公开(公告)号：JP4692540B2

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：JP2007505904

申请日：2006-02-24

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 圭二 今野 ,  智樹 永井 ,  正人 田中 ,  桃子 石井 ,  純一 高橋

IPC: G03F7/11 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0752 ,  G03F7/0751 ,  G03F7/11 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/0332 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/115 ,  Y10T428/31515 ,  Y10T428/31612 ,  Y10T428/31663

公开(公告)号：JP4662000B2

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：JP2000220271

申请日：2000-07-21

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 圭二 今野 ,  淳 塩田 ,  欣司 山田 ,  榮秀 徐 ,  英治 林 ,  孝彦 黒澤

IPC: C08G77/08 ,  C09D183/04 ,  C01B33/12 ,  C09D183/02 ,  C09D183/14 ,  H01L21/312

公开(公告)号：JP4179116B2

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：JP2003319793

申请日：2003-09-11

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 努 下川 ,  圭二 今野 ,  求樹 岡庭 ,  紀彦 杉江 ,  光 杉田 ,  裕一 橋口 ,  正人 田中 ,  仲篤 能村

IPC: G03F7/11 ,  C09D165/00 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP4168473B2

公开(公告)日：2008-10-22

申请号：JP8820898

申请日：1998-03-17

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： イーゴリ ロジャンスキー ,  圭二 今野 ,  幸平 後藤

IPC: C07D209/48 ,  B01J31/24 ,  C07B61/00 ,  C07C51/00 ,  C07C51/31 ,  C07C63/331

CPC classification number: Y02P20/52

公开(公告)号：JP3632974B2

公开(公告)日：2005-03-30

申请号：JP2002048210

申请日：2002-02-25

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 圭二 今野 ,  信夫 別所 ,  厚司 熊野 ,  政暁 花村

IPC: G03F7/004 ,  C08K5/00 ,  C08L83/04 ,  C08L101/00 ,  G02B1/04 ,  G02B3/00 ,  G02B5/18 ,  G02B6/00 ,  G02B6/12 ,  G03H1/02

公开(公告)号：JP5051240B2

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：JP2009546173

申请日：2008-09-11

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 圭二 今野

IPC: G03F7/40 ,  C08F212/32 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/40 ,  C08F12/22 ,  C08F12/24 ,  C08F12/32 ,  C09D125/18

公开(公告)号：JP4946787B2

公开(公告)日：2012-06-06

申请号：JP2007274332

申请日：2007-10-22

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 圭二 今野 ,  正人 田中

IPC: G03F7/11 ,  C08G77/02 ,  C08G77/14 ,  C08L83/06 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP4622061B2

公开(公告)日：2011-02-02

申请号：JP2000226604

申请日：2000-07-27

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 靖健 井上 ,  圭二 今野 ,  光 杉田 ,  裕一 橋口 ,  政彦 海老沢 ,  通則 西川

IPC: G03F7/11 ,  H01L21/027 ,  H01L21/312

公开(公告)号：JP4595606B2

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：JP2005078127

申请日：2005-03-17

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 圭二 今野 ,  紀浩 夏目 ,  仲篤 能村

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/033 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/091 ,  G03F7/0046

公开(公告)号：JP4292910B2

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：JP2003283561

申请日：2003-07-31

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 努 下川 ,  圭二 今野 ,  光 杉田 ,  正人 田中

IPC: C07C69/157 ,  G03F7/11 ,  C07C33/34 ,  C07C33/38 ,  C08F12/22 ,  C08F12/32 ,  C08F32/08