公开(公告)号：EP2331946B1

公开(公告)日：2018-12-26

申请号：EP09791973.2

申请日：2009-08-27

申请人： Carl Zeiss Microscopy, LLC

发明人： RAHMAN, FHM-Faridur ,  FARKAS, Louis, S., III ,  NOTTE, John, A., IV

IPC分类号： G01N23/225 ,  H01J37/08 ,  H01J27/26 ,  H01J37/05 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/24514

摘要： Ion microscope methods and systems are disclosed. In general, the systems and methods provide high ion beam stability.