液状前駆体供給装置
    2.
    发明专利
    液状前駆体供給装置 有权
    液体前体供给装置

    公开(公告)号:JP2016521318A

    公开(公告)日:2016-07-21

    申请号:JP2016518288

    申请日:2014-12-30

    CPC classification number: B05B17/06 B05B9/002 C23C16/4486 C23C16/45561

    Abstract: 本発明の液状前駆体供給装置は、超音波振動を用いて、内部に貯蔵された液状前駆体をエアロゾル状態に変換させるエアロゾル生成器と、前記エアロゾル生成器から伝達されたエアロゾル状態の前駆体が衝突して熱エネルギーを得て気体状態に変化するように、内部に斜線板状構造の複数のヒーターがジグザグ状に交差配置されたヒーターブロックが設置された気化器と、前記気化器によって気体状態に変換された前駆体を一定の圧力および温度で貯蔵し、薄膜蒸着工程の際に前記気体状態の前駆体をチャンバーへ供給する前駆体貯蔵手段とを含んでなる。

    Abstract translation: 本发明的液体前体供给装置,利用超声波振动,以及用于将其上存储的气溶胶状态内的液体前体的气溶胶发生器,气溶胶状态的前体从气雾剂发生器递送 相碰,以改变成气态,以获得热能,气体状态和汽化器加热器块被安装多个加热器阴影板状结构被交叉设置在锯齿形内的,由汽化器 于存储在恒定压力和温度下的转化的前体,包括用于将所述薄膜沉积工艺期间将腔室以气体状态供给的前体,所述前体贮存器的装置。

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