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    NONWOVEN FABRIC POLISHING ROLL AND METHOD OF MANUFACTURING SAME
    5.
    发明公开
    NONWOVEN FABRIC POLISHING ROLL AND METHOD OF MANUFACTURING SAME 审中-公开
    无纺布抛光辊及其制造方法

    公开(公告)号：EP2670566A2

    公开(公告)日：2013-12-11

    申请号：EP12742079.2

    申请日：2012-01-26

    申请人： 3M Innovative Properties Company

    发明人： NAKAYAMA, Masashi ,  YODA, Akira

    IPC分类号： B24D13/04 ,  B24D13/02 ,  B24D13/10

    CPC分类号： B24D13/08 ,  B24D13/02 ,  B24D13/20 ,  B24D18/0009 ,  B24D18/0072 ,  Y10T156/10

    摘要： To provide a nonwoven fabric polishing roll that can reduce the occurrence of polishing defects and carry out uniform polishing. A nonwoven fabric polishing roll having a through hole in to which a rotation shaft of a polishing machine is inserted, and the internal surface of the through hole engages with the rotation shaft so that the torque of the rotation shaft is transmitted, the nonwoven fabric polishing roll comprising: a plurality of circular nonwoven fabrics having an aperture in the center thereof that forms the through hole; and a plurality of circular plates having an aperture in the center thereof that forms the through hole, and having an outer diameter that is smaller than the outer diameter of the circular nonwoven fabric, wherein the plurality of circular nonwoven fabric and the plurality of the circular plates are stacked so that one or two or more of the circular nonwoven fabrics are sandwiched on their aperture side by the circular plates, and bonded together with adhesive while compressed in the stacking direction, and the compression deformation ratio of the circular plates with respect to pressure forces from a direction normal to the stacking direction is smaller than that of the circular nonwoven fabric.

    METHOD AND SYSTEM FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING WITH A CYLINDRICAL POLISHING PAD
    6.
    发明授权
    METHOD AND SYSTEM FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING WITH A CYLINDRICAL POLISHING PAD 有权
    方法和装置用于圆柱砂轮化学机械抛光

    公开(公告)号：EP1212170B1

    公开(公告)日：2003-10-22

    申请号：EP00957588.7

    申请日：2000-08-17

    申请人： LAM RESEARCH CORPORATION

    发明人： FROST, David, T.

    IPC分类号： B24B37/04 ,  B24B49/04 ,  B24B49/16 ,  B24D13/02

    CPC分类号： B24B37/04 ,  B24B49/04 ,  B24B49/16 ,  B24D13/02

    摘要： A system and method for chemical mechanical polishing, and for the preparation of wafer surfaces (202') is provided. The chemical mechanical polishing system (250) includes a carrier (204) to hold and rotate a wafer (202). The wafer (202) has a surface area (202') and is held by the carrier (204) so that the surface area of the wafer (202) to be processed is exposed. The system further includes a roller (210) that has a process surface (220). The roller (210) is configured to rotate about an axis (215), and the rotating process surface (220) of the roller (210) is applied with force ((214) against the rotating wafer surface (202') defining a contact region (212a) on the wafer (202). The area of the contact region (212a) is less than the surface area (202') of the wafer (202). The contact region (212a) is moved between a first region of the wafer and a second region during the processing of the wafer (202), and the force (214) and linear velocity are manipulated to control a rate of removal.

    PNEUMATIC WHEEL SANDER.
    7.
    发明公开
    PNEUMATIC WHEEL SANDER. 失效
    气动激活的研磨工具。

    公开(公告)号：EP0285635A4

    公开(公告)日：1990-01-08

    申请号：EP87906650

    申请日：1987-10-07

    申请人： SMITH ROBERT KEITH

    发明人： SMITH ROBERT KEITH

    IPC分类号： B24D9/02 ,  B24D13/02 ,  B24D17/00

    CPC分类号： B24D9/02 ,  B24D13/02

    摘要： A pneumatic wheel sander comprising a wheel (1) having an annular well (2) between two spaced apart radial flanges (3) to give a substantially H-shaped cross-section. A tyre (9) carrying two annular beads (10) configured to fit into two recesses (11) in the flanges (3) and held therein by retaining members (13) is maintained under air pressure via an air inlet valve (7) in one flange (3) and an air passage (8), with a fitting (5) for adaption to a driving source, being located in the other flange (3).

    Werkzeugaufnahmevorrichtung, Werkzeugaufnahmevorrichtung-Werkzeug-Kombination und Werkzeugmaschine
    10.
    发明公开
    Werkzeugaufnahmevorrichtung, Werkzeugaufnahmevorrichtung-Werkzeug-Kombination und Werkzeugmaschine 审中-公开
    Werkzeugaufnahmevorrichtung，Werkzeugaufnahmevorrichtung-Werkzeug-Kombination und Werkzeugmaschine

    公开(公告)号：EP2548697A2

    公开(公告)日：2013-01-23

    申请号：EP12174640.8

    申请日：2012-07-02

    申请人： Flex-Elektrowerkzeuge GmbH

    发明人： Röck, Dirk

    IPC分类号： B24B45/00 ,  B25F5/00 ,  B24B55/05 ,  B24D13/02

    CPC分类号： B24B45/006 ,  B24B55/052 ,  B24D13/02 ,  B24D13/20 ,  B25F3/00

    摘要： Um eine Werkzeugaufnahmevorrichtung (106) für eine handgehaltene Werkzeugmaschine (100) zur Aufnahme eines Werkzeugs (104) zu schaffen, mittels welcher ein einfacher Werkzeugwechsel durchführbar ist, wird vorgeschlagen, dass die Werkzeugaufnahmevorrichtung (106) eine Welle (110), auf welche das Werkzeug (104) aufsteckbar oder aufgesteckt ist, eine Fixierungsvorrichtung (116) zur Fixierung der Welle (110) an der handgehaltenen Werkzeugmaschine (100) und eine Sicherungsvorrichtung (108) zum Sichern des Werkzeugs (104) in einer Arbeitsposition auf der Welle (110) umfasst, wobei die Sicherungsvorrichtung (108) mindestens ein Sicherungselement (124) umfasst, welches mittels mindestens einer Kulissenbahnführung (126) der Sicherungsvorrichtung (108) von einer Sicherungsposition, in welcher ein auf der Welle (110) angeordnetes Werkzeug (104) mittels der Sicherungsvorrichtung (108) in der Arbeitsposition sicherbar oder gesichert ist, in eine Werkzeugwechselposition bringbar ist, in welcher ein Werkzeug (104) auf die Welle (110) aufsteckbar und/oder von der Welle (110) entnehmbar ist.

    摘要翻译： 装置（106）具有用于将轴（110）固定到手持式机床（100）的固定装置（116）。 固定装置（108）将工具（104）固定在工作位置上的轴上，并且具有固定元件（124），该固定元件（124）从工具在工作位置固定到工具更换位置的固定位置移动 其中所述工具附接在所述轴上和/或从所述轴移除，其中所述元件通过所述固定装置的连接腹板引导件（126）移动。 轴设计为圆柱形，并具有彼此连接的两个半壳。 手持式机床还包括独立声明。