公开(公告)号：EP0179196B1

公开(公告)日：1989-01-04

申请号：EP85107231.4

申请日：1985-06-13

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： Fang, Frank Fu ,  Grossman, Bertrand M. ,  Hwang, Wei

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/28 ,  H01L21/265

CPC分类号： H01L29/66659 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/26586 ,  H01L21/2815 ,  H01L29/42376 ,  H01L29/66545 ,  Y10S148/082

公开(公告)号：EP0169020B1

公开(公告)日：1988-10-26

申请号：EP85304901.3

申请日：1985-07-09

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： Hovel, Harold John ,  Kuech, Thomas Francis

IPC分类号： C23C14/48 ,  H01L21/265

CPC分类号： C23C14/0617 ,  C23C14/58 ,  C23C14/5806 ,  C23C14/5893 ,  H01L21/26546 ,  H01L21/3245

公开(公告)号：EP0097248B1

公开(公告)日：1988-08-24

申请号：EP83104959.8

申请日：1983-05-19

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： Engelman, Jeffery Alan ,  Sanford, James Lawrence

IPC分类号： G05F3/20

CPC分类号： G05F3/22

公开(公告)号：EP0135179B1

公开(公告)日：1988-08-03

申请号：EP84110261.9

申请日：1984-08-29

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： Baum, Thomas Hall ,  Houle, Frances Anne ,  Jones, Carol Ruth

IPC分类号： C23C16/18 ,  C23C16/48

CPC分类号： C23C16/18 ,  H05K3/146

公开(公告)号：EP0082331B1

公开(公告)日：1988-06-08

申请号：EP82110812.3

申请日：1982-11-23

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： Muggli, Raymond Allen

IPC分类号： H01L29/90

CPC分类号： H01L29/866

公开(公告)号：EP0113074B1

公开(公告)日：1988-05-25

申请号：EP83112244.5

申请日：1983-12-06

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： Chappell, Terry Ivan ,  Woodall, Jerry MacPherson

IPC分类号： H01L27/14 ,  H01L31/10 ,  H03K19/14

CPC分类号： H01L27/14643 ,  A61M2025/1059 ,  H01L31/101 ,  H03K19/14

公开(公告)号：EP0130495B1

公开(公告)日：1988-03-30

申请号：EP84107149.1

申请日：1984-06-22

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： Johnson, Mark

IPC分类号： G11B5/82

CPC分类号： G11B5/5526 ,  B82Y10/00 ,  G11B5/59677 ,  G11B5/59688 ,  G11B5/743 ,  G11B5/82 ,  G11B21/085 ,  G11B23/42

公开(公告)号：EP0148357B1

公开(公告)日：1988-02-10

申请号：EP84113329.1

申请日：1984-11-06

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： Kuech, Thomas Francis ,  Meyerson, Bernard Steele

IPC分类号： C30B25/02 ,  H01L21/205

CPC分类号： H01L21/0262 ,  H01L21/02546 ,  H01L21/02576 ,  Y10S252/951 ,  Y10S438/925

公开(公告)号：EP0123130B1

公开(公告)日：1987-08-05

申请号：EP84103040.6

申请日：1984-03-20

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： Davis, Richard Allen ,  Moss, Stanton Kline ,  Wang, Sang-Yen

IPC分类号： H05K7/20

CPC分类号： G11B33/142 ,  H05K7/206

公开(公告)号：EP0220578A2

公开(公告)日：1987-05-06

申请号：EP86114063.0

申请日：1986-10-10

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： Hinsberg, William Dinan ,  Willson, Carlton Grant

IPC分类号： G03F7/02 ,  G03F7/08 ,  G03F7/10

CPC分类号： G03F7/095 ,  G03F7/008 ,  G03F7/0226

摘要： A photoresist composition comprising a matrix resin and two photo­active additives, one of which causes acceleration of dissolution upon irradiation and one of which causes deceleration of dissolution upon irradiation, the photoactive additives being such that the dissolution-­accelerating additive is activated by at least one narrow bandwidth of radiation which does not activate the dissolution-decelerating additive. Self aligned multilayer or multi-level structures can be made by a process using that photoresist composition.

摘要翻译： 一种光致抗蚀剂组合物，其包含基质树脂和两种光活性添加剂，其中之一导致照射时加速溶解，其中一种导致照射时溶解减慢，光活性添加剂使得溶解促进添加剂被至少一个窄的 不激活溶解减速添加剂的辐射带宽。 可以通过使用该光致抗蚀剂组合物的方法制备自对准多层或多层结构。