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    高純度6塩化タングステンとその製造方法
    6.
    发明专利
    高純度6塩化タングステンとその製造方法 审中-公开
    高纯度6氯化钨和其制造方法

    公开(公告)号：JP2016204755A

    公开(公告)日：2016-12-08

    申请号：JP2016082996

    申请日：2016-04-18

    申请人： エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド ,  AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INCORPORATED

    发明人： シヤオシイ ウー ,  セルゲイ ウラジーミラビチ イバノフ

    IPC分类号： C01G41/04 ,  C23C16/448 ,  H01L21/285 ,  H01L21/28 ,  C23C16/08

    CPC分类号： C23C16/455 ,  B01D1/14 ,  B01D3/14 ,  B01D3/322 ,  B01D3/346 ,  B01D7/02 ,  C01G41/04 ,  C23C16/08 ,  C23C16/4402

    摘要： 【課題】凝縮可能な物質を含む高純度組成物及び凝縮可能な物質を精製するための方法を提供する。 【解決手段】特に限定されないが塩化タングステン(WCl 6 )などの凝縮可能な金属ハロゲン化物は、化学蒸着(CVD)又は原子層堆積プロセスで、金属膜又は金属含有膜を堆積するのに使用することができる。本明細書には、凝縮可能な物質を含む高純度組成物及び凝縮可能な物質を精製するための方法が記載される。ある態様において、少なくとも1つの不純物を実質的に含まない6塩化タングステンを含む組成物であって、前記6塩化タングステンが、X線回折により測定する時、少なくとも90質量%、好ましくは95質量%、より好ましくは99質量%以上のβ−WCl 6 と、5質量%以下のα−WCl 6 を含む、上記組成物が提供される。 【選択図】図1

    摘要翻译： 一种用于纯化的高纯度组合物和可冷凝的材料，包括可冷凝材料的方法。 冷凝的金属卤化物，例如一种特别但不限于氯化钨（WCl6）是一种化学气相沉积（CVD）或原子层沉积过程中，用于沉积金属膜或含金属膜 它可以是。 本文是用于纯化的高纯度组合物和可冷凝的材料，包括可冷凝材料被描述的方法。 在一些实施方案中，组合物包含6氯化钨基本上不含至少一种杂质时，6氯化钨，当通过X射线衍射法测定，为至少90重量％，优选按重量计95％， 更优选为99质量％以上的β-WCl6，α-WCl6的5质量％时，所提供的组合物。 点域1

    気泡カラム凝縮器等の凝縮装置を含むシステム
    7.
    发明专利
    気泡カラム凝縮器等の凝縮装置を含むシステム 审中-公开
    系统包括一个冷凝器，如泡罩塔冷凝器

    公开(公告)号：JP2016530096A

    公开(公告)日：2016-09-29

    申请号：JP2016542838

    申请日：2014-09-12

    申请人： グラディアント・コーポレイションGradiant Corporation ,  グラディアント・コーポレイションGradiant Corporation

    发明人： プラカシュ・ナラヤン・ゴビンダン ,  スティーブン・ラム ,  マキシマス・ジー・セント・ジョン

    IPC分类号： B01D1/14 ,  B01D5/00 ,  C02F1/04

    CPC分类号： B01D5/006 ,  B01D1/14 ,  B01D3/225 ,  B01D5/0003 ,  B01D5/003 ,  B01D5/0075 ,  B01F3/04 ,  B01F3/04078 ,  B01F3/04106 ,  C02F1/04 ,  C02F1/048 ,  C02F2103/08 ,  F24F6/12 ,  Y02A20/128 ,  Y02W10/37

    摘要： 凝縮装置並びに様々な熱および物質交換システムでの使用が概して記載される。気泡カラム凝縮器等の凝縮装置は、気泡カラム凝縮器のアウトレットストリームから熱を取り除いて熱交換器のアウトレットストリームを生成するために凝縮ベッセルの外部に位置付けられた熱交換器を用い得る。ある場合では、凝縮装置は、熱交換器のアウトレットストリームから熱を取り除いて冷却デバイスのアウトレットストリームを生成するために構成され位置付けられたベッセルの外部に位置付けられた冷却デバイスを含み得る。凝縮装置は、蒸気分配領域および/又は複数の液体流れ制御ウェアーおよび/又は少なくとも1.5のアスペクト比を有する装置内のチャンバー等の様々な内部機構を含むように構成され得る。凝縮装置は、ある場合では脱塩システムの部分を形成するために加湿器と接続され得る。

    摘要翻译： 使用在冷凝器以及各种热与质量交换系统通常被描述。 冷凝装置，诸如泡罩塔冷凝器可以使用定位在冷凝容器的外部的热交换器以从气泡塔冷凝器出口物流中除去的热量，以产生所述热交换器的出口流。 在一些情况下，冷凝器可以包括位于配置成从所述热交换器的出口流产生所述冷却装置的出口料流，以除去热定位在所述容器外部的冷却装置。 冷凝装置可以被配置为包括所述室的各种内部机制，如在具有蒸汽分配区域的装置，和/或多种液体流控制的磨损和/或至少1.5的纵横比。 冷凝器可被连接到加湿器以在一些情况下，脱盐系统的一部分。