公开(公告)号：JP5547954B2

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：JP2009282717

申请日：2009-12-14

Applicant: 日東電工株式会社 ,  日東精機株式会社

Inventor： 雅之 山本 ,  勝 入江

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67132 ,  Y10T156/1158 ,  Y10T156/1917

公开(公告)号：JP5386232B2

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：JP2009126651

申请日：2009-05-26

Applicant: 日東電工株式会社 ,  日東精機株式会社

Inventor： 雅之 山本 ,  勝 入江

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/301 ,  H01L21/683 ,  H01L33/00

CPC classification number: H01L21/67132 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67253

公开(公告)号：JP4974639B2

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：JP2006286533

申请日：2006-10-20

Applicant: 日東精機株式会社 ,  日東電工株式会社

Inventor： 勝 入江 ,  雅之 山本

IPC: B26D3/10 ,  B26D3/00 ,  H01L21/683

CPC classification number: B26F1/3846 ,  B26D7/26 ,  B26D7/2628 ,  H01L21/67132 ,  Y10T82/16032 ,  Y10T83/141 ,  Y10T83/145 ,  Y10T83/148 ,  Y10T83/162 ,  Y10T83/4667 ,  Y10T83/8691 ,  Y10T156/12 ,  Y10T156/1313 ,  Y10T156/1343 ,  Y10T156/1348 ,  Y10T156/1361 ,  Y10T156/1378 ,  Y10T156/1978

公开(公告)号：JP4350018B2

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：JP2004288317

申请日：2004-09-30

Applicant: 日東電工株式会社

Inventor： 勝 入江 ,  雅之 山本

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/301

公开(公告)号：JP4330393B2

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：JP2003274047

申请日：2003-07-14

Applicant: 日東電工株式会社

Inventor： 勝 入江 ,  三郎 宮本 ,  幸敏 長谷

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/301 ,  H01L21/304 ,  H01L21/52

CPC classification number: H01L21/67132 ,  H01L21/67092