公开(公告)号：JP4389485B2

公开(公告)日：2009-12-24

申请号：JP2003158808

申请日：2003-06-04

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 智樹 永井 ,  敏 江幡 ,  勇 王

IPC: C07C309/06 ,  G03F7/004 ,  C07C381/12 ,  C07D207/46 ,  C07D209/52 ,  C07D221/14 ,  C07D491/18 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP4120437B2

公开(公告)日：2008-07-16

申请号：JP2003086201

申请日：2003-03-26

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 健一 横山 ,  智樹 永井 ,  敏 江幡 ,  勇 王 ,  潤一郎 稲葉

IPC: C07C309/65 ,  G03F7/004 ,  C07C309/67 ,  C07D295/12 ,  C09K3/00 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP3988517B2

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：JP2002120079

申请日：2002-04-23

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 努 下川 ,  英一 小林 ,  智樹 永井 ,  淳 沼田

IPC: G03F7/039 ,  C08F12/24 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0392 ,  G03F7/0045 ,  Y10S430/121

公开(公告)号：JP3937996B2

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：JP2002295260

申请日：2002-10-08

Applicant: Jsr株式会社

Inventor： 史尚 宮島 ,  健一 横山 ,  智樹 永井 ,  英司 米田

IPC: G03F7/004 ,  G03C1/76 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0382 ,  G03F7/0392 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/12 ,  Y10S430/122