利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

18 条记录 (耗时 0.008 秒)

    Electrostatic Lens Unit
    1.
    发明公开
    Electrostatic Lens Unit 有权
    Elektrostatische Linse

    公开(公告)号：EP2023372A1

    公开(公告)日：2009-02-11

    申请号：EP07114130.3

    申请日：2007-08-09

    申请人： Hitachi Ltd.

    发明人： Blackburn, Arthur

    IPC分类号： H01J37/12 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28

    CPC分类号： H01J37/12 ,  G01Q30/02 ,  G01Q70/10 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/03 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/04924 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/121 ,  H01J2237/20292 ,  H01J2237/244 ,  H01J2237/2544 ,  H01J2237/2583 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2818

    摘要： An electrostatic lens unit (23) for a charged particle beam system includes an insulating sheet (35, 37) having first and second opposite sides (42, 43) and comprising first and second laterally-spaced portions (35, 37). The first insulating sheet portion (37) is arranged to provide a cantilever (25) supporting a tip (26) for nanometre-scale probing of a surface of a sample adjacent the second side of the sheet. The second insulating sheet portion supports first and second electrodes (69, 81) on the first and second sides (42, 43) respectively and has an aperture (41) for allowing passage of a charged particle beam through the electrodes from the first side to the second side of the sheet.

    摘要翻译： 用于带电粒子束系统的静电透镜单元（23）包括具有第一和第二相对侧（42,43）并且包括第一和第二横向间隔部分（35,37）的绝缘片（35,37）。 第一绝缘片部分（37）被布置成提供支撑尖端（26）的悬臂（25），用于对邻近片材的第二侧的样品的表面进行纳米级探测。 第二绝缘片部分分别支撑第一和第二侧面（42,43）上的第一和第二电极（69,81），并且具有孔（41），用于允许带电粒子束通过电极从第一侧通过到 表格的第二面。

    Verfahren zur Gefügeanalyse an polykristallinen Festkörperproben
    4.
    发明公开
    Verfahren zur Gefügeanalyse an polykristallinen Festkörperproben 有权
    Verfahren zurGefügeanalyse一个polykristallinenFestkörperproben

    公开(公告)号：EP1014077A2

    公开(公告)日：2000-06-28

    申请号：EP99121800.9

    申请日：1999-11-02

    申请人： Institut für Festkörper- und Werkstofforschung Dresden e.V.

    发明人： Menzel, Siegfried ,  Buerke, Axel ,  Wetzig, Klaus ,  Rossek, Uwe

    IPC分类号： G01N23/20

    CPC分类号： G01N23/20058 ,  H01J37/256 ,  H01J2237/2544

    摘要： Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Gefügeanalyse an polykristallinen Festkörperproben unter Anwendung der Kikuchi-Technik zu schaffen, mit dem gegenüber dem Stand der Technik die Erzeugung eines Gefügebildes wesentlich schneller und exakter mit Hilfe der üblichen rasterelektronenmikroskopischen Abbildungsverfahren mittels Sekundär- bzw. Rückstreuelektronen möglich ist.
    Diese Aufgabe wird nach der Erfindung mit einem Verfahren gelöst, bei dem man

    a) in einem Rasterelektronenmikroskop (REM) von der Oberfläche der Festkörperprobe in an sich bekannter Weise ein Gefügebild mit hoher Abbildungstreue beziehungsweise Auflösung aufnimmt,
    b) aus dem Gefügebild bildanalytisch die geometrischen Schwerpunkte der Körnerschnittflächen ermittelt und von diesen die zugehörigen Vektoren beziehungsweise Kordinaten im Gefügebild bestimmt und zur Bildung eines Datensatzes heranzieht,
    c) den erhaltenen Datensatz zur punktweisen Steuerung der Position des Primärstrahls des REM auf der Oberfläche der Festkörperprobe verwendet und
    d) an diesen Positionen mit Hilfe der Kikuchi-Technik die Orientierung der Körner an der Oberfläche der Festkörperprobe ermittelt.

    摘要翻译： 扫描电子显微镜提供表面结构的高分辨率图像。 识别晶粒表面的几何重心，并使用选定的原点数据，确定相关联的向量坐标并将其记录为用于控制显微镜主光束位置的数据库 样品表面的固体。 然后应用菊池技术。 在用于多晶固体结构分析的菊池技术中，使用扫描电子显微镜来提供表面结构的高分辨率图像。 识别晶粒表面的几何重心，并使用所选择的原点数据，确定相关联的向量坐标并将其记录为数据库。 数据库用于控制样品固体表面上扫描显微镜主光束的位置。 对于初级束的这个位置，应用菊池技术来确定固体表面上的结构颗粒的取向。 用于产生表面图像的主光束的入射角大于或等于0.对于35-70度的入射角，应用菊池技术。

    LEED FOR SEM
    5.
    发明公开
    LEED FOR SEM 有权
    SEM的LEED

    公开(公告)号：EP2997590A1

    公开(公告)日：2016-03-23

    申请号：EP14797934.8

    申请日：2014-05-14

    申请人： Okinawa Institute of Science and Technology School Corporation

    发明人： SHINTAKE, Tsumoru

    IPC分类号： H01J37/244 ,  G01N23/20 ,  H01J37/295

    CPC分类号： H01J37/244 ,  G01N23/20 ,  H01J37/2955 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/2544 ,  H01J2237/2803

    摘要： A low energy electron diffraction (LEED) detection module (100) includes: a first vacuum chamber for receiving diffracted electrons from a specimen (109); a larger second vacuum chamber connected to the first vacuum chamber to receive the diffracted electrons that have been transported through the first vacuum chamber; a two-dimensional electron detector disposed in the second vacuum chamber to detect the diffracted electrons; a potential shield (106) disposed generally along an inner surface of the first vacuum chamber and an inner surface of the second vacuum chamber; a magnetic lens (105) to expand a beam of the diffracted electrons that have been transported through the first vacuum chamber towards the two-dimensional electron detector; and a generally plane-shaped energy filter (103) to repel electrons having an energy lower than the probe beam (203) of electrons that impinges on the specimen (109).

    摘要翻译： 低能电子衍射（LEED）检测模块（100）包括：用于接收来自样品（109）的衍射电子的第一真空室; 与第一真空室连接以接收已经通过第一真空室传送的衍射电子的较大的第二真空室; 设置在第二真空室中以检测衍射电子的二维电子探测器; 大致沿着第一真空室的内表面和第二真空室的内表面设置的电位屏蔽件（106） 磁透镜（105），其将通过所述第一真空室输送的所述衍射电子的束向所述二维电子检测器扩展; 和大致平面形状的能量滤波器（103），以排斥能量低于撞击在样本（109）上的电子的探测光束（203）的能量。

    Scanning reflection electron diffraction microscope
    8.
    发明公开
    Scanning reflection electron diffraction microscope 失效
    光栅Reflektions-Beugungselektronenmikroskop。

    公开(公告)号：EP0499490A2

    公开(公告)日：1992-08-19

    申请号：EP92301263.7

    申请日：1992-02-17

    申请人： SHIMADZU CORPORATION

    发明人： Marui, Takao

    IPC分类号： H01J37/295 ,  H01J37/22 ,  H01J31/26 ,  H01J31/48

    CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J31/48 ,  H01J37/224 ,  H01J37/2955 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2544

    摘要： A scanning reflection electron diffraction microscope causes a primary electron beam (4) from its electron gun (2) to be reflectively diffracted from a sample (7) and a diffraction pattern to be formed on fluorescent screen (9). An optical lens (10) reduces this diffraction pattern in size and forms its reduced image on a photoelectric surface (11), thereby producing an image-carrying electron beam. Deflected by a deflecting system including a deflecting coil (12) and a condenser coil (13), the image-carrying electron beam is detected by an electron-multiplier (15) such that a diffraction pattern is displayed on a cathode ray tube (19).

    摘要翻译： 扫描反射电子衍射显微镜使来自电子枪（2）的一次电子束（4）从样品（7）反射衍射，并在荧光屏（9）上形成衍射图案。 光学透镜（10）减小了该衍射图案的尺寸并在光电表面（11）上形成了缩小的图像，从而产生了图像载体的电子束。 通过包括偏转线圈（12）和冷凝器线圈（13）的偏转系统偏转，由电子倍增器（15）检测图像携带电子束，使得衍射图案显示在阴极射线管（19）上 ）。

    LEED FOR SEM
    9.
    发明授权
    LEED FOR SEM 有权

    公开(公告)号：EP2997590B1

    公开(公告)日：2018-01-10

    申请号：EP14797934

    申请日：2014-05-14

    申请人： OKINAWA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECH SCHOOL CORPORATION

    发明人： SHINTAKE TSUMORU

    IPC分类号： H01J37/244 ,  G01N23/20 ,  H01J37/295

    CPC分类号： H01J37/244 ,  G01N23/20 ,  H01J37/2955 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/2544 ,  H01J2237/2803

    摘要： A low energy electron diffraction (LEED) detection module (100) includes: a first vacuum chamber for receiving diffracted electrons from a specimen (109); a larger second vacuum chamber connected to the first vacuum chamber to receive the diffracted electrons that have been transported through the first vacuum chamber; a two-dimensional electron detector disposed in the second vacuum chamber to detect the diffracted electrons; a potential shield (106) disposed generally along an inner surface of the first vacuum chamber and an inner surface of the second vacuum chamber; a magnetic lens (105) to expand a beam of the diffracted electrons that have been transported through the first vacuum chamber towards the two-dimensional electron detector; and a generally plane-shaped energy filter (103) to repel electrons having an energy lower than the probe beam (203) of electrons that impinges on the specimen (109).

    IMAGE ELECTRON SPIN ANALYZER
    10.
    发明公开
    IMAGE ELECTRON SPIN ANALYZER 审中-公开
    电子自旋图像分析仪

    公开(公告)号：EP3026464A4

    公开(公告)日：2017-03-29

    申请号：EP13890165

    申请日：2013-09-10

    申请人： SHANGHAI INST MICROSYSTEM & INFORMATION TECH CAS

    发明人： QIAO SHAN ,  WAN WEISHI ,  JI FUHAO

    IPC分类号： H01J37/244 ,  G01T1/32 ,  H01J37/147 ,  H01J37/29

    CPC分类号： H01J37/29 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J37/252 ,  H01J2237/24557 ,  H01J2237/2544

    摘要： Provided is an image type electron spin polarimeter. It at least comprises a scattering target, a two-dimensional electron detector and an electron bending unit, wherein the electron bending unit is used for bending the orbit of the incident (scattered) electrons to a first (second) angle to arrive the scattering target (two-dimensional electron detector) with an optimal incident angle, and to transfer the image of the electron intensities from the entrance plane (scattering target) to the scattering target (two-dimensional electron detector) with small aberrations, and to separate the orbits of incident and scattered electrons to increase the degree of freedom of the geometric configuration of each component of the spin polarimeter. At least one of the first and second angles is not 0°, thereby achieving the first transfer of the two-dimensional image of electron intensities on the entrance plane to the scattering target and the second transfer from scattering target to the two-dimensional electron detector respectively with small aberrations, and then achieving multichannel measurements of the electron spin.