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    Vorrichtung und Verfahren zum Analysieren von Proben
    2.
    发明公开
    Vorrichtung und Verfahren zum Analysieren von Proben 有权

    公开(公告)号：EP1494007A1

    公开(公告)日：2005-01-05

    申请号：EP04014796.9

    申请日：2004-06-24

    Applicant: Tecan Trading AG

    Inventor： Erlbacher, Andreas ,  Niggl, Lutz ,  Krutzenbichler, Alois

    IPC: G01N21/03 ,  G01N21/64 ,  G01N21/25 ,  G01N21/53 ,  G01N21/59 ,  B01L3/00

    CPC classification number: G01N21/6452 ,  B01L3/5085 ,  B01L2300/0654 ,  B01L2300/0829 ,  B01L2300/168 ,  G01N21/0303 ,  G01N21/253 ,  G01N21/59 ,  G01N2021/6463 ,  G01N2021/6491 ,  G01N2021/651 ,  G01N2201/0446 ,  G01N2201/1042 ,  Y10S436/809

    Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) und ein Verfahren zum Bestimmen von Parametern von fluidhaltigen Proben (2) in einem System (3) zum individuellen Bestrahlen der Proben (2) mit Licht (4) einer Lichtquelle (5) in einer im wesentlichen vertikalen Einstrahlungsrichtung (6). Dabei umfasst dieses System (3) einen Detektor (7) zum Messen des von einer einzelnen Probe kommenden Lichts (8) und dieser Detektor (7) weist eine Detektionsrichtung (9') auf, welche auf einer optischen Achse (9) liegt, die im wesentlichen parallel zur optischen Achse (6) der Lichtquelle (5) ist. Diese Vorrichtung (1) umfasst zumindest eine Spiegelfläche (10), mit welcher das im wesentlichen vertikal aus der Lichtquelle (5) ankommende Licht (4) in eine im wesentlichen horizontale Durchstrahlungsrichtung (11) zumindest teilweise ablenkbar ist. Die erfindungsgemässe Vorrichtung bzw. das erfindungsgemässe Verfahren sind dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionsrichtung (9') des Detektors (7) - zum Messen des individuellen, von einer einzelnen Probe (2) kommenden Lichts (8) - so in einem Winkel zu der optischen Achse des die Probe (2) durchstrahlenden Lichts (4) angeordnet ist, dass nur das von der einzelnen Probe (2) kommende Licht (8), nicht aber dieses Licht (4) in den Detektor (7) gelangt.

    Abstract translation: 系统（3）具有测量单个样品（8）的光并且在用于光源（5）的光轴（9）上具有检测装置的检测器（7）。 镜面（10）使照射的水平方向（11）从源极垂直出射的光（4）偏转。 还包括以下独立权利要求：（a）确定含有流体的样品参数的系统; （b）和用于确定含有流体的样品参数的方法。

    OPTICAL METROLOGY SYSTEM FOR SPECTRAL IMAGING OF A SAMPLE
    5.
    发明公开
    OPTICAL METROLOGY SYSTEM FOR SPECTRAL IMAGING OF A SAMPLE 审中-公开
    OPTISCHES METROLOGIESYSTEM ZUR SPEKTRALEN ABBILDUNG EINER PROBE

    公开(公告)号：EP3074755A1

    公开(公告)日：2016-10-05

    申请号：EP14800193.6

    申请日：2014-10-29

    Applicant: Nanometrics Incorporated

    Inventor： BUCZKOWSKI, Andrzej

    IPC: G01N21/55 ,  G01N21/64 ,  G01N21/88 ,  G01N21/47 ,  G01N21/95 ,  G01B11/06

    CPC classification number: G01N21/6489 ,  G01B11/0625 ,  G01N21/47 ,  G01N21/55 ,  G01N21/6456 ,  G01N21/88 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/646 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/1042 ,  G01N2201/1053 ,  H04N3/155

    Abstract: An optical metrology device is capable of detection of any combination of photoluminescence light, specular reflection of broadband light, and scattered light from a line across the width of a sample. The metrology device includes a first light source that produces a first illumination line on the sample. A scanning system may be used to scan an illumination spot across the sample to form the illumination line. A detector spectrally images the photoluminescence light emitted along the illumination line. Additionally, a broadband illumination source may be used to produce a second illumination line on the sample, where the detector spectrally images specular reflection of the broadband illumination along the second illumination line. The detector may also image scattered light from the first illumination line. The illumination lines may be scanned across the sample so that all positions on the sample may be measured.

    Abstract translation: 光学测量装置能够检测光致发光的任何组合，宽带光的镜面反射以及穿过样品宽度的线的散射光。 测量装置包括在样品上产生第一照明线的第一光源。 扫描系统可以用于扫描样品上的照明点以形成照明线。 检测器对沿着照明线发射的光致发光进行光谱成像。 此外，宽带照明源可以用于在样本上产生第二照明线，其中检测器对第二照明线的宽带照明进行光谱反射。 检测器还可以对来自第一照明线的散射光进行成像。 可以在样品上扫描照明线，使得可以测量样品上的所有位置。

    Optischer Sensor und Verfahren zur optischen Inspektion von Oberflächen
    8.
    发明公开
    Optischer Sensor und Verfahren zur optischen Inspektion von Oberflächen 审中-公开
    Optischer传感器和Verfahren zur optischen Inspektion vonOberflächen

    公开(公告)号：EP1850119A1

    公开(公告)日：2007-10-31

    申请号：EP07105607.1

    申请日：2007-04-04

    Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

    Inventor： Stockmann, Michael ,  Weber, Martin ,  Heine, Wolfgang ,  Spriegel, Dieter

    IPC: G01N21/896 ,  G01N33/38 ,  G02B21/00

    CPC classification number: G01N21/896 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/958 ,  G01N33/386 ,  G01N2021/4716 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2201/0642 ,  G01N2201/1042

    Abstract: Ein Optischer Sensor wird zur Erfassung von punktförmigen, linienförmigen oder flächigen Defekten eingesetzt, die an glatten Oberflächen wie Glas auftreten können. Der Sensor bestehend aus:
    a) einem telezentrischen Laserscanner (12) mit
    - einem Laser (1) zur annähernd senkrechten Beleuchtung einer glatten Oberfläche (5),
    - einem Scannspiegel (2),
    - einer telezentrischen Optik (4) zur Führung von Beleuchtungs- und Detektionsstrahlen,

    b) einer Erfassungseinheit (11) mit
    - einer Detektoroptik (8),
    - einer zentralen Blende (9), die konzentrisch in der Nähe der Detektoroptik von dieser aus in Richtung auf den telezentrischen Laserscanner (4) positioniert ist,
    - einem hochempfindlichen Photomultiplier (6) zur Erfassung von Streulicht, das von Defekten auf glatten Oberflächen (5) ausgeht,
    - einer dem Photomultiplier (6) vorgeschalteten Schlitzblende (7).


    Anwendung/Produkt: Prüfanlage zur optischen Inspektion von Oberflächen

    Abstract translation: 传感器具有远心激光扫描器（12），其包括用于平坦表面区域（5）近似垂直点亮的激光器（1），用于引导照明和检测光束的扫描反射器（2）和远中心光学器件（4）。 检测单元（11）具有检测器光学系统（8）和中心狭缝（9），该中心狭缝（9）通过远程中心激光扫描仪的方向上的检测器光学系统同心地定位。 检测单元还具有超敏感光电倍增器，用于收集从平面表面积上的缺陷和光电倍增器（6）上游狭缝光阑（7）延伸的散射光。 还包括用于在平面表面积处收集点状，线形或层状缺陷的方法的独立权利要求。

    INFRARED IMAGING SYSTEM WITH AUTOMATIC REFERENCING
    10.
    发明公开
    INFRARED IMAGING SYSTEM WITH AUTOMATIC REFERENCING 审中-公开
    智能手机自动化系统

    公开(公告)号：EP3112844A1

    公开(公告)日：2017-01-04

    申请号：EP16176083.0

    申请日：2016-06-24

    Applicant: Agilent Technologies, Inc.

    Inventor： Ghetler, Andrew ,  Kleczewski, Adam ,  Tella, Richard P.

    IPC: G01N21/27 ,  G01J3/42 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/47 ,  G01N21/55

    CPC classification number: G01J3/0297 ,  G01J3/10 ,  G01J3/108 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/42 ,  G01N21/274 ,  G01N21/276 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/4785 ,  G01N21/55 ,  G01N2201/101 ,  G01N2201/1042 ,  G01N2201/127

    Abstract: A method and apparatus for obtaining reference samples, i.e. measuring reference targets (62) on a reference stage (61) during the generation of a mid-infrared (MIR) image without requiring that a sample specimen (16), being placed on a specimen stage (57) and imaged, be removed is disclosed. A tunable MIR laser (11) generates a light beam (18) that is focused onto the sample specimen on the specimen stage that moves the specimen in a first direction (33). An optical assembly includes a scanning assembly (31) having a focusing lens (55) and a mirror (56) that moves in a second direction (32), different from the first direction, relative to the specimen stage. A light detector (13) measures an intensity of light leaving the point on the specimen. A controller (39) forms an image from the measured intensity. The reference stage (61) is positioned such that the scanning assembly moves over the reference stage in response to a command so that the controller can also make a reference measurement.

    Abstract translation: 一种用于获得参考样本的方法和装置，即在产生中红外（MIR）图像期间在参考台（61）上测量参考目标（62），而不需要将样本（16）放置在样本 公开了阶段（57）并被成像。 可调谐MIR激光器（11）产生聚焦在样品台上的样品样本上的光束（18），样品台沿第一方向（33）移动样本。 光学组件包括具有聚焦透镜（55）的扫描组件（31）和相对于样品台沿与第一方向不同的第二方向（32）移动的反射镜（56）。 光检测器（13）测量离开样品点的光的强度。 控制器（39）根据测量的强度形成图像。 基准台（61）被定位成使得扫描组件响应于命令移动到参考台上，使得控制器也可进行参考测量。

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