公开(公告)号：JP5963453B2

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：JP2012015875

申请日：2012-01-27

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 畠山 雅規 ,  吉川 省二 ,  村上 武司 ,  渡辺 賢治 ,  内藤 儀彦 ,  當間 康 ,  狩俣 努 ,  林 丈英 ,  塚本 究 ,  小濱 達也 ,  小林 登

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/29 ,  G01N23/225 ,  G01N23/227 ,  H01L21/66 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/09 ,  G01N23/22 ,  G01N23/223 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/10 ,  H01J37/20 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J37/29 ,  G01N2223/611 ,  H01J2237/0048 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/06333 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/186 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2482 ,  H01J2237/2485 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/2855 ,  H01J2237/2857

公开(公告)号：JP6220423B2

公开(公告)日：2017-10-25

申请号：JP2016127848

申请日：2016-06-28

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 畠山 雅規 ,  吉川 省二 ,  村上 武司 ,  渡辺 賢治 ,  内藤 儀彦 ,  當間 康 ,  狩俣 努 ,  林 丈英 ,  塚本 究 ,  小濱 達也 ,  小林 登

IPC: H01L21/66 ,  G01N23/227

公开(公告)号：JP2016183976A

公开(公告)日：2016-10-20

申请号：JP2016127848

申请日：2016-06-28

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 畠山 雅規 ,  吉川 省二 ,  村上 武司 ,  渡辺 賢治 ,  内藤 儀彦 ,  當間 康 ,  狩俣 努 ,  林 丈英 ,  塚本 究 ,  小濱 達也 ,  小林 登

IPC: H01L21/66 ,  G01N23/227

Abstract: 【課題】検査精度を向上させ、5〜30nmのデザインルールにも適用できる検査方法及び検査装置を提供すること。 【解決手段】本発明の検査装置は、荷電粒子又は電磁波の何れか一つをビームとして発生させるビーム発生手段と、ワーキングチャンバ内に保持した検査対象に前記ビームを導き照射する1次光学系と、可動式のニューメリカルアパーチャ、および前記検査対象から発生して当該ニューメリカルアパーチャを通過した二次荷電粒子を検出する第1検出器を有する2次光学系と、前記第1検出器によって検出された二次荷電粒子に基づいて画像を形成する画像処理系と、前記可動式のニューメリカルアパーチャと前記第1検出器の間に設けられ、前記検査対象から発生する二次荷電粒子のクロスオーバ位置における位置及び形状を検出する第2検出器とを備える。 【選択図】図58

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种检测方法和检查装置，其能够提高应用于5至30nm的设计规则的检查精度。解决方案：检查装置包括：束产生装置，用于产生带电粒子和 电磁波作为光束; 用于将光束引入保持在工作室中的检查对象物以照射检查对象物的主光学系统; 具有可动型数值孔径的次级光学系统，以及用于检测从检查对象物产生的并通过数值孔径的二次带电粒子的第一检测器; 图像处理系统，用于基于由第一检测器检测到的二次带电粒子形成图像; 以及第二检测器，设置在可移动型数值孔径和第一检测器之间，并且用于检测从检查目标产生的二次带电粒子的交叉位置处的位置和形状。选择的图示：图58