PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE HYBRIDE

    公开(公告)号:EP3365929A1

    公开(公告)日:2018-08-29

    申请号:EP16795121.9

    申请日:2016-10-17

    申请人: Soitec

    发明人: LANDRU, Didier

    IPC分类号: H01L41/313 H03H9/02

    摘要: The invention relates to a method for manufacturing a hybrid structure (60) comprising an effective layer (20) of piezoelectric material that has an effective thickness and is arranged on a supporting substrate (1) having a substrate thickness and a thermal expansion coefficient lower than that of the effective layer (20), the method comprising: a) A step of providing a bonded structure comprising a piezoelectric material donor substrate and the supporting substrate (1), the bonded structure having a bonding interface (5) between these two substrates, b) A first step of thinning the donor substrate to form a thinned layer that has an intermediate thickness and is arranged on the supporting substrate (1), the assembly forming a thinned structure, c) A step of heat treating the thinned structure at an annealing temperature, d) A second step, after step c), of thinning the thinned layer to form the effective layer (20). The method is characterized in that it comprises, prior to step b), a step a') of determining a range of intermediate thicknesses that prevent the thinned structure (6') from being damaged during step c), the range being defined by a threshold thickness and a maximum thickness, and the intermediate thickness of the thinned layer being selected from within this range.

    KRYOTAUGLICHER RESONATOR-SENSOR
    6.
    发明公开
    KRYOTAUGLICHER RESONATOR-SENSOR 审中-公开
    CRYOTALLY RESONATOR SENSOR

    公开(公告)号:EP3306311A1

    公开(公告)日:2018-04-11

    申请号:EP17183782.6

    申请日:2017-07-28

    申请人: ArianeGroup GmbH

    摘要: Ein erfindungsgemäßer Resonator-Sensor (100) dient einer Erfassung einer Gasdichte und/oder einer Gaszusammensetzung insbesondere in einem kryogenen Temperaturbereich. Er umfasst eine Schwingzunge (110) mit mindestens einer in einem Abschnitt darauf aufgebrachten Piezofolie (120a, 120b) sowie eine Einspannvorrichtung zur Halterung der Schwingzunge. Die Einspannvorrichtung umfasst einen Einspannkörper (130) mit einer Ausnehmung (140), in der ein Abschnitt der Schwingzunge eingesetzt und stoffschlüssig mit dem Einspannkörper verbunden ist. Bei 20°C hat der Einspannkörper (130) einen Elastizitätsmodul von mindestens 10 GPa und höchstens 50 GPa. Ein erfindungsgemäßer Tank und eine erfindungsgemäße Vorrichtung (10) umfassen einen erfindungsgemäßen Resonator-Sensor (100). Ein erfindungsgemäßes Verfahren dient einer Bestimmung einer Gasdichte oder einer Gaszusammensetzung und kann insbesondere in einem kryogenen Temperaturbereich angewandt werden.

    摘要翻译: 根据本发明的谐振器传感器(100)用于检测气体密度和/或气体组成,特别是在低温温度范围内。 它包括振动舌(110),其中在一个部分中施加有至少一个压电薄膜(120a,120b)并且具有用于保持振动舌的夹持装置。 夹紧装置包括具有凹部(140)的夹紧体(130),振动榫舌的一部分以一种材料锁定的方式插入并连接到夹紧体上。 在20℃下,夹持体(130)具有至少10GPa且至多50GPa的弹性模量。 根据本发明的罐和根据本发明的装置(10)包括根据本发明的谐振器传感器(100)。 根据本发明的方法用于确定气体密度或气体组成并且尤其可以在低温温度范围内使用。

    AKTORVORRICHTUNG
    10.
    发明公开
    AKTORVORRICHTUNG 审中-公开

    公开(公告)号:EP3172774A1

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:EP15760082.6

    申请日:2015-07-22

    IPC分类号: H01L41/053

    摘要: The invention relates to an actuator system comprising at least four electrically controllable, longitudinally adjustable actuators, to each of which a compressive force is applied in the direction of the longitudinal adjustment thereof by means of a separate housing that has an integrally formed resilient portion, each housing being designed as a single piece along with a base element shared by all housings. The invention further relates to an array comprising a plurality of actuator systems of said type.

    摘要翻译: 本发明涉及一种致动器系统,该致动器系统包括至少四个电控可纵向调节的致动器,通过具有整体形成的弹性部分的单独的壳体在其纵向调节方向上施加压缩力, 外壳与所有外壳共用的基座元件一起设计为单件。 本发明还涉及包括多个所述类型的致动器系统的阵列。