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    Gas pressure gauge
    3.
    发明公开
    Gas pressure gauge 失效
    气压计量气压计

    公开(公告)号：EP0238297A3

    公开(公告)日：1989-07-19

    申请号：EP87302257.8

    申请日：1987-03-17

    申请人： SEIKO INSTRUMENTS INC. ,  VACUUM PRODUCTS CO.

    发明人： Hojo, Hisao

    IPC分类号： G01L21/30 ,  G01L21/00 ,  G01L21/32 ,  G01L9/08

    CPC分类号： G01L9/0022 ,  G01L21/00 ,  G01L21/30 ,  G01L21/32

    摘要： A gas pressure gauge for measuring the degree of vacuum in a vessel, comprising a gauge support member (3) which is adapted to close and seal an opening in the vessel, and an ionization type pressure gauge (1) which is secured to said gauge support member (3) characterised in that a further pressure gauge (2) which uses a mechanical vibrator (10) adapted to be driven by an electrical or magnetic field is also secured to the gauge support member (3), a control circuit (6) being provided for controlling the operation of the gauges (1,2) so that, when the degree of vacuum in the vessel is below a predetermined value, the further pressure gauge (2) operates and, when the degree of vacuum in the vessel is above the predetermined value, the ionization type pressure gauge (1) operates.

    DRUCKMESSVORRICHTUNG
    4.
    发明公开
    DRUCKMESSVORRICHTUNG 审中-公开

    公开(公告)号：EP3760995A1

    公开(公告)日：2021-01-06

    申请号：EP20181568.5

    申请日：2020-06-23

    申请人： Ph-Instruments GmbH

    发明人： HOFMANN, Peter, Dr.

    IPC分类号： G01L21/00 ,  G01L21/16 ,  G01L21/24 ,  G01L27/00 ,  G01L21/12 ,  G01L21/30

    摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft insbesondere ein Verfahren zur Druckmessung mittels einer Vakuum-Druckmessvorrichtung (20), die eine erste Druckmesseinrichtung (21) und eine zweite Druckmesseinrichtung (28) aufweist. Um eine möglichst genaue, reproduzierbare und langzeitstabile Druckmessung, insbesondere in weiten Unterdruckbereichen, insbesondere für eine Vakuum-Prozess- Mess- und/oder -Regelung, zu realisieren, ist folgendes vorgesehen: mittels einer ersten Druckmesseinrichtung (21), die als Gasreibungsmanometer ausgebildet ist, werden erste Druckmesswerte (33) bereitgestellt;
    mittels einer zweiten Druckmessvorrichtung (28), die als eine im Vergleich zur ersten Druckmesseinrichtung (21) schnellere und/oder kontinuierliche Druckmesseinrichtung ausgebildet ist, werden zweite Druckmesswerte (34) bereitgestellt;
    in einer Steuereinrichtung (24) der Druckmessvorrichtung (20) werden die ersten Druckmesswerte (33) der ersten Druckmesseinrichtung (21) und die zweiten Druckmesswerte (34) der zweiten Druckmesseinrichtung (28) zueinander in Bezug gesetzt, derart, dass in einer Kalibriereinrichtung (25) der Steuereinrichtung (24) die von der zweiten Druckmesseinrichtung (28) bereitgestellten zweiten Druckmesswerte (34) mittels der von der ersten Druckmesseinrichtung (21) bereitgestellten ersten Druckmesswerte (33), insbesondere kontinuierlich, kalibriert und optional justiert werden, und/oder die von der ersten Druckmesseinrichtung (21) bereitgestellten ersten Druckmesswerte (33) mittels der von der zweiten Druckmesseinrichtung (28) bereitgestellten zweiten Druckmesswerte (34), insbesondere kontinuierlich, kalibriert und optional justiert werden.

    IONIZATION GAUGE HAVING ELECTRON MULTIPLIER COLD EMMISSION SOURCE
    7.
    发明公开
    IONIZATION GAUGE HAVING ELECTRON MULTIPLIER COLD EMMISSION SOURCE 审中-公开
    IONISATIONSMESSGERÄT与电子倍增器冷任务SOURCE

    公开(公告)号：EP2232224A2

    公开(公告)日：2010-09-29

    申请号：EP08868368.5

    申请日：2008-12-17

    申请人： Brooks Automation, Inc.

    发明人： BRUCKER, Gerardo, A.

    IPC分类号： G01L21/34 ,  G01N27/62 ,  H01J37/05 ,  H01J41/04 ,  G01L21/30

    CPC分类号： G01L21/34 ,  G01N27/64 ,  H01J41/06

    摘要： An ionization gauge includes an electron generator array that includes a microchannel plate that includes an electron generating portion of the microchannel plate comprising a source for generating seed electrons and an electron multiplier portion of the microchannel plate, responsive to the seed electrons generated by the electron generating portion, that multiplies the electrons. The ionization gauge includes an ionization volume in which the electrons impact a gaseous species, and a collector electrode for collecting ions formed by the impact between the electrons and gas species. The collector electrode can be surrounded by the anode, or the ionization gauge can be formed with multiple collector electrodes. The source of electrons can provide for a spontaneous emission of electrons, where the electrons are multiplied in a cascade.