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公开(公告)号：EP3827269A1
公开(公告)日：2021-06-02
申请号：EP19755992.5
申请日：2019-07-24
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公开(公告)号：EP3467519A1
公开(公告)日：2019-04-10
申请号：EP18186031.3
申请日：2018-07-27
申请人： Picofine GmbH
发明人： Kortschack, Axel
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft das Gebiet des sogenannten Nanoprobing und adressiert insbesondere Probleme im Zusammenhang mit Einbau und Austausch von Probernadeln, die beim Nanoprobing genutzt werden sollen. Um eine Lösung vorzustellen, die es ermöglicht, die exakte Position der Nadeln zueinander zu bestimmen, wird ein Nanoprober mit einem ersten Manipulator, der dazu ausgestaltet ist, eine erste Probernadel mit einer ersten Nadelspitze im Raum zu bewegen, wobei diese Bewegung durch ein erstes Koordinatensystem beschreibbar ist, einem zweiten Manipulator, der dazu ausgestaltet ist, eine zweite Probernadel mit einer zweiten Nadelspitze im Raum zu bewegen, wobei diese Bewegung durch ein zweites Koordinatensystem beschreibbar ist, und einem Referenzobjekt vorgeschlagen, dessen Oberfläche räumlich so ausgestaltet ist, dass durch Bestimmung einer vorbestimmten Anzahl von Messpunkten für die erste Nadelspitze und die zweite Nadelspitze im ersten und zweiten Koordinatensystem das erste und das zweite Koordinatensystem zueinander in Beziehung setzbar sind, wobei sich ein Messpunkt durch eine Berührung einer Nadelspitze mit dem Referenzobjekt und/oder eine Annäherung der Nadelspitze an die Oberfläche des Referenzobjekts auf weniger als einen vordefinierten Abstand ergibt.
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3.发明公开MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM AND METHODS OF USE 审中-公开VERFAHREN ZUR VERWENDUNG的MIKROELEKTROMECHANISCHES系统
公开(公告)号：EP2861524A4
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：EP13803842
申请日：2013-05-31
发明人： CLARK JASON V
IPC分类号： B81C99/00 , G01C19/56 , G01K11/00 , G01P15/08 , G01P15/097 , G01P15/125 , G01P21/00 , G01Q40/00
CPC分类号： G01P15/125 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , B81B2201/033 , B81C99/003 , B81C99/0045 , G01C19/5755 , G01K11/00 , G01P15/097 , G01P21/00 , G01P2015/0871 , G01Q20/00 , G01Q40/00
摘要： Methods of measuring displacement of a movable mass in a microelectromechanical system (MEMS) include driving the mass against two displacement-stopping surfaces and measuring corresponding differential capacitances of sensing capacitors such as combs. A MEMS device having displacement-stopping surfaces is described. Such a MEMS device can be used in a method of measuring properties of an atomic force microscope (AFM) having a cantilever and a deflection sensor, or in a temperature sensor having a displacement-sensing unit for sensing a movable mass permitted to vibrate along a displacement axis. A motion-measuring device can include pairs of accelerometers and gyroscopes driven 90° out of phase.
摘要翻译： 在微机电系统（MEMS）中测量可移动质量块的位移的方法包括将驱动质量抵抗两个位移停止表面并测量诸如梳状物之类的感测电容器的对应差分电容。 描述了具有位移停止表面的MEMS器件。 这样的MEMS器件可以用于测量具有悬臂和偏转传感器的原子力显微镜（AFM）的性质的方法中，或者在具有位移感测单元的温度传感器中使用，该位移感测单元用于感测允许沿着 位移轴。 运动测量装置可以包括驱动90°异相的加速度计和陀螺仪对。
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4.发明公开
公开(公告)号：EP2895840A1
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：EP13750924.6
申请日：2013-08-15
发明人： HAEHNER, Georg , PARKIN, John
摘要： A method for determining a spring constant/rigidity of a cantilever of a known shape, the method involving: measuring a resonance frequency of the cantilever in a plurality of static equilibrium positions in which the shape of the cantilever is different and determining a spring constant and/or rigidity of the cantilever using the measured frequencies. The resonance frequency may be at least one of a torsional and lateral resonance frequency.
摘要翻译： 一种用于确定已知形状的悬臂的弹簧常数/刚度的方法，所述方法包括：在悬臂的形状不同并确定弹簧常数的多个静态平衡位置中测量悬臂的共振频率，并且 /或使用测量的频率的悬臂的刚性。 共振频率可以是扭转和侧向共振频率中的至少一个。
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5.发明公开Calibration of a mechanical property of SPM cantilevers 审中-公开Kalibrierung einer mechanischen Eigenschaft von RSM-Federbalken
公开(公告)号：EP2648005A1
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：EP12162847.3
申请日：2012-04-02
CPC分类号： G01Q40/00 , B81C99/003 , B82Y35/00 , G01N29/036 , G01N29/30 , G01N2291/0427
摘要： A method is presented for calibrating a cantilever, such as a scanning probe microscope cantilever (10) (SPM cantilever). The cantilever to be calibrated comprises at least a first and a second layer (14, 16) having a mutually different thermal expansion coefficient, the method comprising the steps of
- controllably causing (S1) a temperature distribution along the cantilever,
- measuring (S2) a spatial state of the cantilever,
- computing (S3) a mechanical property from the observed spatial state caused by controllably changing the temperature.
Also a calibration arrangement and a scanning probe microscope provided with the calibration arrangement are presented.摘要翻译： 提出了一种用于校准悬臂的方法，如扫描探针显微镜悬臂（10）（SPM悬臂梁）。 要校准的悬臂包括具有相互不同的热膨胀系数的至少第一和第二层（14,16），所述方法包括以下步骤： - 可控制地使（S1）沿悬臂的温度分布， - 测量（S2 ）悬臂的空间状态， - 计算（S3）由可控地改变温度引起的观察到的空间状态的机械特性。 还提出了配备有校准装置的校准装置和扫描探针显微镜。
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公开(公告)号：EP4281788A1
公开(公告)日：2023-11-29
申请号：EP22705430.1
申请日：2022-01-20
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公开(公告)号：EP3602081A1
公开(公告)日：2020-02-05
申请号：EP18714195.7
申请日：2018-03-22
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8.发明公开METHOD OF TUNING PARAMETER SETTINGS FOR PERFORMING ACOUSTIC SCANNING PROBE MICROSCOPY FOR SUBSURFACE IMAGING, SCANNING PROBE MICROSCOPY SYSTEM, AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT 审中-公开调整参数设置的方法，以执行用于地下成像，扫描探针显微系统和计算机程序产品的声学扫描探针显微镜
公开(公告)号：EP3232204A1
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：EP16165256.5
申请日：2016-04-14
CPC分类号： G01Q60/32 , G01N29/0681 , G01N29/22 , G01Q40/00
摘要： This document relates to a method of tuning a scanning probe microscopy system and system therefore. The system comprising a sample carrier and a probe with a probe tip, and is configured for positioning the probe tip relative to a sample. The system further includes a transducer, a sensor for sensing probe tip vibrations, and a controller. The method comprises: a) applying an acoustic vibration signal comprising a first frequency and a second frequency to the sample; b) at a first position of the probe tip, controlling the transducer to sweep the first frequency across a first frequency range, and obtaining a first probe tip sensor signal; c) at a second position of the probe tip, controlling the transducer to sweep the first frequency across at least said first frequency range, and obtaining a second probe tip sensor signal; d) analyzing the first and second sensor signal to obtain a difference characteristic dependent on the first frequency, and selecting a first frequency value for which the difference characteristic exceeds a threshold for tuning the first frequency. The first and second position are selected such that a subsurface structure of the sample at the first and second position is different.
摘要翻译： 因此，本文涉及一种调整扫描探针显微镜系统和系统的方法。 该系统包括样本载体和具有探针尖端的探针，并且被配置用于相对于样本定位探针尖端。 该系统还包括换能器，用于感测探针尖端振动的传感器，以及控制器。 该方法包括：a）向样本施加包括第一频率和第二频率的声振信号; b）在所述探针尖端的第一位置处，控制所述换能器在第一频率范围上扫描所述第一频率，并且获得第一探针尖端传感器信号; c）在所述探针尖端的第二位置处，控制所述换能器在至少所述第一频率范围上扫描所述第一频率，并且获得第二探针尖端传感器信号; d）分析第一和第二传感器信号以获得取决于第一频率的差异特性，并且选择差异特性超过用于调谐第一频率的阈值的第一频率值。 选择第一和第二位置使得样品在第一和第二位置处的表面下结构不同。
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9.发明授权VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES MESSSYSTEMS MIT EINEM RASTERSONDENMIKROSKOP UND MESSSYSTEM 有权一种用于操作测量系统用探针显微镜和GRID测量系统
公开(公告)号：EP1979913B1
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：EP06828723.4
申请日：2006-12-21
申请人： JPK Instruments AG
发明人： JÄHNKE, Torsten , HAGGERTY, Michael
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公开(公告)号：EP2927699A3
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：EP15161370.0
申请日：2015-03-27
IPC分类号： G01Q40/00
摘要： A method for measuring vibration characteristic of a cantilever is proposed in this disclosure. The method includes: measuring vibration amplitude V of a cantilever installed in a scanning probe microscope when vibration with a resonant frequency f1 (Hz) is applied to the cantilever; obtaining a time Th (second) when the vibration amplitude V is equal to or more than 0.90 of a stationary amplitude V0; and calculating a Q value by using the following Expression (1):
摘要翻译： 在本公开中提出了一种用于测量悬臂的振动特性的方法。 该方法包括：当对悬臂施加谐振频率f1（Hz）的振动时，测量安装在扫描探针显微镜中的悬臂的振动幅度V; 当振动幅度V等于或大于固定振幅V0的0.90时获得时间Th（秒）; 并通过使用以下表达式（1）来计算Q值：
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