摘要:
Es wird ein optoelektronischer Chip mit einem Halbleiterkörper (14), der einen strahlungsemittierenden Bereich (2) enthält und einem Teilbereich (3), in dem die Oberfläche (13) des Halbleiterkörpers (14) konvex zu einem Träger (10) hin gekrümmt ist, angegeben. Dabei ist die laterale Ausdehnung (2r) des strahlungsemittierenden Bereichs (2) kleiner, als die laterale Ausdehnung (2R) des Teilbereichs (3). Ferner wird ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Chips angegeben.
摘要:
Halbleiterchip, insbesondere strahlungsemittierender Halbleiterchip, mit einer aktiven Dünnfilmschicht (2), in der eine Photonen emittierende Zone (3) ausgebildet ist und einem Trägersubstrat (1) für die Dünnfilmschicht (2), das an einer von der Abstrahlrichtung des Chips abgewandten Seite der Dünnfilmschicht (2) angeordnet und mit dieser verbunden ist. In der aktiven Dünnfilmschicht (2) ist vom Trägersubstrat (1) her mindestens eine Kavität (8) ausgebildet, durch die an der Grenze zwischen Trägersubstrat (1) und Dünnfilmschicht (2) eine Mehrzahl von Mesen (4) ausgebildet ist.
摘要:
Die Erfindung beschreibt ein strahlungsemittierendes Bauelement (10) mit einem auf einem Halbleitermaterial basierenden Schichtenstapel (1), der eine aktive Schichtenfolge (4) zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung aufweist, und einem der aktiven Schichtenfolge (4) in Abstrahlrichtung (A) nachgeordneten Filterelement (2), mittels welchem ein erster Strahlungsanteil transmittiert wird, und ein zweiter Strahlungsanteil in den Schichtenstapel (1) reflektiert wird, wobei der zweite Strahlungsanteil einem Ablenkprozess oder einem Absorptions-und Emissionsprozess unterliegt und die abgelenkte oder emittierte Strahlung auf das Filterelement (2) auftrifft.
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Die Erfindung beschreibt ein strahlungsemittierendes Bauelement (10) mit einem auf einem Halbleitermaterial basierenden Schichtenstapel (1), der eine aktive Schichtenfolge (4) zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung aufweist, und einem der aktiven Schichtenfolge (4) in Abstrahlrichtung (A) nachgeordneten Filterelement (2), mittels welchem ein erster Strahlungsanteil transmittiert wird, und ein zweiter Strahlungsanteil in den Schichtenstapel (1) reflektiert wird, wobei der zweite Strahlungsanteil einem Ablenkprozess oder einem Absorptions-und Emissionsprozess unterliegt und die abgelenkte oder emittierte Strahlung auf das Filterelement (2) auftrifft.
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Bei einem Halbleitersubstrat (1) aus GaAs mit einer darauf aufgebrachten Halbleiterschichtenfolge (2) enthält die Halbleiterschichtenfolge (2) eine Mehrzahl von Halbleiterschichten (3, 4, 5, 6, 7) aus Al 1-y Ga y As 1-x P x mit 0 ≤ x ≤ 1 und 0 ≤ y ≤ 1, wobei der Phosphoranteil x in mehreren der Halbleiterschichten jeweils größer als in einer benachbarten, in Wachstumsrichtung darunter liegenden Halbleiterschicht ist. Ein derartiges Halbleitersubstrat kann vorteilhaft als Quasisubstrat (8) zum Aufwachsen von weiteren Halbleiterschichten (28), die eine kleinere Gitterkonstante als GaAs aufweisen, verwendet werden.
摘要:
Die vorliegende Erfindung beschreibt ein strahlungsemittierendes Halbleiterbauelement mit einer Mehrzahl von Halbleiterkörpern (10, 20, 30), die jeweils eine aktive Zone (11, 21, 31) aufweisen und im Betrieb Licht mit jeweils einer unterschiedlichen Zentralwellenlänge (λ 10 , λ 20 , λ 30 ) und einer zugeordneten spektralen Bandbreite (Δλ 10 , Δλ 20 , Δλ 30 ) emittieren, so dass durch die Mischung dieses Lichts der Eindruck weißen Lichts steht. Bei mindestens einem der Halbleiterkörper (10) variiert die Emissionswellenlänge in der aktiven Zone (11) in einer vorgegebenen Weise, so dass dadurch die spektrale Bandbreite (Δλ 10 ) des emittierenden Lichts erhöht ist.
摘要:
Bei einem strahlungsemittierenden Halbleiterchip (2) mit einem Strahlformungselement ist das Strahlformungselement ein Hohlkörper (1) mit einer Lichtaustrittsöffnung (7). Bei einer ersten Ausführungsform der Erfindung weist der Halbleiterchip (2) eine der Lichtaustrittsöffnung (7) gegenüberliegende Lichteintrittsöffnung (8) auf, an die der Halbleiterchip (2) angrenzt. Bei einer zweiten Ausführungsform ist der Halbeleiterchip (2) innerhalb des Hohlkörpers (1) angeordnet. Zumindest ein Teil der von dem Halbleiterchip (2) emittierten Strahlung (3) wird an einer Wand (6) des Hohlkörpers (1) zur Lichtaustrittsöffnung (7) hin reflektiert.
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verbinden zweier Wafer(11,12), bei dem durch Übereinanderlegen der beiden Wafer (11,12) ein Kontaktbereich (15) zwischen den Wafern (11,12) gebildet wird und bei dem der Kontaktbereich (15) örtlich und zeitlich begrenzt erhitzt wird. Weiter betrifft die Erfindung eine Waferanordnung, bei der zwei übereinanderliegende Wafer (11,12), zwischen deren gegenüberliegenden Oberflächen sich ein Kontaktbereich (15) befindet, an ausgewählten Bereichen (21) ihres Kontaktbereichs miteinander verbunden sind. Das Verfahren zum Verbinden zweier Wafer (11,12), sowie die Waferanordnung sind dabei insbesondere für die Verarbeitung besonders temperaturempfindlicher Bauteile geeignet.