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公开(公告)号：JP4733959B2
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：JP2004297115
申请日：2004-10-12
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: G01R31/302 , H01L21/66 , G01R31/28 , G01R31/307
CPC classification number: G01R31/307 , G01R31/2887
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公开(公告)号：JPWO2014069364A1
公开(公告)日：2016-09-08
申请号：JP2014544478
申请日：2013-10-25
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/244 , H01J37/09 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 本発明の荷電粒子線装置は、ステージ機構と、前記ステージ機構上に配置された試料ホルダ(21)とを備える。前記試料ホルダは、前記試料ホルダに搭載された試料(14)を透過した暗視野STEM信号粒子(18b)を検出する暗視野STEM検出器(204)を備える。これにより、暗視野STEM信号粒子を検出する際に、ノイズの混入を低減することができる。
Abstract translation: 本发明的带电粒子束装置包括台机构，以及设置在所述载置机构样本保持器（21）。 样品保持器被用于检测（18b）的所述样品（14）安装在样本保持器（204）所传输的暗场STEM信号颗粒设置有暗场STEM检测器。 因此，检测暗视场STEM信号颗粒时，有可能减少噪声拾取。
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公开(公告)号：JPWO2014171287A1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015512384
申请日：2014-03-27
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/073 , H01J37/153 , H01J37/248 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/073 , H01J37/241 , H01J37/243 , H01J37/28 , H01J2237/31749
Abstract: 荷電粒子線装置は、電界放出電子源と、前記電界放出電子源から電子を引き出すための引出電極と、前記電界放出電子源から放射された電子を加速するための加速電極と、前記電界放出電子源と前記引出電極との間に印加する引出電圧と、前記電界放出電子源と前記加速電極との間に印加する加速電圧と、前記電界放出電子源を加熱するための加熱電圧とを供給可能な電源ユニット(39)と、を備える。前記電源ユニット(39)は、前記電源ユニット(39)の上限値を切替えるための切替部(36)を備える。前記電源ユニット(39)は、前記引出電圧及び前記加速電圧を印加している間に前記切替部(36)を制御することにより、前記引出電圧と前記加速電圧と前記加熱電圧とを同時に供給する。
Abstract translation: 的带电粒子射线装置包括场发射型电子源，以及用于从所述场发射电子源，用于加速从场发射电子源中，场发射电子发射的电子的加速电极引出电子的引出电极 源和提取电极，加速电极和所述场发射电子源之间施加一个加速电压，以及用于加热能够供应的场发射型电子源的加热电压之间施加的引出电压 包括电源和单元（39），则。 它所述的供电单元（39）包括用于电源单元（39）的上限值切换到（36）的切换单元。 所述电源单元（39）供给通过控制开关单元（36）在提取电压和加速电压，提取电压，加速电压和加热电压的施加，并在同一时间所述 。
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公开(公告)号：JP5183230B2
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：JP2008022240
申请日：2008-02-01
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/22
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公开(公告)号：JP4842533B2
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：JP2004311865
申请日：2004-10-27
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: G01R31/302 , H01L21/66
CPC classification number: G01R31/307 , G01R31/2891
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