公开(公告)号：EP2778120A4

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：EP12847351

申请日：2012-11-09

申请人： ELECTRONICS CO LTD U

发明人： HAN YONG HEE ,  KIM HYUNG WON ,  AHN MI SOOK

IPC分类号： B81C1/00 ,  B81B7/02 ,  G01P15/00 ,  H01L21/48

CPC分类号： B81B7/0038 ,  B81B7/007 ,  B81B2201/0207 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2207/096 ,  B81C1/00269 ,  B81C1/00285 ,  B81C2203/0118 ,  G01P15/0802 ,  H01L31/02016 ,  H01L2224/291 ,  H01L2924/014