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    Method and apparatus for manufacturing a magnetic chuck
    5.
    发明公开
    Method and apparatus for manufacturing a magnetic chuck 失效
    Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer magnetischen Halteplatte。

    公开(公告)号：EP0326214A1

    公开(公告)日：1989-08-02

    申请号：EP89200121.5

    申请日：1989-01-20

    申请人： Walker-Hagou B.V.

    发明人： Bijl, Roy ,  Luyten, Cornelis Theodorus Petrus Maria

    IPC分类号： B23Q3/154

    CPC分类号： B23Q3/154

    摘要： A method and apparatus are provided for manufacturing an element (1) of a magnetic chuck comprising pole parts (2) of soft magnetizable material and parts (3) of a nonmagnetizable material connected thereto. The method implies that the parts (3) of the non-magnetizable material are casted on to the pole parts (2) of soft magnetizable material. In case of the manufacture of a permanent magnetic chuck cavities (18) are saved between the pole parts (2) during casting. For this purpose the apparatus comprises a mould (10) having ribs (20) therein for forming said cavities (8), the ribs (20) also acting as spacer means for holding the pole parts (2) in a spaced apart relationship during casting. The resulting element (1) of a magnetic chuck has a strong and rigid structure and is less costly to produce than the prior art chucks.

    摘要翻译： 提供了一种用于制造磁性卡盘的元件（1）的方法和装置，其包括软磁性材料的磁极部分（2）和与其连接的不可磁化材料的部分（3）。 该方法意味着不可磁化材料的部分（3）被浇铸到软磁性材料的极部分（2）上。 在铸造期间制造永久磁性卡盘腔（18）被保存在极部件（2）之间的情况下。 为此目的，该装置包括在其中具有用于形成所述空腔（8）的肋（20）的模具（10），所述肋（20）还用作间隔件装置，用于在铸造过程中以相互隔开的关系保持极部件（2） 。 所得到的磁性卡盘元件（1）具有坚固且刚性的结构，并且比现有技术的卡盘生产成本更低。

    Machine unit having retaining device using static electricity
    6.
    发明公开
    Machine unit having retaining device using static electricity 失效
    Maschine-Einheit mit einer statischeElektrizitätbenutzenden Haltevorrichtung。

    公开(公告)号：EP0297227A2

    公开(公告)日：1989-01-04

    申请号：EP88105806.9

    申请日：1988-04-12

    申请人： ABISARE CO., LTD.

    发明人： Kasahara, Keiji

    IPC分类号： H02N13/00

    CPC分类号： B23Q3/154 ,  B23Q3/15 ,  B25B11/00 ,  B25B11/002 ,  H02N13/00 ,  Y10T279/23

    摘要： A machine unit (18-1) provided with an electrostatic retention means (2) is disposed at a desired position. The electrostatic retention means (2) includes a pair of electrodes (4, 6), an attraction member (8) associated with the pair of electrodes (4, 6) and in which static electricity is induced so as to generate an electrostatic attraction force which attracts and retains an object (12-1), and a power source circuit (10) for supplying positive and negative charges to the pair of electrodes (4, 6) while sequentially and alternately changing the polarity thereof.

    摘要翻译： 设置有静电保持装置（2）的机器单元（18-1）设置在期望的位置。 静电保持装置（2）包括一对电极（4,6），与一对电极（4,6）相关联的吸引构件（8），并且其中引入静电以产生静电吸引力 其吸引并保持物体（12-1），以及用于在顺序地交替地改变其极性的同时向一对电极（4,6）供给正电荷和负电荷的电源电路（10）。

    SCHALTGERÄT ZUR ÄNDERUNG VON BETRAG UND RICHTUNG DER PERMANENTEN MAGNETISIERUNG VON FERROMAGNETISCHEN KÖRPERN, Z.B. VON PERMANENTMAGNETEN
    7.
    发明公开
    SCHALTGERÄT ZUR ÄNDERUNG VON BETRAG UND RICHTUNG DER PERMANENTEN MAGNETISIERUNG VON FERROMAGNETISCHEN KÖRPERN, Z.B. VON PERMANENTMAGNETEN 失效
    设备的变动量与硅铁磁性体永久磁化方向，榜样的 永磁。

    公开(公告)号：EP0078823A1

    公开(公告)日：1983-05-18

    申请号：EP82901496.0

    申请日：1982-05-05

    申请人： HURTIG, Karl W.

    发明人： HURTIG, Karl W.

    IPC分类号： B23Q3 ,  H01F13

    CPC分类号： B23Q3/154 ,  H01F13/00

    摘要： Un appareil de commutation (1) pour changer la polarite ou l'intensite du champ magnetique de corps ferromagnetiques, p.ex. celui de tendeurs a aimant permanent, presente un arrangement en serie. Cet arrangement contient au moins un enroulement (3) apte a recevoir des corps ferromagnetiques (6), un commutateur electronique commandable ainsi qu'un dispositif d'accumulation d'energie (10). Afin de creer un appareil de commutation de petite dimension, a circuit electrique simple et a commutation fiable, on choisit comme commutateur electronique une lampe eclair (2).

    ELECTROSTATIC CHUCK AND TREATING DEVICE
    9.
    发明公开
    ELECTROSTATIC CHUCK AND TREATING DEVICE 有权
    ELEKTROSTATISCHER HALTER UND BEHANDLUNGSVORRICHTUNG

    公开(公告)号：EP1191581A4

    公开(公告)日：2006-03-22

    申请号：EP00929866

    申请日：2000-05-25

    申请人： TOTO LTD ,  ULVAC INC

    发明人： KITABAYASHI TETSUO ,  HORI HIROAKI ,  UCHIMURA TAKESHI ,  TATENO NORIAKI ,  FUWA KOH ,  MAEHIRA KEN

    IPC分类号： B23Q3/15 ,  B23Q3/154 ,  H01L21/683 ,  H02N13/00 ,  H01L21/68

    CPC分类号： B23Q3/15 ,  B23Q3/154 ,  H01L21/6833 ,  H02N13/00

    摘要： An electrostatic chuck for insulating substrate attraction, comprising a dielectric substrate (1a) acting on one surface thereof as an attraction surface of an insulating substrate and provided on the other surface with a plurality of electrodes (7) in order to electrostatic-attracting an insulating substrate such as a glass substrate, an insulating support base (1b) for fixing the dielectric substrate, a plurality of conducting terminals provided on the insulating support base, and a means for electrically connecting the electrodes with the conducting terminals, wherein a resistivity at room temperature of the dielectric substrate is up to 10 OMEGA cm, a thickness of the dielectric substrate up to 2 mm, a width of an electrode up to 4 mm, and an interval between electrodes up to 2 mm. A heating/cooling plate (6), a gas supply piping for supplying gas to a gap between the insulating substrate and the attraction surface, and a temperature control system for controlling the temperature of the insulating substrate are added to the above electrostatic chuck for insulating substrate attraction to constitute an insulating substrate treating device.

    摘要翻译： 根据本发明，提供一种用于静电吸引绝缘基板的静电卡盘，使用静电卡盘加热/冷却绝缘基板的装置以及用于控制绝缘基板的温度的方法。 公开了电介质的形状和性质以及形成静电卡盘的电极的形状。 另外，公开了一种用于加热/冷却包括板，气体供应管道和温度控制系统的绝缘基板的装置，以及用于加工绝缘基板的装置，其中安装了用于加热/冷却绝缘基板的装置。

    ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER AND METHOD OF PRODUCING THE SAME
    10.
    发明公开
    ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER AND METHOD OF PRODUCING THE SAME 有权
    VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG的ELEKTROSTATISCHES SPANNFUTTERGLIED

    公开(公告)号：EP1258918A1

    公开(公告)日：2002-11-20

    申请号：EP01901396.0

    申请日：2001-01-17

    申请人： TOCALO CO. LTD.

    发明人： HARADA, Yoshio ,  TAKEUCHI, Junichi ,  TOGOE, Kenichiro

    IPC分类号： H01L21/68 ,  B23Q3/15

    CPC分类号： B23Q3/154 ,  H01L21/6833

    摘要： It is to provide an electrostatic chuck member having a strong adsorption force and an excellent responsibility (release property) in the stop of voltage application and is an electrostatic chuck member comprising a substrate, an undercoat of a metallic layer formed on at least one surface thereof, a lower insulating layer of Al 2 O 3 ceramic formed on the undercoat, a metallic electrode layer formed on the lower insulating layer and an upper insulating layer of Al 2 O 3 ceramic formed on the electrode layer as a topcoat.

    摘要翻译： 提供一种在施加电压停止时具有强吸附力和极好的责任（释放特性）的静电卡盘部件，并且是一种静电卡盘部件，其包括基板，在其至少一个表面上形成的金属层的底涂层 形成在底涂层上的下部绝缘层Al2O3陶瓷，形成在下绝缘层上的金属电极层和形成在作为顶涂层的电极层上的Al 2 O 3陶瓷的上绝缘层。