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    METHOD OF MANUFACTURING HIGH ASPECT RATIO STRUCTURE AND METHOD OF MANUFACTURING ULTRASONIC PROBE
    1.
    发明授权
    METHOD OF MANUFACTURING HIGH ASPECT RATIO STRUCTURE AND METHOD OF MANUFACTURING ULTRASONIC PROBE 有权
    制造高纵横比结构的方法和制造超声探测器的方法

    公开(公告)号：EP3127861B1

    公开(公告)日：2018-05-09

    申请号：EP16181230.0

    申请日：2016-07-26

    申请人： Konica Minolta, Inc.

    发明人： Yokoyama, Mitsuru

    IPC分类号： B81C1/00

    CPC分类号： G21K1/025 ,  B06B1/0662 ,  B81C1/00571

    摘要： The present invention provides a method of manufacturing a high aspect ratio structure with a concave portion (134) having a side surface perpendicular to a principal surface of a substrate (13a) by wet etching and a method of manufacturing an ultrasonic probe. The method of manufacturing a high aspect ratio structure includes: a hole forming step of forming a plurality of holes in at least one principal surface of a substrate (13a) ; a resist forming step of forming a first area (141) with a resist layer (133) and a second area (142) without the resist layer (133) on the principal surface provided with the plurality of holes after the hole forming step ends; and a concave portion forming step of immersing the substrate (13a) into an etching solution to form a concave portion (134) in the substrate (13a) corresponding to the second area (142).

    INTEGRATED MULTI-ELEMENT ACOUSTIC TRANSDUCERS AND METHODS OF MAKING THE SAME
    2.
    发明公开
    INTEGRATED MULTI-ELEMENT ACOUSTIC TRANSDUCERS AND METHODS OF MAKING THE SAME 审中-公开
    集成的多元件声学换能器及其制造方法

    公开(公告)号：EP3237121A1

    公开(公告)日：2017-11-01

    申请号：EP14827444.2

    申请日：2014-12-23

    申请人： Meggitt A/S

    发明人： ZAWADA, Tomasz ,  XU, Ruichao ,  GUIZETTI, Michele ,  BORREGAARD, Louise Møller ,  RINGGAARD, Erling

    IPC分类号： B06B1/06 ,  H01L41/00

    CPC分类号： H01L41/29 ,  B06B1/0662 ,  H01L41/1876

    摘要： A method of fabricating an acoustic transducer comprising: fabricating a substrate; depositing a bottom electrode on the substrate; depositing an active layer on the bottom electrode; depositing a top electrode on the active layer; wherein at least one electrode is patterned to form at least two active elements; and, wherein a ratio of a thickness coupling coefficient kt to an effective lateral coupling coefficient k31,eff of the active layer is 1.3 or greater.

    摘要翻译： 一种制造声换能器的方法，包括：制造衬底; 在衬底上沉积底部电极; 在底部电极上沉​​积有源层; 在有源层上沉积顶部电极; 其中至少一个电极被图案化以形成至少两个有源元件; 并且其中，厚度耦合系数k t与有源层的有效横向耦合系数k 31的比率eff为1.3或更大。

    Method of operating an ultrasonic piezoelectric transducer and circuit arrangement for performing the method
    4.
    发明公开
    Method of operating an ultrasonic piezoelectric transducer and circuit arrangement for performing the method 失效
    一种用于操作超声换能器和电路装置用于执行该方法的方法

    公开(公告)号：EP0706835A1

    公开(公告)日：1996-04-17

    申请号：EP94115958.4

    申请日：1994-10-10

    申请人： Endress + Hauser GmbH + Co.

    发明人： Getman, Igor ,  Lopatin, Sergey

    IPC分类号： B06B1/02 ,  H03H3/04

    CPC分类号： B06B1/0662 ,  B06B1/0207 ,  B06B1/0692 ,  H03H9/132 ,  H03H9/545

    摘要： An ultrasonic piezoelectric transducer is alternatingly operated in a transmitting mode and in a receiving mode. In the transmitting mode an electrical excitation signal is applied between one or more common electrodes and one or more transmission electrodes, and in the receiving mode an electrical reception signal is collected between the one or more common electrodes and one or more reception electrodes. Moreover, in the receiving mode one or more electrodes which are not used as reception electrodes are connected via a low impedance connection with the one or more common electrodes which has the effect that in the receiving mode the resonance frequencies of the piezoelectric transducer are shifted to lower values so that with the same operating frequency the piezolectric transducer is in series resonance in the transmitting mode and in parallel resonance in the receiving mode. In this way, the piezoelectric transducer operates under optimum conditions with perfect frequency matching both for transmission and for reception.

    摘要翻译： 一种超声波压电换能器是在发射模式和接收模式交替地操作。 在电激励信号的发送模式的一个或多个公共电极和一个或多个传输电极之间，和在电接收信号的接收模式的一个或多个公共电极和一个或多个接收电极之间的收集。 更完了，在接收模式并不用于作为接收电极的一个或多个电极被通过与具有的效果并在接收模式中的压电换能器的谐振频率被移位到所述的一个或多个公共电极的低阻抗连接而连接 较低的值所以没有用相同的操作频率的换能器Piezolectric是在传送模式中串联谐振，并且在接收模式的并联谐振。 以这种方式，所述压电换能器与完美匹配的频率都用于发射和用于接收的最佳条件下操作。

    Ultraschallbaugruppe
    10.
    发明公开
    Ultraschallbaugruppe 审中-公开

    公开(公告)号：EP2529846A1

    公开(公告)日：2012-12-05

    申请号：EP11004451.8

    申请日：2011-05-31

    申请人： Pepperl & Fuchs GmbH

    发明人： Dörr, Klaus

    IPC分类号： B06B1/06 ,  H01L41/047

    CPC分类号： B06B1/0662 ,  H01L41/0475

    摘要： Die Erfindung betrifft eine Ultraschallbaugruppe mit einer Leiterplatte (10), an welcher mindestens ein Ultraschallwandler (20) zum Aussenden und/oder Empfangen von Ultraschallwellen, Elektronikmittel (30) zum Ansteuern des Ultraschallwandlers und/oder zum Verarbeiten von Ultraschallwellen, die von dem Ultraschallwandler nachgewiesen werden, und Befestigungsmittel (40) zum Montieren der Ultraschallbaugruppe an einem Einsatzort angeordnet sind. Dabei weist der Ultraschallwandler ein Piezoelement mit einer ersten und einer zweiten metallischen Beschichtung als Elektroden auf. Die erste metallische Beschichtung ist mindestens an einer der Leiterplatte zugewandten Seite des Piezoelements ausgebildet und die zweite metallische Beschichtung erstreckt sich von einer der Leiterplatte abgewandten Seite des Piezoelements durchgängig bis zu der der Leiterplatte zugewandten Seite. Die Ultraschallbaugruppe ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, dass die erste und die zweite metallische Beschichtung flächig mit auf der Leiterplatte vorhandenen elektrischen Kontakten verbunden sind und dass der Ultraschallwandler flächig auf der Leiterplatte aufliegend montiert ist.
    Die Erfindung betrifft außerdem ein Ultraschall-Sensorsystem.

    摘要翻译： 超声波组件（100）具有设置有超声波换能器（20）的电路基板（10）。 提供用于驱动超声换能器的电子单元。 紧固单元（40）布置成用于在工地上安装超声波组件。 金属涂层形成在超声波换能器的压电元件（24）的一侧。 在电路板的背离压电元件的一侧形成另一金属涂层。 金属涂层通过电触点与电路板上的现有区域连接。 包括超声波传感器系统的独立权利要求。