公开(公告)号：EP3233977A1

公开(公告)日：2017-10-25

申请号：EP15817803.8

申请日：2015-12-17

申请人： SABIC Global Technologies B.V.

发明人： JASINSKA-WALC, Lidia ,  DUCHATEAU, Robert ,  BOUYAHYI, Miloud ,  RUTKOWSKI, Szymon Lukasz ,  VADAKE KULANGARA, Shaneesh ,  ZYCH, Arkadiusz

IPC分类号： C08G81/02 ,  C08F216/04 ,  C08F4/6392 ,  C08F4/659 ,  C08F4/6592 ,  C08F8/00 ,  C08G61/00 ,  C08G63/08 ,  C08G64/30 ,  C08F216/10

CPC分类号： C08F255/02 ,  C08F4/65912 ,  C08F216/04 ,  C08F216/10 ,  C08G63/08 ,  C08G64/18 ,  C08G81/027 ,  C08F210/06 ,  C08F4/65927 ,  C08F216/02 ,  C08F2500/15

摘要： The present invention relates to a process for the preparation of a graft copolymer comprising a polyolefin main chain and one or multiple polymer side chains, the process comprising the steps of: copolymerizing at least one first type of olefin monomer and at least one second type of metal-pacified functionalized olefin monomer to obtain a polyolefin main chain having one or multiple metal-pacified functionalized short chain branches, and reacting the polyolefin main chain having one or multiple metal-pacified functionalized short chain branches with at least one metal substituting agent to obtain a polyolefin main chain having one or multiple functionalized short chain branches; and forming one or multiple polymer side chains on the polyolefin main chain, wherein as initiators the functionalized short chain branches on the polyolefin main chain are used to obtain the graft copolymer. The invention also relates to the products obtained therefrom.

摘要翻译： 本发明涉及制备包含聚烯烃主链和一个或多个聚合物侧链的接枝共聚物的方法，所述方法包括以下步骤：将至少一种第一类型的烯烃单体和至少一种第二类型的烯烃单体 金属稳定化的官能化烯烃单体以获得具有一个或多个金属化官能化短链分支的聚烯烃主链，并使具有一个或多个金属化官能化短链分支的聚烯烃主链与至少一种金属取代剂反应以获得 具有一个或多个官能化短链分支的聚烯烃主链; 在聚烯烃主链上形成一个或多个聚合物侧链，其中聚烯烃主链上的官能化短支链作为引发剂用于获得接枝共聚物。 本发明还涉及由其获得的产品。

公开(公告)号：EP3127928A1

公开(公告)日：2017-02-08

申请号：EP16001726.5

申请日：2016-08-03

申请人： Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

发明人： Daisuke, Domon ,  Satoshi, Watanabe ,  Keiichi, Masunaga ,  Masaaki, Kotake

IPC分类号： C08F220/38 ,  G03F7/039

CPC分类号： C08F216/10 ,  C08F220/38 ,  G03F1/78 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/093 ,  G03F7/2059 ,  G03F7/322 ,  C08F216/02 ,  C08F212/32 ,  C08F216/1416 ,  C08F2220/382

摘要： The present invention provides a polymer compound containing a repeating unit shown by the formula (1c) and one or more repeating units selected from a repeating unit shown by the formula (2) and a repeating unit shown by the formula (3),

wherein M b + represents a sulfonium cation shown by the formula (a) or an iodonium cation shown by the formula (b),



This polymer compound is suitable as a base resin of a resist composition capable of forming a resist film that allows pattern formation with extremely high resolution, small LER, and excellent rectangularity.

摘要翻译： 本发明提供含有式（1c）所示的重复单元和选自式（2）所示的重复单元的重复单元和式（3）所示的重复单元的重复单元的高分子化合物，其中M b +表示式（a）所示的锍阳离子或式（b）所示的碘鎓阳离子。该高分子化合物适合作为抗蚀剂组合物的基础树脂，该抗蚀剂组合物能够形成允许图案形成的抗蚀剂膜 高分辨率，小LER和优异的矩形性。

公开(公告)号：EP2368281B1

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：EP09759719.9

申请日：2009-11-20

申请人： BASF SE ,  Polyera Corporation

发明人： QUINN, Jordan ,  YAN, He ,  ZEHNG , Yan ,  NEWMAN, Christopher ,  KOEHLER, Silke ,  FACCHETTZ, Antonio ,  BREINER, Thomas

IPC分类号： H01L51/30

CPC分类号： H01L51/052 ,  B05D3/06 ,  C08F12/22 ,  C08F12/24 ,  C08F112/14 ,  C08F118/12 ,  C08F212/14 ,  C08F216/10 ,  C08G61/02 ,  C09D125/18 ,  H01B3/442 ,  H01B3/447 ,  H01L51/004 ,  H01L51/0043 ,  H01L51/0073 ,  Y10T428/31938 ,  C08F220/14 ,  C08F212/32

摘要： A vinyl polymer polymerized from one or more vinyl monomers, and the vinyl polymer comprises a repeating unit having a pendant group comprising an optionally substituted coumarin moiety, characterized in that at least one of the vinyl monomers is vinyl phenol or a derivative thereof.

公开(公告)号：EP2660889A2

公开(公告)日：2013-11-06

申请号：EP13179103.0

申请日：2009-11-20

申请人： BASF SE ,  Polyera Corporation

发明人： Quinn, Jordan ,  Yan, He ,  Zheng, Yan ,  Newman, Christopher ,  Köhler, Silke ,  Facchetti, Antonio ,  Breiner, Thomas

IPC分类号： H01L51/10 ,  H01L51/30

CPC分类号： H01L51/052 ,  B05D3/06 ,  C08F12/22 ,  C08F12/24 ,  C08F112/14 ,  C08F118/12 ,  C08F212/14 ,  C08F216/10 ,  C08G61/02 ,  C09D125/18 ,  H01B3/442 ,  H01B3/447 ,  H01L51/004 ,  H01L51/0043 ,  H01L51/0073 ,  Y10T428/31938 ,  C08F220/14 ,  C08F212/32

摘要： A vinyl polymer polymerized from one or more vinyl monomers, and the vinyl polymer comprises a repeating unit having a pendant group comprising an optionally substituted coumarin moiety, characterized in that at least one of the vinyl monomers is vinyl phenol or a derivative thereof.

摘要翻译： 由一种或多种乙烯基单体聚合的乙烯基聚合物和乙烯基聚合物包含具有包含任选取代的香豆素部分的侧基的重复单元，其特征在于至少一种乙烯基单体是乙烯基苯酚或其衍生物。

公开(公告)号：EP2315078B1

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：EP11154169.4

申请日：2005-01-14

申请人： JSR Corporation

发明人： Kimura, Toru ,  Nishimura, Yukio ,  Utaka, Tomohiro ,  Nemoto, Hiroaki ,  Nakamura, Atsushi ,  Chiba, Takashi ,  NAKAGAWA, Hiroki

IPC分类号： G03F7/11 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/2041 ,  C08F214/182 ,  C08F214/186 ,  C08F216/10 ,  C08F220/18 ,  C08F220/24 ,  G03F7/11 ,  C08F220/06 ,  C08F2222/1013

公开(公告)号：EP1708027A4

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：EP05703585

申请日：2005-01-14

申请人： JSR CORP

发明人： KIMURA TORU ,  NISHIMURA YUKIO ,  UTAKA TOMOHIRO ,  NEMOTO HIROAKI ,  NAKAMURA ATSUSHI ,  CHIBA TAKASHI ,  NAKAGAWA HIROKI

IPC分类号： G03F7/11 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/2041 ,  C08F214/182 ,  C08F214/186 ,  C08F216/10 ,  C08F220/18 ,  C08F220/24 ,  G03F7/11 ,  C08F220/06 ,  C08F2222/1013

摘要： An immersion upper layer film composition is provided which exhibits sufficient transparency for the exposure wavelength 248 nm(KrF) and 193 nm(ArF), can form a protective film on the photoresist film without being intermixed with the photoresist film, is not eluted into water used during immersion exposure to maintain a stable film, and can be easily dissolved in an alkaline developer. The composition applied to coat on the photoresist film when using an immersion exposure device which is irradiated through water provided between a lens and the photoresist film, the composition comprises a resin forming a water-stable film during irradiation and being dissolved in a subsequent developer, and a solvent containing a monovalent alcohol having 6 or less carbon atoms, and the resin contains a resin component having an alcoholic hydroxyl group on the side chain containing a fluoroalkyl group on at least the carbon atom of ±-position.

公开(公告)号：EP0316369A1

公开(公告)日：1989-05-24

申请号：EP88900936.0

申请日：1987-12-28

申请人： Aristech Chemical Corporation

发明人： SIVAK, Andrew, J. ,  CULLO, Leonard, A.

IPC分类号： C08F8 ,  C08F30 ,  C08F210

CPC分类号： C08F210/00 ,  C08F8/12 ,  C08F30/08 ,  C08F230/08 ,  C08F216/04 ,  C08F216/10

摘要： Un monomère présentant une fonctionnalité polaire par exemple à travers un groupe hydroxyle ou autre groupe fonctionnel est protégé durant la polymérisation en présence de catalyseurs hautement actifs grâce à l'utilisation d'un groupe de silane alkyle protecteur, lequel est retiré après la polymérisation de façon à rétablir la fonctionnalité du groupe. Le polymère ainsi obtenu comprendra des groupes fonctionnels sur sa structure centrale. Les groupes fonctionnels peuvent réagir avec des colorants traditionnels et/ou exercer d'autres fonctions et entrer en réaction avec d'autres composés réactifs. De nouveaux polymères sont produits pour être utilisés dans des systèmes du type Ziegler-Natta.

公开(公告)号：EP2900625A1

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：EP13765909.0

申请日：2013-09-12

申请人： 3M Innovative Properties Company

发明人： WENDLAND, Michael S.

IPC分类号： C07C13/72 ,  C08G83/00 ,  C08G73/06

CPC分类号： C07C13/72 ,  C07C35/44 ,  C07C49/683 ,  C07C2603/94 ,  C08F36/20 ,  C08F212/34 ,  C08F212/36 ,  C08F216/10 ,  C08F216/36

摘要： Monomers and polymerizable compositions that can be polymerized using a free-radical polymerization reaction are provided. The monomers have two vinyl groups as well as a spirobisindane-type structure. Polymers prepared from the polymerizable compositions are also provided. The polymers can be porous.

公开(公告)号：EP2660889A3

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：EP13179103.0

申请日：2009-11-20

申请人： BASF SE ,  Polyera Corporation

发明人： Quinn, Jordan ,  Yan, He ,  Zheng, Yan ,  Newman, Christopher ,  Köhler, Silke ,  Facchetti, Antonio ,  Breiner, Thomas

IPC分类号： H01L51/10 ,  H01L51/30 ,  C08G61/02 ,  H01L51/00

CPC分类号： H01L51/052 ,  B05D3/06 ,  C08F12/22 ,  C08F12/24 ,  C08F112/14 ,  C08F118/12 ,  C08F212/14 ,  C08F216/10 ,  C08G61/02 ,  C09D125/18 ,  H01B3/442 ,  H01B3/447 ,  H01L51/004 ,  H01L51/0043 ,  H01L51/0073 ,  Y10T428/31938 ,  C08F220/14 ,  C08F212/32

摘要： A vinyl polymer polymerized from one or more vinyl monomers, and the vinyl polymer comprises a repeating unit having a pendant group comprising an optionally substituted coumarin moiety, characterized in that at least one of the vinyl monomers is vinyl phenol or a derivative thereof.

公开(公告)号：EP2368281A2

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：EP09759719.9

申请日：2009-11-20

申请人： BASF SE ,  Polyera Corporation

发明人： QUINN, Jordan ,  YAN, He ,  ZEHNG , Yan ,  NEWMAN, Christopher ,  KOEHLER, Silke ,  FACCHETTZ, Antonio ,  BREINER, Thomas

IPC分类号： H01L51/05

CPC分类号： H01L51/052 ,  B05D3/06 ,  C08F12/22 ,  C08F12/24 ,  C08F112/14 ,  C08F118/12 ,  C08F212/14 ,  C08F216/10 ,  C08G61/02 ,  C09D125/18 ,  H01B3/442 ,  H01B3/447 ,  H01L51/004 ,  H01L51/0043 ,  H01L51/0073 ,  Y10T428/31938 ,  C08F220/14 ,  C08F212/32

摘要： A vinyl polymer polymerized from one or more vinyl monomers, and the vinyl polymer comprises a repeating unit having a pendant group comprising an optionally substituted coumarin moiety, characterized in that at least one of the vinyl monomers is vinyl phenol or a derivative thereof.

摘要翻译： 由一种或多种乙烯基单体聚合的乙烯基聚合物和乙烯基聚合物包含具有包含任选取代的香豆素部分的侧基的重复单元，其特征在于至少一种乙烯基单体是乙烯基苯酚或其衍生物。