Si半導体製造装置用サセプタおよびSi半導体製造装置用サセプタの製造方法

    公开(公告)号:JP2018095506A

    公开(公告)日:2018-06-21

    申请号:JP2016241285

    申请日:2016-12-13

    Abstract: 【課題】レアメタルを用いることなく、利用しやすい元素のみ構成し、黒鉛の基材から不純物の拡散を防止し、ピンホールなどが発生しにくく、消耗しにくいSi半導体製造装置用サセプタおよびその製造方法を提供する。 【解決手段】Si半導体製造装置用サセプタ20は、黒鉛から成る基材4と、基材4を覆うSiC層3と、SiC層3の表面を覆うカーボンナノチューブ1からなるカーボンナノチューブ層2と、を備えている。また、Si半導体製造装置用サセプタ20の製造方法は、黒鉛からなる基材4をCVD炉にいれ、SiC層3を形成するCVD工程と、SiC層3の形成された基材4を熱処理炉に入れ、真空中またはCO雰囲気中で加熱することにより、SiC層3を覆うカーボンナノチューブ1からなるカーボンナノチューブ層2を形成する表面分解工程とを含む。 【選択図】図1

    カーボン構造体及びカーボン構造体の製造方法

    公开(公告)号:JP2018090457A

    公开(公告)日:2018-06-14

    申请号:JP2016236181

    申请日:2016-12-05

    Abstract: 【課題】本発明は、形状の自由度が大きいカーボン構造体及びそのようなカーボン構造体の製造方法を提供することを課題とする。 【解決手段】本発明の一態様に係るカーボン構造体は、複数のカーボンナノファイバーが撚り合された繊維束を有し、上記繊維束が螺旋状に形成されている。本発明の別の態様に係るカーボン構造体の製造方法は、浸炭が可能な金属を主成分とする複数の基材を開裂及び離間することにより、開裂した基材間にそれぞれカーボンナノファイバーを成長させるカーボン構造体の製造方法であって、開裂した基材の少なくとも一方を離間方向を中心として回転させる。 【選択図】図1

    カーボンナノチューブを含む炭素材料を製造する製造方法、および炭素材料

    公开(公告)号:JP2018090455A

    公开(公告)日:2018-06-14

    申请号:JP2016235951

    申请日:2016-12-05

    Abstract: 【課題】籾殻を出発原料として、簡易かつ安価で工業的に製造されたカーボンナノチューブを含む炭素材料及びその製造方法を提供する。 【解決手段】籾殻を、炭化炉にて不活性ガス雰囲気下で炭化する炭化工程の実行後、炭化工程により得られた炭化物を不活性ガス雰囲気下で1400〜2200℃の温度で黒鉛化する黒鉛化工程を実行して、炭素を主成分とする筒状の側壁部と、側壁部の内部空間において側壁部の筒軸方向に順次積層する状態で結晶化した炭化ケイ素を主成分とする積層部とを備えて形成されたカーボンナノチューブを含む炭素材料を製造する方法。前記炭化物は、直径約200nmで長さが2μm前後の棒状乃至繊維状粒子で両端が閉じた管状構造(筒状構造)である。 【効果】前記炭化ケイ素の結晶層が内部空間に積層されたカーボンナノチューブは今迄のカーボンナノチューブと異った物性が期待できる。 【選択図】図3

    電子装置
    35.
    发明专利
    電子装置 审中-公开

    公开(公告)号:JP2018081952A

    公开(公告)日:2018-05-24

    申请号:JP2016221399

    申请日:2016-11-14

    Abstract: 【課題】優れた柔軟性と、機械的な負荷に対する耐性を併せ持つ電子装置を提供する。 【解決手段】本発明に係る電子装置は、ヤング率が10 3 MPa以下、弾性限界ひずみ量が1%以上を備え、且つ、外部からの機械的な負荷として、引張り;100%以下、曲げ;r=t以上、ねじり;180度以下に対して耐性を備える電極及び/又は接続体を備える。前記電子装置は基材又は接続体を備え、前記基材はエラストマーを備え、前記電極は導電性フィラーを含有するエラストマー複合材料を備えてもよい。 【選択図】図1

    銀粒子担持カーボンナノチューブの製造方法

    公开(公告)号:JP2018076192A

    公开(公告)日:2018-05-17

    申请号:JP2016217329

    申请日:2016-11-07

    Inventor: 吉永 泰三

    Abstract: 【課題】銀粒子2が、均一に且つ官能基を介さずに、カーボンナノチューブ1上に直接担持された銀粒子担持カーボンナノチューブ10の製造方法を提供すること。 【解決手段】1)カーボンナノチューブ1と、還元性溶媒と、硝酸銀とを30℃以下において混合し、混合物を得ること、2)上記混合物を、0.1℃/分以上40℃/分以下の昇温速度で40℃以上65℃以下まで昇温すること、及び3)上記昇温後の混合物を、40℃以上65℃以下において0.5時間以上24時間以下にわたって保持することを含む、銀粒子担持カーボンナノチューブ10の製造方法。 【選択図】図1

    カーボンナノチューブ集合体
    37.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018058713A

    公开(公告)日:2018-04-12

    申请号:JP2016195769

    申请日:2016-10-03

    CPC classification number: C01B32/152 C01B32/158

    Abstract: 【課題】高温条件も含む広い温度範囲で、グリップ力に優れるカーボンナノチューブ集合体の提供。 【解決手段】カーボンナノチューブ集合体100は、複数のカーボナノチューブ10から構成されるシート状のカーボンナノチューブ集合体100であって、カーボナノチューブ集合体100の表面及び/又は裏面において、走査型プローブ顕微鏡のプローブを接触させた状態で、該プローブを走査してフリクショナルカーブを取得したときのFFM差分電圧について、25℃におけるFFM差分電圧に対する210℃におけるFFM差分電圧の比が、0.3〜5である。 【選択図】図1

    廃棄物分離方法及びそれに用いる処理液

    公开(公告)号:JP2018044035A

    公开(公告)日:2018-03-22

    申请号:JP2016177574

    申请日:2016-09-12

    CPC classification number: Y02W30/701

    Abstract: 【課題】樹脂複合体廃棄物から特定成分を分離する際、分離処理を効率よく行うことができる廃棄物分離方法及びそれに用いる処理液を提供することを目的とする。 【解決手段】本発明の廃棄物分離方法は、加熱されたグリコール化合物に溶解する樹脂成分A、及び加熱されたグリコール化合物に溶解しない成分Bを含む樹脂複合体廃棄物から前記成分Bを分離する廃棄物分離方法であって、加熱された処理液と前記樹脂複合体廃棄物とを接触させることにより、前記樹脂成分Aを前記処理液に溶解させて前記成分Bを分離する工程を備え、前記処理液が、グリコール化合物と、このグリコール化合物に分散されたカーボンナノチューブとを含むことを特徴とする。本発明の処理液は、前記本発明の廃棄物分離方法に用いられる処理液であって、グリコール化合物と、このグリコール化合物に分散されたカーボンナノチューブとを含むことを特徴とする。 【選択図】なし

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