et seconde aiguilles (10, 12) se déplaçant au-dessus d'un cadran (8), le dispositif de détection (1) comprenant une unique source de lumière (2) émettant un faisceau lumineux (14) en direction des première et seconde aiguilles (10, 12), et un premier et un second systèmes de détection de la lumière (4, 22), la source de lumière (2) et les premier et second systèmes de détection de la lumière (4, 22) étant montés sur ou sous le cadran (8), la source de lumière (2) et les premier et second systèmes de détection de la lumière (4, 22) étant agencés de façon que, dans une position déterminée de la première aiguille (10), le faisceau lumineux (14) émis par la source de lumière (2) est réfléchi par la première aiguille (10) en direction du premier système de détection (4), et dans une position déterminée de la seconde aiguille (12), le faisceau lumineux (14) émis par la source de lumière (2) est réfléchi par la seconde aiguille (12) en direction du second système de détection (22).