-
公开(公告)号：JP2020180368A
公开(公告)日：2020-11-05
申请号：JP2020056202
申请日：2020-03-26
申请人： ピコサン オーワイ , PICOSUN OY
IPC分类号： C23C16/448
摘要： 【課題】気化する基板をコーティングするための方法および装置を提供する。 【解決手段】基板が本質的に液相から気相への相転移を起こす間にフィルムコーティング12が基板10の少なくとも一部の上に堆積される。当該基板材料の少なくとも一部を気化させた際に形成されるガス種101は、気相中で化学蒸着反応を起こした際に少なくとも1つのコーティング層を形成する微粒子11を生成してフィルムコーティング12を生成する。 【選択図】図1
-
公开(公告)号：JP2018115392A
公开(公告)日：2018-07-26
申请号：JP2018036128
申请日：2018-03-01
申请人： ピコサン オーワイ , PICOSUN OY
发明人： サンメルセルク ヴァイノ , コスタモ ユハナ , バイエル ウィリ , アーリク ヤーン , アーリク ラウリ , リンドフォース スヴェン , アダム ピーター , ポウティアイネン ユホ
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 【課題】ガスボンベやガス容器などのガスコンテナ内部を保護被膜によって保護する方法および装置の提供。 【解決手段】ガスコンテナ410のポート411に取り付け可能なポートアセンブリ424を備える吸排気マニホールドを設け、反応ガスを、供給管路441、443、ポートアセンブリおよびポートを介してガスコンテナ内部へと順次供給することで、ガスコンテナ内部を順次自己飽和表面反応に暴露し、反応残渣を、排気管路432、ポートおよびポートアセンブリを介してガスコンテナから真空ポンプによって送り出す。 【選択図】図4
-
公开(公告)号：JP2018500462A
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：JP2017529021
申请日：2015-11-25
申请人： ピコサン オーワイ , PICOSUN OY
IPC分类号： C23C16/455 , H01L21/31 , H01L21/316
CPC分类号： C23C16/45527 , C23C16/45536 , C23C16/45574 , C23C16/45578 , C23C16/48 , C23C16/482 , C23C16/483
摘要： 好適な実施形態に従う方法は、少なくとも1つの堆積サイクルを含む原子層堆積シーケンスを実行する方法である。各サイクルにおいて単層の堆積材料が生成される。前記堆積サイクルは、少なくともであ第1の前駆体種および第2の前駆体種を、反応室内にある基板表面に導入することを含み、該第1の前駆体種と該第2の前駆体種は、気相として同時に該反応室内に存在する。【選択図】図6
-
公开(公告)号：JP6218921B2
公开(公告)日：2017-10-25
申请号：JP2016507016
申请日：2013-04-10
申请人： ピコサン オーワイ , PICOSUN OY
IPC分类号： F04B39/00 , F04B37/16 , C23C16/455
CPC分类号： C23C16/45525 , C23C16/045 , C23C16/4412 , C23C16/45544 , C23C16/45555 , C30B25/00 , C30B25/02 , C30B25/025 , C30B25/08 , C30B25/14 , C30B35/00 , F04C2230/91 , F05C2253/12
-
公开(公告)号：JP2020182829A
公开(公告)日：2020-11-12
申请号：JP2020055898
申请日：2020-03-26
申请人： ピコサン オーワイ , PICOSUN OY
发明人： マルコ,プダス
摘要： 【課題】医療器具を清浄し、かつその表面にある有機残留物などの残留物を検出するための方法および関連する装置を提供する。 【解決手段】医療器具を清浄し、かつその表面にある残留物を検出するための方法であって、(a)非無菌の医療器具または従来通りに滅菌された医療器具を得ることと、(b)前記器具を堆積および/または分析装置の中に載置することと、(c)前記器具を100hPa未満の圧力に曝露することと、(d)前記器具を前記残留物に反応する少なくとも1種のガスに曝露することと、を含む方法。 【選択図】図1
-
公开(公告)号：JP2020163142A
公开(公告)日：2020-10-08
申请号：JP2020056919
申请日：2020-03-27
申请人： ピコサン オーワイ , PICOSUN OY
IPC分类号： C23C16/455 , A61L31/08
摘要： 【課題】医療機器の種類を識別するための、また、医療機器の再利用の回数を示すためのコーティングを備えた医療機器の提供。 【解決手段】医療機器であって、その表面に、前記医療機器を用いた再利用の回数を示すべく、予め定められたプロセスによって1層ずつ除去されるように構成された複数の原子層堆積(Atomic Layer Deposition:ALD)層を含むコーティングを備える、医療機器。 【選択図】図4
-
公开(公告)号：JP2020127037A
公开(公告)日：2020-08-20
申请号：JP2020076392
申请日：2020-04-23
申请人： ピコサン オーワイ , PICOSUN OY
IPC分类号： C23C16/44 , H01L21/31 , H01L21/683 , H01L21/677
摘要： 【課題】材料が順次自己飽和表面反応によって表面に堆積される原子層堆積反応炉に関し、1回分の基板群を堆積反応炉に装填するための方法を提供する。 【解決手段】堆積反応炉に装填するため方法は、ローダ131が複数の基板120を、装填室102内の基板ホルダ121に収容することを含む。それによって複数の基板120は、基板ホルダ121内で、水平に向けられた基板群の鉛直方向の積み重ねを形成する。更に、鉛直に向けられた基板群の水平方向の配列を形成するべく基板ホルダ121を回転させ、基板ホルダを堆積反応炉の反応室103へ装填する。 【選択図】図1
-
公开(公告)号：JP6697640B2
公开(公告)日：2020-05-20
申请号：JP2019541456
申请日：2017-02-08
申请人： ピコサン オーワイ , PICOSUN OY
发明人： マリネン ティモ
IPC分类号： C23C16/455 , H01L21/205 , H01L21/31 , H01L21/683 , C23C16/44
-
公开(公告)号：JP6582075B2
公开(公告)日：2019-09-25
申请号：JP2018036128
申请日：2018-03-01
申请人： ピコサン オーワイ , PICOSUN OY
发明人： サンメルセルク ヴァイノ , コスタモ ユハナ , バイエル ウィリ , アーリク ヤーン , アーリク ラウリ , リンドフォース スヴェン , アダム ピーター , ポウティアイネン ユホ
IPC分类号： C23C16/455
-
公开(公告)号：JP6302081B2
公开(公告)日：2018-03-28
申请号：JP2016549415
申请日：2014-03-04
申请人： ピコサン オーワイ , PICOSUN OY
发明人： リー ウェイ−ミン
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/31 , H01L21/316 , C23C16/455
CPC分类号： H01L21/02532 , C23C16/08 , C23C16/18 , C23C16/407 , C23C16/45527 , C23C16/45536 , C23C16/4554 , H01L21/02112 , H01L21/02205 , H01L21/02274 , H01L21/0228 , H01L21/02381 , H01L21/02387 , H01L21/02422 , H01L21/0262
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
69 条记录 (耗时 0.018 秒)
