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公开(公告)号:JP5761788B2
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:JP2011068868
申请日:2011-03-25
申请人: 株式会社東芝 , 国立大学法人東北大学 , 国立研究開発法人産業技術総合研究所
发明人: 大 坊 忠 臣 , 伊 藤 順 一 , 甲 斐 正 , 天 野 実 , 與 田 博 明 , 宮▲崎▼照 宣 , 水 上 成 美 , 窪 田 崇 秀 , 薬師寺 啓 , 湯 浅 新 治 , 久保田 均 , 福 島 章 雄 , 長 浜 太 郎 , 安 藤 功 兒
IPC分类号: H01L27/105 , H01L29/82 , H01L43/08 , H01L43/10 , H01F10/32 , H01L21/8246
CPC分类号: H01L43/10 , H01L23/528 , H01L27/222 , H01L27/226 , H01L43/02 , H01L43/08 , H01L2924/0002
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公开(公告)号:JP6161026B2
公开(公告)日:2017-07-12
申请号:JP2013051806
申请日:2013-03-14
申请人: 株式会社東芝 , 国立研究開発法人産業技術総合研究所
IPC分类号: H01L27/105 , H01L43/08 , H01L29/82 , G11C11/16 , H01L21/8239
CPC分类号: G11C11/161 , G11C11/155 , G11C11/165 , G11C11/1673 , G11C11/1675 , H01F10/3254 , H01F10/3286 , H01L27/228 , H01L43/02 , H01L43/08 , H01F10/123 , H01L29/82
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