摘要:
Die Erfindung betrifft einen Temperatursensor mit einem temperatur-sensitiven Element auf einer Oberfläche eines einkristallinen Substrats, wobei das temperatur-sensitive Element durch einen Platindünnfilmwiderstand gebildet ist und als Epitaxieschicht ausgebildet ist.
摘要翻译:温度传感器包括在单晶衬底的表面上的温度敏感元件。 该元件由铂薄膜电阻器形成为外延层。 还包括用于生产温度传感器的方法的独立权利要求,包括通过PVD,CVD或MBE沉积外延层。 优选特征:单晶衬底由导电材料制成,优选为α-Al 2 O 3或MgO,特别是α-Al 2 O 3,其中衬底的表面平行于α-Al 2 O 3的晶体(110)平面 。 薄膜电阻器的铂在(111)面,(110)面或平行于(100)面平行于表面生长。
摘要:
Eine Leiterplatte mit wenigstens einem Bauelement als Meßwiderstand, Heizwiderstand oder Meßelektroden-Anordnung weist wenigstens zwei mit Leiterbahnen verbundene Kontaktfelder zur elektrischen und mechanisch festen Verbindung mit abisolierten Leiterenden eines ummantelten Anschlußkabels auf, wobei das Kabelende mit seinem äußeren Mantel in einem gegenüber der Leiterplatte unverrückbar angeordneten Halterungselement mit Abstand zum Kontaktfeld der Leiterbahn positionierbar ist; in einer bevorzugten Ausführungsform weist das Halterungselement kanalartige Ausnehmungen zur Klemm-Befestigung des Leitermantels auf, die mit ihrem Leiteraustrittsbereich benachbart zu jeweils einem Kontaktfeld der Leiterplatte benachbart angeordnet ist.
摘要:
Ein Halbleiterbauelement mit einer integrierten Schaltung (1) weist einen Kühlkörper (13) als Wärmesenke sowie einen damit thermisch verbundenen Temperatursensor (7) auf, dessen Widerstand von der Temperatur abhängig ist; der Temperatursensor (7) enthält einen Dünnfilm-Messwiderstand, der auf einer elektrisch isolierenden Oberfläche eines folienartigen Substrats aufgebraucht ist, wobei die gesamte Dicke des Temperatursensors im Bereich von 10 µm bis 100 µm liegt. Der Dünnfilm-Messwiderstand ist als ebenes Bauteil ausgebildet, wobei der Temperatursensor (7) zwischen der integrierten Schaltung (1) und dem Kühlkörper (13) angeordnet ist. Der Dünnfilm-Messwiderstand ist auf einer Seite mit einer an den Kühlkörper angrenzenden thermischen Ankopplungsschicht (12) versehen, während er auf der anderen Seite mit seinem Substrat an einen Wärmeverteiler (4) grenzt, der wenigstens zum Teil die integrierte Schaltung (1) umgibt.
摘要:
Eine Leiterplatte mit wenigstens einem Bauelement als Meßwiderstand, Heizwiderstand oder Meßelektroden-Anordnung weist wenigstens zwei mit Leiterbahnen verbundene Kontaktfelder zur elektrischen und mechanisch festen Verbindung mit abisolierten Leiterenden eines ummantelten Anschlußkabels auf, wobei das Kabelende mit seinem äußeren Mantel in einem gegenüber der Leiterplatte unverrückbar angeordneten Halterungselement mit Abstand zum Kontaktfeld der Leiterbahn positionierbar ist; in einer bevorzugten Ausführungsform weist das Halterungselement kanalartige Ausnehmungen zur Klemm-Befestigung des Leitermantels auf, die mit ihrem Leiteraustrittsbereich benachbart zu jeweils einem Kontaktfeld der Leiterplatte benachbart angeordnet ist.
摘要:
Als Anschlussdraht für elektrische Temperaturensensoren ist ein Manteldraht vorgesehen, der einen Kern aus einer sich an der Kernoberfläche selbst passivierenden Nickel-Basis-Legierung aufweist, wobei der Kern einen Mantel aus Platin aufweist. Eine geeignete, sich an der Kernoberfläche selbst passivierende Nickel-Basis-Legierung weist Chrom im Bereich von 16 bis 22 Gew-%, vorzugsweise von 20 Gew-%, auf.