公开(公告)号：JP2016152387A

公开(公告)日：2016-08-22

申请号：JP2015030531

申请日：2015-02-19

Applicant: 株式会社ニューフレアテクノロジー

Inventor： 室伏 達也 ,  峯 彰謙 ,  土屋 清一

IPC: G03F7/20 ,  H01J37/305 ,  H01L21/027

Abstract: 【課題】偏向アンプの動作チェックを行うことが可能な時間を十分に確保する。 【解決手段】電子線描画装置は、試料へ入射する電子線を偏向する偏向器と、入力信号に応じた電圧信号を出力端子から前記偏向器へ出力する第1のDA変換器と、前記入力信号に応じた電圧信号を出力端子から出力する、前記第1のDA変換器とは異なる第2のDA変換器と、前記第1のDA変換器の出力端子と前記偏向器とを接続する第1のケーブルと、一端が前記第2のDA変換器の出力端子に接続され、前記第1のケーブルとインピーダンスがほぼ等しい第2のケーブルと、前記第1のDA変換器からの電圧信号と、前記第2のDA変換器からの電圧信号を比較した結果を出力する比較器と、前記比較器からの出力に基づいて、前記第1のDA変換器の出力診断を行う診断装置と、を有する。 【選択図】図3

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种电子束光刻设备，其可以确保可以执行偏转放大器的操作检查的足够的时间。解决方案：电子束光刻设备包括偏转器，用于偏转入射到的电子束 样品，第一DA转换器，用于将与输出端相对应的电压信号输出到偏转器;第二DA转换器，输出与输出端相对应的输入信号的电压信号，并且与第一DA不同 转换器，用于连接第一DA转换器的输出端和偏转器的第一电缆，第二电缆，其一端连接到第二DA转换器的输出端并且其阻抗基本上等于第一电缆的阻抗， 用于输出来自第一DA转换器的电压信号和来自第二DA转换器的电压信号的比较结果的比较器 以及用于基于来自比较器的输出来诊断第一DA转换器的输出的诊断装置。图3：

公开(公告)号：JP5964067B2

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：JP2012020813

申请日：2012-02-02

Applicant: 株式会社ニューフレアテクノロジー

Inventor： 室伏 達也

IPC: G03F7/20 ,  H01J37/305 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP5905209B2

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：JP2011111923

申请日：2011-05-18

Applicant: 株式会社ニューフレアテクノロジー

Inventor： 室伏 達也 ,  中山 貴仁

IPC: G03F7/20 ,  H01J37/305 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP6863259B2

公开(公告)日：2021-04-21

申请号：JP2017239397

申请日：2017-12-14

Applicant: 株式会社ニューフレアテクノロジー

Inventor： 上村 拓也 ,  中村 崇志 ,  松井 秀樹 ,  小笠原 宗博 ,  西村 理恵子 ,  室伏 達也 ,  服部 芳明

IPC: G03F7/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/21 ,  H01J37/147 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP5788243B2

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：JP2011142573

申请日：2011-06-28

Applicant: 株式会社ニューフレアテクノロジー

Inventor： 室伏 達也 ,  吉武 秀介

IPC: H01J37/305 ,  H03F1/30 ,  H03M1/06 ,  H01L21/027