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公开(公告)号：JP2021080916A
公开(公告)日：2021-05-27
申请号：JP2020135818
申请日：2020-08-11
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: F04B49/06
Abstract: 【課題】制御パラメータの設定変更を容易に行うことができる方法等を提案する。 【解決手段】ポンプと、設定変更可能な制御パラメータに基づいてポンプ制御を行う制御部と、表示部と、を備えるシステムの前記制御パラメータを変更する方法が提案され、前記システムは、前記表示部に表示可能なユーザー情報群を有するユーザー情報作成手段を有し、前記方法は、所定の変更要求がなされたときに、前記ユーザー情報作成手段は、当該変更要求によって変更される制御パラメータに対応するユーザー情報を前記ユーザー情報群の中から選択し、前記表示部が当該選択されたユーザー情報を表示する第1の表示ステップ、を含む。 【選択図】図8B
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公开(公告)号：JP2021079347A
公开(公告)日：2021-05-27
申请号：JP2019210353
申请日：2019-11-21
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: B01F5/06 , H01L21/304 , B01F3/04
Abstract: 【課題】 液体中の微小気泡の個数を適切に制御することのできる微小気泡個数制御システムを提供する。 【解決手段】 微小気泡個数制御システム1は、液体供給源2から液体が供給される液体供給ライン3と、液体の圧力を調整する圧力調整用ポンプ4と、液体の圧力に応じて微小気泡を発生させて液体供給ライン3から供給された液体に微小気泡を混合する微小気泡発生ノズル5と、微小気泡発生ノズル5で発生させた微小気泡が混合された液体を洗浄装置11へ送出する液体送出ライン8と、液体送出ライン8における液体中の微小気泡の個数を計測する個数計測ユニット9と、計測された微小気泡の個数に応じて液体の圧力を調整するように圧力調整用ポンプ4を制御する制御部10を備える。 【選択図】 図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2021077085A
公开(公告)日：2021-05-20
申请号：JP2019203218
申请日：2019-11-08
Applicant: CKD株式会社 , 株式会社荏原製作所 , 荏原冷熱システム株式会社
IPC: G05D23/00
Abstract: 【課題】高価な熱媒体の使用量を減少させることができ、且つ制御対象の温度を制御する応答性を向上させる。 【解決手段】温度制御システム(200)であって、第1熱媒体が循環する第1循環回路(110)と、第2熱媒体が循環する第2循環回路(120)と、第3熱媒体が循環する第3循環回路(130)と、を備え、第1循環回路は、第1熱媒体の温度を第1温度に調整して吐出する第1調整装置(11)と第1流通部(114)とを備え、第2循環回路は、第2熱媒体の温度を第1温度よりも高い第2温度に調整して吐出する第2調整装置(21)と第2流通部(124)とを備え、第3循環回路は、第1流通部と熱交換する第3流通部(133)と、第2流通部と熱交換する第4流通部(134)と、第1流通部と第3流通部とで交換する熱量、及び第2流通部と第4流通部とで交換する熱量を調整する調整部(135)と、を備えている。 【選択図】 図2
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公开(公告)号：JP2021076104A
公开(公告)日：2021-05-20
申请号：JP2019205476
申请日：2019-11-13
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】制御部に保存されている各種設定値を自動的にバックアップすることができる制御システムを提供する。 【解決手段】制御システムは、第1記憶装置27を有する制御部25と、第2記憶装置71を有するインバータ4を備える。ポンプ装置の運転に必要な設定値が入力されると、設定値を第1記憶装置27と第2記憶装置71とに保存する。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP6875154B2
公开(公告)日：2021-05-19
申请号：JP2017042195
申请日：2017-03-06
Applicant: 株式会社荏原製作所
Inventor： 末政 秀一
IPC: H01L21/304
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