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公开(公告)号：KR102239119B1
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：KR1020190086658A
申请日：2019-07-17
Applicant: 세메스 주식회사
CPC classification number: H01L21/67242 , G01B11/06 , H01L22/12 , H01L22/30 , G01B2210/56
Abstract: 본 발명은 기판의 박막 두께를 측정하는 박막두께 측정장치에 관한 것으로서, 본 발명의 박막 두께 측정장치는 기판의 박막 두께를 측정하는 박막 두께 측정장치에 있어서, 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 기판 상의 박막 두께를 측정하는 측정 유닛을 포함하고, 상기 측정 유닛은, 서로 다른 초점을 갖는 복수의 단일파장을 갖는 광을 라인 형태로 집광시켜 박막두께를 측정하는 선주사 방식의 공초점 센서를 이용한다.
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公开(公告)号：KR102239117B1
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：KR1020190084896A
申请日：2019-07-15
Applicant: 세메스 주식회사
CPC classification number: H01L21/682 , H01L21/02 , H01L21/6715 , H01L21/67259 , H01L21/67276 , H05K3/00
Abstract: 본 발명은 기판처리작업시 정밀함이 요구되는 처리장치에 기판에 결합된 결합부품이 접촉하여 작업에 방해가 되는 것을 방지하는 기판정렬장치 및 그것을 이용한 기판정렬방법에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명은 기판이 올려지는 기판고정부; 상기 기판의 일단에 결합된 결합부품의 위치를 조정하는 기판정렬부; 상기 기판정렬부를 제어하는 제어부를 포함하여 구성되며, 상기 기판정렬부는 상기 결합부품에 선택적으로 접촉하여 상기 결합부품의 위치를 조정하는 기판정렬장치를 제공한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 잉크젯 작업시 기판에 결합된 결합부품과 잉크젯 헤드와의 간섭을 방지하여 약액토출불량을 사전에 방지하고 잉크젯 헤드의 내구성을 확보할 수 있는 이점이 있다.-
公开(公告)号：KR102232034B1
公开(公告)日：2021-03-25
申请号：KR1020190068426A
申请日：2019-06-11
Applicant: 세메스 주식회사
Inventor： 조천수
CPC classification number: H01L21/6715 , B05D1/00 , G03F7/168 , G03F7/70033 , H01L21/67098 , H01L21/67253 , H01L21/67276
Abstract: 약액 경화 장치는 사각형 구조를 갖는 기판의 제1 변 내지 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시키기 위한 것으로써, 제1 경화부, 제2 경화부, 제3 경화부, 제어부를 포함할 수 있다. 상기 제1 경화부는 상기 기판의 제1 변에 대응하는 길이를 갖도록 구비되고, 상기 제1 변 및 상기 제1 변과 마주하는 제2 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제2 경화부는 상기 제1 변과 수직하는 제3 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제3 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제3 경화부는 상기 제3 변과 마주하는 제4 변에 대응하도록 구비되고, 상기 제4 변에 도포시킨 약액을 경화시킬 수 있다. 상기 제어부는 상기 제1 경화부, 상기 제2 경화부, 및 상기 제3 경화부의 온/오프(on/off)를 제어하도록 구비될 수 있다.
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