公开(公告)号：JPS5730348A

公开(公告)日：1982-02-18

申请号：JP8123681

申请日：1981-05-29

Applicant: Ibm

Inventor： KENESU CHIYANGU ,  JIYOOJI TEINNCHIYU CHIU ,  ANSONII JIYON HOOGU JIYUNIA ,  RINDA UWAACHIYUN RII

IPC: H01L21/3213 ,  G03F7/00 ,  H05K3/00 ,  H05K3/06 ,  H05K3/10 ,  H05K3/14 ,  H05K3/16 ,  H05K3/46

CPC classification number: G03F7/0035 ,  H05K3/0041 ,  H05K3/064 ,  H05K3/107 ,  H05K3/146 ,  H05K3/16 ,  H05K3/465 ,  H05K3/467 ,  H05K2201/0166 ,  H05K2201/0376 ,  H05K2201/09563 ,  H05K2203/0588 ,  H05K2203/0786 ,  H05K2203/095