磁気抵抗素子、その用途及び製造方法、並びにホイスラー合金の製造方法
    10.
    发明专利
    磁気抵抗素子、その用途及び製造方法、並びにホイスラー合金の製造方法 有权
    磁阻元件,它的应用,制造方法,以及哈斯勒合金的制造方法

    公开(公告)号:JP2017027647A

    公开(公告)日:2017-02-02

    申请号:JP2015148660

    申请日:2015-07-28

    CPC classification number: G11B5/39 H01L43/08

    Abstract: 【課題】強磁性金属/非磁性金属/強磁性金属の3層構造を持つ薄膜の面直方向磁気抵抗効果(CPPGMR)を利用して高い磁気抵抗出力を発現する素子を提供する。 【解決手段】それぞれホイスラー合金を含んでなる下部強磁性層及び上部強磁性層、並びに該下部強磁性層と該上部強磁性層との間に挟まれたスペーサ層を備える磁気抵抗素子であって、 該スペーサ層がAg及びCuから選ばれる少なくとも1の金属元素と、長周期型周期表の第2から第4周期までの非磁性金属元素から選ばれる少なくとも1の金属元素との、合金(但し、CuとZnからなるbcc構造の合金、CuとAlからなるbcc構造の合金、CuとBeからなるbcc構造の合金、AgとAlからなるbcc構造の合金、AgとMgからなるbcc構造の合金、及びAgとZnからなるbcc構造の合金を除く)を含んでなることを特徴とする、上記磁気抵抗素子。 【選択図】 図5

    Abstract translation: 为具有垂直铁磁性金属(CPP-GMR)输出的三层结构磁阻薄膜表达的强磁性金属/非磁性金属/利用率高磁阻平面方向的装置。 较低的铁磁性层,并且每个的上铁磁层含有霍斯勒合金,和具有夹在所述下铁磁层和上铁磁层之间的间隔层的磁阻元 和至少一种金属元素是从Ag和Cu中选择的隔离层,以及由非磁性金属元素选自第二长周期型周期表中第四周期中,合金中的至少一种金属元素(除 ,由Cu和Al的bcc结构的合金,由bcc结构的由Cu和Zn组成的合金bcc结构的合金的Cu和Be,bcc结构的由Ag和Al的合金,bcc结构的合金由Ag和Mg的 且其特征在于它包括合金化)由A​​g和Zn,所述磁阻效应元件的bcc结构的。 点域5

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