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公开(公告)号：JPWO2015137438A1
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：JP2015534851
申请日：2015-03-12
IPC: H01L21/027 , C08F290/14 , C08F299/08 , G03F7/20
CPC classification number: C09D183/10 , C08G77/14 , C08G77/20 , C08G77/442 , C08G81/02 , G03F7/0388 , G03F7/0757
Abstract: 一般式(1)および/または一般式(2)で表される構造単位と、シラノール基および/または加水分解性シリル基とを有するポリシロキサンセグメント(a1)と、ビニル系重合体セグメント(a2)とを有する複合樹脂(A)を含有するドライエッチング用レジスト材料であって、該酸素プラズマエッチング用レジスト材料の全固形分量中の珪素原子の含有量が15〜45wt%であることを特徴とする酸素プラズマエッチング用レジスト材料を提供する。
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公开(公告)号：JPWO2016072202A1
公开(公告)日：2017-04-27
申请号：JP2016557510
申请日：2015-10-06
IPC: C08F20/20 , H01L21/027
CPC classification number: C08F30/08 , C07F7/18 , C08F290/00 , C08F290/08 , C08F299/08 , C08G77/20 , C08G77/22 , G03F7/0002 , H01L21/027
Abstract: 本発明の課題は、硬化後の洗浄が容易であり、ドライエッチング耐性が高く、精密パターンの転写精度に優れたレジストを作成可能な硬化性組成物を提供すること、該硬化性組成物を含有するレジスト膜及び積層体、さらには該レジスト膜を用いたパターン形成方法を提供することである。本発明は、重合性基を有する基を二つ以上有する多官能重合性単量体であって、下記式(1)で表される重合性基を有する基Qを少なくとも1つ有する多官能重合性単量体(A)を含有し、不揮発分量中のケイ素原子の量が10wt%以上である硬化性組成物を提供することで、上記課題を解決する。
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公开(公告)号：JPWO2015098662A1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：JP2015524955
申请日：2014-12-17
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08L25/02 , G03F7/038 , G03F7/20
CPC classification number: C08F12/36 , B29C59/026 , B81C2201/0153 , C08F12/32 , C08F12/34 , C08F257/00 , C08K5/00 , C08L101/02 , C09D125/16 , G03F7/0002 , H01L21/31144
Abstract: ビニル基が連結された芳香族基を含む特定の構造を側鎖に有する重合体(A)を含有するドライエッチングレジスト用硬化性樹脂組成物であって、該重合体(A)中の特定の構造が重合体(A)中で80〜100重量%であることを特徴とする、ドライエッチングレジスト用硬化性樹脂組成物を提供するものである。また、該ドライエッチングレジスト用硬化性組成物を硬化してなることを特徴とする、ドライエッチング用レジストマスク、及び、ナノインプリント法によるパターンを有するものであるドライエッチング用レジストマスクを提供するものである。
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公开(公告)号：JPWO2013058330A1
公开(公告)日：2015-04-02
申请号：JP2013530439
申请日：2012-10-18
IPC: C08F299/06 , B32B27/00 , B32B27/30 , C09J4/06 , C09J11/06 , C09J167/07 , C09J175/14
CPC classification number: C09J175/14 , B32B7/12 , B32B27/308 , B32B27/36 , B32B2270/00 , C08F299/065 , C08G18/4216 , C08G18/4238 , C08G18/672 , C08G18/755 , C08G18/7621 , C08L67/02 , C09J4/06 , C09J167/07 , C09J175/16 , Y10T428/31786
Abstract: 未処理PETフィルム、フッ素系フィルム、ポリカーボネートフィルム等の接着が難しいプラスチックフィルム、所謂、難接着フィルムに対しても高い接着強度を有し、湿熱条件下においてもその接着強度を維持することができる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物、該樹脂組成物を含む接着剤、及び該接着剤を用いて得られる積層フィルムを提供すること。分子構造中にポリエステル構造部位と(メタ)アクリロイル基とを有し、重量平均分子量(Mw)が5,000〜30,000の範囲である(メタ)アクリレート化合物(A)と、酸価が40〜90mgKOH/gの範囲であるポリエステル樹脂(B)と、重合開始剤(D)とを必須の成分として含有することを特徴とする。
Abstract translation: 未处理的PET膜，氟系膜，塑料薄膜的粘附是困难的，例如聚碳酸酯膜，所谓的，具有高的粘合强度甚至几乎不粘接膜，活性也能维持在湿热条件下的粘接强度 可辐射固化的树脂组合物，所述粘合剂包括树脂组合物，并提供一种通过使用该粘合剂得到的层压薄膜。 和聚酯结构部位和在分子结构中（甲基）丙烯酰基，重均分子量（Mw）与是在5,000〜30,000的（甲基）丙烯酸酯化合物（A），40〜90mgKOH / g的酸值的范围内 的聚酯树脂（B）是在的范围内，其特征在于含有作为必要成分的聚合引发剂和（D）。
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公开(公告)号：JP5518416B2
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：JP2009229790
申请日：2009-10-01
Inventor： 宏之 西出 , 武史 伊部 , アルトゥア・ラホヴィッツ , ライナー・フリングス , 祥友 米原
CPC classification number: Y02E60/12
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP5382277B2
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：JP2013530439
申请日：2012-10-18
Applicant: Dic株式会社
IPC: C08F299/06 , B32B27/00 , B32B27/30 , C09J4/06 , C09J7/02 , C09J11/06 , C09J167/07 , C09J175/14
CPC classification number: C09J175/14 , B32B7/12 , B32B27/308 , B32B27/36 , B32B2270/00 , C08F299/065 , C08G18/4216 , C08G18/4238 , C08G18/672 , C08G18/755 , C08G18/7621 , C08L67/02 , C09J4/06 , C09J167/07 , C09J175/16 , Y10T428/31786
Abstract: To provide an active-energy-ray-curable resin composition that exhibits high bonding strength even to plastic films that are difficult to bond such as untreated PET films, fluorine-based films, and polycarbonate films, which are referred to as difficult-to-bond films, and that can maintain the bonding strength even under wet heat conditions; an adhesive including the resin composition; and a laminate film obtained by using the adhesive. The essential components contained are a (meth)acrylate compound (A), a polyester resin (B), and a polymerization initiator (D), the (meth)acrylate compound (A) having a weight-average molecular weight (Mw) in a range of 5,000 to 30,000 and including, in a molecular structure, a (meth)acryloyl group and a polyester moiety, and the polyester resin (B) having an acid value in a range of 40 to 90 mgKOH/g.
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公开(公告)号：JPWO2015012020A1
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：JP2014551445
申请日：2014-06-17
Applicant: Dic株式会社
IPC: C08F290/06
CPC classification number: C08F290/067 , C08F290/06 , G02B1/041 , C08L75/14
Abstract: 粘度が低く、かつ、高い屈折率を発現させることのできる光硬化性樹脂組成物を提供する。具体的には、芳香族ジイソシアネート化合物(a)、ポリオール化合物(b)、水酸基含有(メタ)アクリレート化合物(c)を必須の原料成分として反応させて得られ、下記構造式(1)(式中、R1は水素原子又はメチル基である。)で表される構造部位(a−1)と、下記構造式(2)(式中、R1はR2およびR3は水素原子又はメチル基であり、X1、X2は水素原子又はメチル基である。)で表される構造部位(a−2)とを、モル比[(a−1)/(a−2)]が45/55〜60/40となる割合で有しており、かつ、前記ポリオール化合物(b)が芳香族炭化水素骨格を有するものであるウレタン(メタ)アクリレート樹脂(A)を用いる。
Abstract translation: 低粘度，并且提供能够表达高折射率的可光固化树脂组合物。 具体地，芳香族二异氰酸化合物（a），多元醇化合物（b）中，所获得的含羟基的（甲基）丙烯酸酯化合物（c）反应作为必要原料成分，下述结构式（1）（其中 中，R 1是氢原子或甲基。由下式表示的结构部位（A-1）），以下结构式（2）（式中，R1，R2和R3是氢原子或甲基，X1 ，X2是氢原子或甲基。由下式表示的结构部位（A-2）），摩尔比[（A-1）/（A-2）]为45 / 55-60 / 40 它具有比形成，并且，使用氨基甲酸酯所述多元醇化合物（b）是那些具有芳族烃骨架的（甲基）丙烯酸酯树脂（a）。
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公开(公告)号：JPWO2014196381A1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015521385
申请日：2014-05-23
Applicant: Dic株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F220/20 , H01L21/3065
CPC classification number: C09D141/00 , C08F222/1006 , C08L2312/00 , C09D4/00 , C09D133/08 , C09D133/14 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/033
Abstract: 重合性化合物を含有するインプリント用硬化性組成物であって、(a)上記重合性化合物の重合性基濃度が4.3〜7.5mmol/gであって、(b)大西パラメーターが3.5以下、リングパラメーターが0.35以上である重合性化合物Xを全重合性化合物に対して40〜95質量%の範囲で含有し、(c)更に、重合性基を3つ以上有する重合性化合物Cを全重合性化合物に対して5〜20質量%の範囲で含有し(d)組成物の25℃における粘度が溶剤を含まない状態で3〜8000mPa・sの範囲であることを特徴とする、硬化性組成物を提供する。
Abstract translation: 对于含有可聚合化合物，（a）中的聚合性化合物的聚合性基团的浓度4.3〜7.5毫摩尔/克，（B）大西参数3.5或更低，环压印的可固化组合物 （重量）的可聚合化合物X中所含的40〜95％的范围内的参数是0.35或以上，相对于总聚合性化合物，（c）的加成，具有可聚合基团的至少三个总聚合性聚合性化合物C 其中粘度在25℃下对含有在5至20％（重量）（d）该组合物是在范围3〜8000mPa·s以下的状态下，不含溶剂的化合物，所述固化性组合物 提供。
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公开(公告)号：JP5443931B2
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：JP2009229791
申请日：2009-10-01
Inventor： 宏之 西出 , 武史 伊部 , アルトゥア・ラホヴィッツ , ライナー・フリングス , 祥友 米原
IPC: H01M4/60
CPC classification number: Y02E60/12
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