共役ジエン構造を含む化合物の製造方法

    公开(公告)号:JP2019077619A

    公开(公告)日:2019-05-23

    申请号:JP2017203366

    申请日:2017-10-20

    申请人: JNC株式会社

    发明人: 川島 正敏

    摘要: 【課題】 入手性が良く、取扱いも容易な原料から、短い工程で、工業的に、共役ジエンまたは共役トリエンが製造できる方法を提供する。 【解決手段】 3−アルケナールから、第一工程、第二工程、および第三工程の順に、反応を経て、共役ジエンを製造する。 第一工程:3−アルケナールに、グリニャール試薬を反応させ、ホモアリル型アルコールを得る工程。 第二工程:ホモアリル型アルコールに、エステル化剤またはハロゲン化剤を反応させ、スルホン酸エステルまたはハロゲン化物を得る工程。 第三工程:スルホン酸エステルまたはハロゲン化物に、塩基を作用させ、脱離反応を起こさせる工程。 【選択図】 なし

    非水電解液、それを用いた電気化学素子、及びそれに用いられるアルキニル化合物

    公开(公告)号:JP2015179672A

    公开(公告)日:2015-10-08

    申请号:JP2015078463

    申请日:2015-04-07

    申请人: UBE INDUSTRIES

    摘要: 【課題】低温及び高温サイクル特性及び高温充電保存後の負荷特性を向上できる優れた非水電解液、それを用いた電気化学素子、及びそれに用いられるアルキニル化合物を提供する。【解決手段】非水溶媒に電解質塩が溶解されている非水電解液において、下記一般式(I)で表されるアルキニル化合物の少なくとも1種が非水電解液中に0.01〜10質量%含有されていることを特徴とする非水電解液である。(式中、X1は、−C(=O)−基、−C(=O)−C(=O)−基、−S(=O)2−基、−P(=O)(−R3)−基、又は−X3−S(=O)2O−基を示す。R1は、アルケニル基、ホルミル基、アルキル基、アシル基、アリールカルボニル基、アルカンスルホニル基、アルキニルオキシスルホニル基、アリールスルホニル基、ジアルキルホスホリル基、アルキル(アルコキシ)ホスホリル基、ジアルコキシホスホリル基を示し、R2は、アルキニル基又はアルキニルオキシ基を示し、R3は、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アルコキシ基、アルケニルオキシ基、アルキニルオキシ基又はアリールオキシ基を示す。nは0又は1を示す。)【選択図】なし

    Compound, resin, resist composition, and method for producing resist pattern
    6.
    发明专利
    Compound, resin, resist composition, and method for producing resist pattern 审中-公开
    化合物,树脂,耐腐蚀组合物,以及生产耐火图案的方法

    公开(公告)号:JP2013007035A

    公开(公告)日:2013-01-10

    申请号:JP2012117178

    申请日:2012-05-23

    摘要: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resist composition that can produce a resist pattern that has an excellent mask error factor (MEF).SOLUTION: A compound is shown by formula (I), a resin has a structural unit that originates in the compound, and a resist composition includes the resin. In the formula (I), Rdenotes a hydrogen atom or a methyl group; r denotes an integer 1 or 2; Adenotes a group shown by formula (a-g1); s is an integer of 0-2; Adenotes an aliphatic hydrocarbon group; Adenotes a single bond or an aliphatic hydrocarbon group; and Xdenotes an oxygen atom, a carbonyl group, a carbonyloxy group, an oxycarbonyl group or oxycarbonyloxy group, wherein Ais a single bond, s=1 and Xis an oxygen atom; and Rdenotes a group that is unstable to an acid.

    摘要翻译: 要解决的问题:提供能够产生具有优异的掩模误差因子(MEF)的抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物。 解决方案:化合物由式(I)表示,树脂具有起源于化合物的结构单元,抗蚀剂组合物包括树脂。 在式(I)中,R 1表示氢原子或甲基; r表示整数1或2; A 1 表示式(a-g1)所示的组。 s是0-2的整数; A 10 表示脂族烃基; 表示单键或脂族烃基; 并且X 10表示氧原子,羰基,羰氧基,氧羰基或氧羰基氧基,其中A 10 是单键,s = 1,X 10 是氧原子; 并且R 2 表示对酸不稳定的基团。 版权所有(C)2013,JPO&INPIT

    Radiation-sensitive composition and compound
    8.
    发明专利
    Radiation-sensitive composition and compound 审中-公开
    辐射敏感组合物和化合物

    公开(公告)号:JP2011178670A

    公开(公告)日:2011-09-15

    申请号:JP2010041595

    申请日:2010-02-26

    摘要: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a radiation-sensitive composition which is highly sensitive, has high resolution, and can form resist coating films formable of resist patterns excellent in nano-edge roughness.
    SOLUTION: The radiation-sensitive composition comprises a compound represented by general formula (1) (wherein, A is a single bond or the like; R
    1 is H or the like; R
    2 is 11 to 25C alkyl or the like; R
    3 is alkyl), a solvent, and a radiation-sensitive acid-generating agent.
    COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

    摘要翻译: 要解决的问题:提供高灵敏度,高分辨率的辐射敏感性组合物,并且可以形成可形成纳米边缘粗糙度优异的抗蚀剂图案的抗蚀剂涂膜。 解决方案:辐射敏感性组合物包含由通式(1)表示的化合物(其中,A为单键等; R 1为H等; R SP > 2 为11至25C烷基等; R 3为烷基),溶剂和辐射敏感性产酸剂。 版权所有(C)2011,JPO&INPIT