感放射線性樹脂組成物及びその製造方法並びにレジストパターン形成方法

    公开(公告)号:JPWO2019172054A1

    公开(公告)日:2021-04-08

    申请号:JP2019007675

    申请日:2019-02-27

    Abstract: 欠陥抑制性、LWR性能及び感度に優れる感放射線性樹脂組成物の提供を目的とする。本発明は、下記式(1)で表される第1構造単位及び下記式(2)で表され、酸解離性基を含む第2構造単位を有する重合体と、放射線の照射により第1酸を発生する第1酸発生剤と、放射線の照射により第2酸を発生する第2酸発生剤を含有し、上記第1酸発生剤から発生する第1酸が、80℃以上140℃以下の温度条件で1分間加熱した際に上記重合体中の上記酸解離性基を解離させる酸であり、上記第2酸発生剤から発生する第2酸が、上記条件下で実質的に上記酸解離性基を解離させない酸であり、上記重合体のゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量の数平均分子量に対する比(Mw/Mn)が、1.5より小さい感放射線性樹脂組成物である。

    グラフト共重合体の製造方法、重合体組成物、粘着剤及び重合体
    5.
    发明专利
    グラフト共重合体の製造方法、重合体組成物、粘着剤及び重合体 审中-公开
    共聚物,聚合物组合物,胶粘剂和聚合物的生产方法

    公开(公告)号:JP2015229689A

    公开(公告)日:2015-12-21

    申请号:JP2014114875

    申请日:2014-06-03

    Abstract: 【課題】ゲル化を抑制でき、安定性の高いグラフト共重合体を製造する。 【解決手段】チオカルボニルチオ化合物(A)の存在下で、ラジカル重合性不飽和結合を有する単量体(B)を重合する重合工程を含む製造方法により、側鎖に二重結合を有する重合体(D)を単量体(B)でグラフト化したグラフト共重合体を製造する。具体的には、[1]チオカルボニルチオ化合物(A)及び側鎖に二重結合を有する重合体(D)の存在下で単量体(B)を重合する方法、[2]上記重合工程、及び該重合工程により得られる重合生成物と側鎖に二重結合を有する重合体(D)とをラジカル発生剤の存在下で反応させる工程を含む方法を含む。 【選択図】なし

    Abstract translation: 要解决的问题:制备能够抑制凝胶化并且具有高稳定性的接枝共聚物。溶解性:接枝共聚物通过在侧链中与单体(B)接枝具有双键的聚合物(D),通过 使用包含在硫代羰基 - 硫代化合物(A)的存在下聚合具有自由基聚合性不饱和键的单体(B)的聚合步骤的制备方法。 具体地说,该方法包括[1]在硫代羰基硫代化合物(A)和侧链具有双键的聚合物(D)的存在下使单体(B)聚合的方法,[2] 包括聚合步骤和使通过聚合步骤获得的聚合产物与在侧链中具有双键的聚合物(D)在自由基发生剂存在下反应的步骤。

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