公开(公告)号：JP2020070458A

公开(公告)日：2020-05-07

申请号：JP2018203266

申请日：2018-10-29

Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  CKD株式会社

Inventor： 小林 義之 ,  板藤 寛

IPC: B65G65/40 ,  B65G53/66 ,  B05B7/22 ,  C23C4/134

Abstract: 【課題】水分、窒素、及び酸素と反応させずにフィーダの容器に粉末を補給できる技術を提供する。 【解決手段】本開示の一態様による粉末供給装置は、フィーダからノズルに粉末を供給する粉末供給装置であって、粉末を出し入れする口部と、前記口部を開閉する開閉弁とを有し、気密状態で前記粉末を収納するカートリッジと、前記カートリッジを着脱可能に接続する接続部と、前記接続部に接続された前記カートリッジ内の前記粉末を前記フィーダ内に補給する補給口と、前記補給口を開閉する開閉弁とを有し、前記補給口から補給された前記粉末を前記ノズルに投入するフィーダと、を備え、前記カートリッジ及び前記フィーダは、前記接続部に前記カートリッジが接続されることにより、前記口部と前記補給口との間に密閉空間を形成する。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP6346550B2

公开(公告)日：2018-06-20

申请号：JP2014243851

申请日：2014-12-02

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 加藤 啓介 ,  三輪 敏一 ,  西田 成伸 ,  伊藤 一寿 ,  三原 由極 ,  板藤 寛 ,  廣瀬 克憲

IPC: F16K31/122 ,  F17D1/04 ,  F16K27/00

公开(公告)号：JP5973178B2

公开(公告)日：2016-08-23

申请号：JP2012019466

申请日：2012-02-01

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 纐纈 雅之 ,  板藤 寛

IPC: B01D1/22

CPC classification number: B05B9/03 ,  B01B1/005 ,  B01D1/14

公开(公告)号：JP5919115B2

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：JP2012156094

申请日：2012-07-12

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 纐纈 雅之 ,  板藤 寛 ,  岡田 政昌

IPC: H05B3/00 ,  B01D1/22 ,  H01L21/31 ,  C23C16/448 ,  F22B1/28 ,  B01J7/02

CPC classification number: B01F3/04 ,  B01D1/22 ,  B01D1/221 ,  B05B9/03

公开(公告)号：JP5752984B2

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：JP2011095815

申请日：2011-04-22

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 板藤 寛 ,  纐纈 雅之

IPC: F16K31/122 ,  F16L39/00

公开(公告)号：JP6778016B2

公开(公告)日：2020-10-28

申请号：JP2016103415

申请日：2016-05-24

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 板藤 寛

IPC: B07B7/086

公开(公告)号：JP2018031428A

公开(公告)日：2018-03-01

申请号：JP2016163996

申请日：2016-08-24

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 板藤 寛 ,  纐纈 雅之

IPC: F16K7/17 ,  F16K31/122

CPC classification number: F16K7/17 ,  F16K41/12

Abstract: 【課題】ダイアフラム弁体に接続された往復動部材の中心軸が振れることに起因するパーティクルの発生を抑制することのできるダイアフラム弁を提供する。 【解決手段】流体の流路21及び弁室22が形成されたハウジング20,30と、ハウジングにおいて、弁室に対する流路の開口の周囲に環状に設けられた弁座24と、弁室を流体の流路と非流路とに区画し、弁座に当接及び離間する樹脂製のダイアフラム弁体40と、ダイアフラム弁体に接続され、弁座に接近及び離間する方向である所定方向に往復動する往復動部材61と、往復動部材に力を加えてダイアフラム弁体を弁座に押し付ける押付部70,12と、金属により薄板状に形成され所定方向に貫通した往復動部材の外縁に取り付けられ、往復動部材の往復動を所定方向に変形して許容し、且つ所定方向に垂直な方向への往復動部材の移動を規制する規制部材91,94と、を備えるダイアフラム弁18。 【選択図】 図1

公开(公告)号：JP5810101B2

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：JP2012553555

申请日：2011-09-01

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 纐纈 雅之 ,  板藤 寛

IPC: B01J7/00

CPC classification number: C23C16/4482 ,  B01B1/00 ,  B01B1/005 ,  B01D1/14 ,  B01F3/022 ,  C23C14/24 ,  H01L21/67017

公开(公告)号：JP2015144140A

公开(公告)日：2015-08-06

申请号：JP2015088743

申请日：2015-04-23

Applicant: ギガフォトン株式会社 ,  CKD株式会社

Inventor： 石原 孝信 ,  板藤 寛

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00

Abstract: 【課題】ターゲットの無駄な消費を抑えることができるターゲット供給装置を提供する。 【解決手段】ノズル31から出力される液状の溶融ターゲット材である溶融錫34を蓄えるタンク30内のガス圧を圧力調整器41が備えつけられたガスボンベ40から供給されるガスの圧力で制御するターゲット供給装置1は、一端が前記タンク30に接続され、他端が排気口Laを形成するガス流路L2と、ガス流路L2上に設置したバルブ43と、溶融錫34をノズル30から出力させない場合、バルブ43を開にしてタンク30内を減圧するコントローラ60と、を備え、EUV光を出力させない場合、ターゲット13の供給を停止または供給速度を減速することで、溶融錫34の消費を抑える。 【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够抑制目标的浪费消耗的目标供给装置。解决方案：目标供给装置1控制罐30内的气体压力，用于存储从喷嘴31输出的液体熔融目标材料的熔融锡34 通过从包括压力控制器41的气瓶40供给的气体压力。目标供给装置1包括：气体流路L2，其一端连接到罐30，另一端形成排气孔La; 设置在气体流路L2上的阀43; 以及当熔融锡34不从喷嘴30输出时通过打开阀43来对罐30内部进行减压的控制器60.当不输出EUV灯时，通过停止供给或减少供给来抑制熔融锡34的消耗 目标速度13。

公开(公告)号：JP5757889B2

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：JP2012009086

申请日：2012-01-19

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 板藤 寛 ,  岡田 政昌

IPC: B65H23/24 ,  B65H23/032