摘要:
Eine mit schlitzförmigen Ventilöffnungen (16) versehene bewegliche Ventilplatte (14) ist zwischen zwei feststehenden, miteinander verbundenen und entsprechende schlitzförmige Ventilöffnungen (16) aufweisenden Ventilplatten (10, 12) verschiebbar angeordnet. Ein elektrostatischer Antrieb ist mit den Ventilplatten (10, 12, 14) integriert. Er besteht aus streifenförmigen Elektroden (20, 22), die jeweils entsprechenden Elektroden einer anderen Ventilplatte gegenüberliegen. Durch Anlegen geeigneter Steuerpotentiale gleichen oder entgegengesetzten Vorzeichens an die Elektroden verschiedener Ventilplatten werden die zur Bewegung der beweglichen Ventilplatte (14) erforderlichen Stellkräfte erzeugt.
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Eine mit schlitzförmigen Ventilöffnungen (16) versehene bewegliche Ventilplatte (14) ist zwischen zwei feststehenden, miteinander verbundenen und entsprechende schlitzförmige Ventilöffnungen (16) aufweisenden Ventilplatten (10, 12) verschiebbar angeordnet. Ein elektrostatischer Antrieb ist mit den Ventilplatten (10, 12, 14) integriert. Er besteht aus streifenförmigen Elektroden (20, 22), die jeweils entsprechenden Elektroden einer anderen Ventilplatte gegenüberliegen. Durch Anlegen geeigneter Steuerpotentiale gleichen oder entgegengesetzten Vorzeichens an die Elektroden verschiedener Ventilplatten werden die zur Bewegung der beweglichen Ventilplatte (14) erforderlichen Stellkräfte erzeugt.
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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines passiven optischen Bauelements mit einem oder mehreren Echelette-Gittern sowie wenigstens einem Anschluß für polychromatisches Licht und mehren Anschlüssen für monochromatisches Licht sowie nach diesem Verfahren hergestellte Bauelemente. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein passives optisches Bauelement der gattungsgemäßen Art herzustellen, bei dem die Fertigung der Komponenten in gemeinsamen Arbeitsgängen unter Wegfall einer gesonderten Justierung ermöglicht wird. Dies wird dadurch gelöst, daß die optischen Komponenten des Bauelements einschließlich des oder der Echelette-Gitter auf röntgentiefenlithographischem, röntgentiefenlithographisch-galvanoplastischem oder auf hiervon abgeleitetem abformtechnischem Wege hergestellt werden, wobei die Gitterlinien parallel zur Röntgenstrahlung verlaufen.
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Filters mit einer mikroporösen Membran und einer hiermit verbundenen Stützstruktur sowie ein nach diesem Verfahren hergestelltes Filter. Die Erfindung hat zur Aufgabe, ein Verfahren zur Herstellung eines Filters der gattungsgemäßen Art zu schaffen, das es gestattet, die Verteilung und die Querschnittsform der Poren der mikroporösen Membran sowie der Geometrie der Stützstruktur genau und ohne statistische Schwankungen nach einer frei wählbaren Vorgabe einzuhalten; sie ist gekennzeichnet durch folgende Schritte:
a) Herstellen einer Form für die Membran und die Stützstruktur; b) Ausformen der Form mit einem durch energiereiche Strahlung in seiner Löslichkeit veränderbaren Formstoff; c) partielles Durchstrahlen der Membran mit ernergiereicher Strahlung und Entfernen der Breiche, die eine erhöhte Löslichkeit haben.
摘要:
Die Erfindung betrifft Querstrom-Mikrofilter, bestehend aus einem Filtergehäuse mit einem Strömungsraum (6), dem das zu filternde Fluidum (7) auf einer Seite (8) zugeführt und dem auf der der Zuströmseite (8) abgekehrten Seite (11) das Konzentrat (15) entnommen wird, mit einem Sammelraum (9), aus dem das Filtrat (16) abgeführt wird, sowie mit wenigstens einer mikroporösen Membran (5), deren eine Oberfläche parallel von dem zu filternden Fluidum (7) überströmt wird und deren andere Oberfläche zum Sammelraum (9) weist, wobei die Poren eine Weite von 0,1 bis 30 µm haben. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Querstrom-Mikrofilter der gattungsgemäßen Art die Membran (5) so zu gestalten, daß dem jeweiligen Anwendungszweck entsprechend bei einheitlicher und vorherbestimmbarer Weite der Poren eine große Transparenz - und damit ein geringer Strömungswiderstand erzielt wird. Dies wird dadurch gelöst, daß
a) die Poren der Membran (5) schlitzförmige Querschnitte (4) aufweisen, die b) von einer Vielzahl von in vorherbestimmbaren Abständen reihenartig angeordneten Stegen (3) mit vorgebbaren Profilen und zwei gemeinsamen, die Stirnkanten (13, 14) der Stege (3) überdeckenden Abschlußplatten (1, 10) gebildet sind, und daß c) die Stege (3) auf röntgenlithographischem, auf röntgenlithographisch-galvanoplastischem oder auf hiervon abgeleitetem abformtechnischem bzw. abformtechnisch-galvanoplastischem Wege auf einer der beiden Abschlußplatten (1, 10) aufgebracht sind.