公开(公告)号：KR20210030775A

公开(公告)日：2021-03-18

申请号：KR1020190112370A

申请日：2019-09-10

申请人： 삼성전자주식회사 ,  성균관대학교산학협력단

发明人： 김창현 ,  김상우 ,  변경은 ,  신현진 ,  손아름 ,  정재환

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  H01L21/324

CPC分类号： H01L29/778 ,  H01L21/02631 ,  C23C14/06 ,  C23C14/34 ,  C23C14/5806 ,  H01L21/02205 ,  H01L21/02667 ,  H01L21/28194 ,  H01L21/28568 ,  H01L21/324 ,  H01L29/24 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/786 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02592 ,  H01L21/02595

摘要： 금속 칼코게나이드 박막의 형성방법 및 이를 포함하는 소자의 제조방법을 개시한다. 본 금속 칼코게나이드 박막의 형성 방법은, 스터퍼링 공정으로 금속 칼코게나이드 박막을 기판상에 증착시키고, 증착된 금속 칼코게나이드 박막을 열 처리하는 것을 포함한다.

公开(公告)号：KR102227195B1

公开(公告)日：2021-03-11

申请号：KR1020190159632A

申请日：2019-12-04

申请人： 성균관대학교산학협력단

发明人： 김상우 ,  손아름 ,  김태형 ,  이동민 ,  윤홍준 ,  김보성 ,  정재환 ,  김영준 ,  강동현 ,  강민기 ,  김지혜

IPC分类号： G06F3/041 ,  G06F1/16 ,  G06F3/045 ,  H01L41/193

CPC分类号： G06F3/0414 ,  G06F3/045 ,  H01L41/193 ,  G06F1/163

摘要： 본 발명은 커뮤니케이션이 가능한 터치 패널에 관한 것이고, 구체적으로는 접촉과 누름을 전압의 신호 방향으로 구분하는 이온 첨가 수용성 고분자 기반 터치 패널 및 이를 이용한 커뮤니케이터에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 접촉과 누름의 움직임을 구분할 수 있는 터치패널을 제작할 수 있고, 이에 전기적 신호를 읽을 수 있는 적절한 회로가 있다면, 다른 하드웨어에 신호를 입력하여 원하는 반응을 도출할 수 있는 커뮤니케이터로도 활용할 수 있다.