公开(公告)号：EP3957083A1

公开(公告)日：2022-02-23

申请号：EP20720409.0

申请日：2020-04-16

申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： KAISER, Bert ,  EHRIG, Lutz

IPC分类号： H04R19/00 ,  H04R17/00 ,  H04R1/22 ,  H04R31/00

公开(公告)号：EP3878804A1

公开(公告)日：2021-09-15

申请号：EP21168756.1

申请日：2016-06-14

申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： SCHENK, Harald ,  CONRAD, Holger ,  GAUDET, Matthieu ,  SCHIMMANZ, Klaus ,  LANGA, Sergiu ,  KAISER, Bert

IPC分类号： B81C1/00 ,  H04R9/02 ,  H04R15/00 ,  H04R17/00 ,  H04R19/00 ,  H04R23/00 ,  B81B3/00

摘要： Ein MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids umfasst ein Substrat, das eine Kavität aufweist; und einen elektromechanischen Wandler, der mit dem Substrat in der Kavität verbunden ist und ein sich entlang einer lateralen Bewegungsrichtung verformbares Element aufweist, wobei eine Verformung des verformbaren Elements in-plane entlang der lateralen Bewegungsrichtung und der Volumenstrom des Fluids kausal zusammenhängen. Das Substrat weist ein Substratfederelement benachbart zu einem Bereich aufweist an dem der elektromechanische Wandler mit dem Substrat verbunden ist.

公开(公告)号：EP3931623A1

公开(公告)日：2022-01-05

申请号：EP20713173.1

申请日：2020-02-26

申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： DRABE, Christian ,  KAISER, Bert

IPC分类号： G02B26/08 ,  B81B3/00

公开(公告)号：EP3867191A1

公开(公告)日：2021-08-25

申请号：EP18789592.5

申请日：2018-10-16

申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： SCHENK, Hermann ,  KAISER, Bert ,  EHRIG, Lutz

IPC分类号： B81B3/00 ,  H02N1/00

公开(公告)号：EP3308555A2

公开(公告)日：2018-04-18

申请号：EP16729884.3

申请日：2016-06-14

申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： SCHENK, Harald ,  CONRAD, Holger ,  GAUDET, Matthieu ,  SCHIMMANZ, Klaus ,  LANGA, Sergiu ,  KAISER, Bert

IPC分类号： H04R19/00 ,  B81C1/00

CPC分类号： B81B3/0021 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/036 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/019 ,  B81B2203/051 ,  B81C1/00142 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00158 ,  H04R1/023 ,  H04R1/08 ,  H04R9/02 ,  H04R15/00 ,  H04R17/00 ,  H04R19/005 ,  H04R23/002 ,  H04R2201/003 ,  H04R2499/11

摘要： The invention relates to a MEMS transducer for interacting with a volume flow of a fluid, comprising a substrate having a cavity, and an electromechanical transducer which is connected to the substrate in the cavity and has an element which can be deformed along a lateral movement direction. A deformation of the deformable element along the lateral movement direction and the volume flow of the fluid are causally related.

公开(公告)号：EP4255844A1

公开(公告)日：2023-10-11

申请号：EP20820367.9

申请日：2020-12-03

申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： LANGA, Sergiu ,  KAISER, Bert ,  MELNIKOV, Anton ,  MONSALVE GUARACAO, Jorge Mario

IPC分类号： B81B3/00 ,  H02N1/00 ,  H04R19/00

公开(公告)号：EP3739904A1

公开(公告)日：2020-11-18

申请号：EP19174497.8

申请日：2019-05-14

申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： KAISER, Bert

IPC分类号： H04R19/00 ,  H04R17/02

摘要： Die Erfindung betrifft ein akustisches Biegewandlersystem (1, 2) mit einer Vielzahl von Biegewandlern (3, 4, 5), die derart ausgebildet sind, dass verformbare Elemente (3 1 , 3 2 , 4 1 ; 32, 3 4 , 4 2 ; 3 1 , 3 2 , 3' 1 , 3' 2 ) der Biegewandler (3, 4, 5) komplanar in einer gemeinsamen ebenen Schicht (10) schwingen, wobei die Biegewandler (3, 4, 5) unterschiedliche Resonanzfrequenzen und unterschiedliche Ausdehnungen der verformbaren Elemente (3 1 , 3 2 , 4 1 ; 3 2 , 3 4 , 4 2 ; 3 1 , 3 2 , 3' 1 , 3' 2 ) entlang einer gemeinsamen Längsachse aufweisen, die quer zu einer Schwingungsrichtung der verformbare Elemente (3 1 , 3 2 , 4 1 ; 3 2 , 3 4 , 4 2 ; 3 1 , 3 2 , 3' 1 , 3' 2 ) ist.
Des Weiteren betrifft die Erfindung eine akustische Vorrichtung mit einem solchen akustischen Biegewandlersystem (1, 2).

公开(公告)号：EP4147461A1

公开(公告)日：2023-03-15

申请号：EP20727165.1

申请日：2020-05-08

申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： MELNIKOV, Anton ,  WALL, Franziska ,  MONSALVE GUARACAO, Jorge Mario ,  KAISER, Bert ,  LANGA, Sergiu

IPC分类号： H04R19/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00 ,  H04R19/02 ,  H04R19/04

公开(公告)号：EP4058400A1

公开(公告)日：2022-09-21

申请号：EP19812695.5

申请日：2019-11-13

申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： KAISER, Bert

IPC分类号： B81B3/00

公开(公告)号：EP3878803A1

公开(公告)日：2021-09-15

申请号：EP21168755.3

申请日：2016-06-14

申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： SCHENK, Harald ,  CONRAD, Holger ,  GAUDET, Matthieu ,  SCHIMMANZ, Klaus ,  LANGA, Sergiu ,  KAISER, Bert

IPC分类号： B81C1/00 ,  H04R9/02 ,  H04R23/00 ,  H04R19/00 ,  H04R17/00 ,  H04R15/00

摘要： Ein MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids umfasst ein Substrat, das eine Kavität aufweist; und einen elektromechanischen Wandler, der mit dem Substrat in der Kavität verbunden ist und ein sich entlang einer lateralen Bewegungsrichtung verformbares Element aufweist, wobei eine Verformung des verformbaren Elements in-plane entlang der lateralen Bewegungsrichtung und der Volumenstrom des Fluids kausal zusammenhängen. Der elektromechanische Wandler ist mit dem Substrat kraft- oder formschlüssig verbunden, oder ist bei dem der elektromechanische Wandler mit dem Substrat einstückig gebildet.