公开(公告)号：JP5404308B2

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：JP2009246032

申请日：2009-10-27

申请人： アルカテル−ルーセント ユーエスエー インコーポレーテッド

发明人： チャウドリー サミール ,  セン シドハーサ ,  スリンバサン チェトラー スンダー ,  ウイリアム グレゴー リチャード ,  クマー ロイ プラジップ

IPC分类号： H01L21/336 ,  H01L27/04 ,  C30B33/00 ,  H01L21/28 ,  H01L21/31 ,  H01L21/316 ,  H01L21/469 ,  H01L21/76 ,  H01L21/822 ,  H01L21/8232 ,  H01L21/8238 ,  H01L27/092 ,  H01L29/51 ,  H01L29/78 ,  H01L29/786

CPC分类号： C30B29/06 ,  C30B33/005 ,  H01L21/02238 ,  H01L21/02255 ,  H01L21/28185 ,  H01L21/28211 ,  H01L21/28273 ,  H01L21/31662 ,  H01L29/513 ,  H01L29/518