異方導電性コネクター、プローブ部材およびウエハ検査装置

    公开(公告)号:JPWO2008120654A1

    公开(公告)日:2010-07-15

    申请号:JP2009507491

    申请日:2008-03-27

    CPC classification number: G01R1/0491 G01R1/0735 H01R13/2414

    Abstract: 検査対象のウエハが大面積のもので、集積回路の被検査電極の総数が10000以上のものでも、加圧されたときに、全ての導電部において均一な導通性が得られる異方導電性コネクター、プローブ部材およびこれを具えたウエハ検査装置を提供する。本発明の異方導電性コネクターは、複数の異方導電膜配置用孔が形成されたフレーム板と、フレーム板の異方導電膜配置用孔内に配置され、異方導電膜配置用孔の周辺部に支持された複数の弾性異方導電膜とよりなり、弾性異方導電膜の各々は、弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子が密に含有されてなる厚み方向に伸びる複数の接続用導電部、およびこれらの接続用導電部を相互に絶縁する絶縁部を有し、フレーム板における周辺領域に配置された弾性異方導電膜の接続用導電部は、その厚みが当該フレーム板における中央領域に配置された弾性異方導電膜の接続用導電部の厚みより小さいものである。

    液晶配向剤および液晶表示素子

    公开(公告)号:JPWO2008105564A1

    公开(公告)日:2010-06-03

    申请号:JP2009501334

    申请日:2008-02-29

    CPC classification number: G02F1/133723 C08G73/10

    Abstract: 本発明は、下記式(1)で表わされる脂肪族テトラカルボン酸二無水物とp−フェニレンジアミンとを用いて得られたポリアミック酸およびそのイミド化重合体を含有する液晶配向剤に関する。(式中、R1〜R6は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜20のアルキル基であり、mおよびnは、それぞれ独立に、0〜3の整数を表す。)上記液晶配向剤は、良好な塗布性、高い初期電圧保持率を示し、かつ液晶表示素子に光や熱ストレスを印加したり、長時間液晶表示素子を駆動させても電圧保持率の低下が小さい液晶配向膜を与えることができる。

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