公开(公告)号：JP4958616B2

公开(公告)日：2012-06-20

申请号：JP2007111462

申请日：2007-04-20

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 真二 久保 ,  浩二 新井 ,  有俊 杉本 ,  良一 松岡 ,  英雄 栄井 ,  茂樹 栗原 ,  知弘 船越 ,  昇雄 長谷川

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/68 ,  G03F1/70 ,  G03F1/84 ,  G03F7/20 ,  H01L21/66

公开(公告)号：JP4109799B2

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：JP18229599

申请日：1999-06-28

Applicant: 株式会社ルネサステクノロジ ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 寿人 中村 ,  まさみ 井古田 ,  有俊 杉本

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956

CPC classification number: G01N21/95607 ,  G01N21/9501

公开(公告)号：JP4010649B2

公开(公告)日：2007-11-21

申请号：JP15710598

申请日：1998-06-05

Applicant: 株式会社ルネサステクノロジ ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 裕子 井上 ,  まさみ 井古田 ,  有俊 杉本 ,  順一 田口

IPC: G01N21/956 ,  H01L21/66 ,  G01N21/88 ,  G01N21/94 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP4909215B2

公开(公告)日：2012-04-04

申请号：JP2007228162

申请日：2007-09-03

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 裕子 井上 ,  まさみ 井古田 ,  若菜 新家 ,  有俊 杉本 ,  順一 田口

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  H01L21/66

公开(公告)号：JP4052733B2

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：JP17960598

申请日：1998-06-11

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 裕子 井上 ,  まさみ 井古田 ,  若菜 新家 ,  有俊 杉本 ,  順一 田口

IPC: G01B11/30 ,  G01N21/94 ,  G01N21/88 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66

公开(公告)号：JP3938227B2

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：JP22583697

申请日：1997-08-07

Applicant: 株式会社ルネサステクノロジ ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 裕子 井上 ,  まさみ 井古田 ,  有俊 杉本 ,  哲也 渡邊 ,  順一 田口

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/245 ,  G01N21/88 ,  G01N21/94 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66

公开(公告)号：JP4408902B2

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：JP2007013509

申请日：2007-01-24

Applicant: 株式会社ルネサステクノロジ ,  株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 裕子 井上 ,  まさみ 井古田 ,  有俊 杉本 ,  哲也 渡邊 ,  順一 田口

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/02 ,  G01B11/30 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66