公开(公告)号：EP2257968A4

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：EP09724159

申请日：2009-01-29

Applicant: IBM

Inventor： HOVEL HAROLD J ,  HUANG QIANG ,  SHAO XIAOYAN ,  VICHICONTI JAMES ,  WALKER GEORGE F

IPC: H01L21/308 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C30B29/02 ,  H01L21/306 ,  H01L29/06 ,  H01L31/06

CPC classification number: H01L31/18 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  C30B29/02 ,  C30B29/06 ,  C30B29/40 ,  C30B29/52 ,  C30B29/60 ,  C30B29/605 ,  C30B33/10 ,  H01L21/30604 ,  H01L29/0665 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/0676 ,  H01L29/068 ,  H01L29/125 ,  H01L31/0352 ,  H01L33/20