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公开(公告)号：JP6393546B2
公开(公告)日：2018-09-19
申请号：JP2014153199
申请日：2014-07-28
Applicant: 東京応化工業株式会社
IPC: B82Y40/00 , B82Y30/00 , H01L21/027 , H01L21/312 , H01L21/3065
CPC classification number: C08L53/00 , B05D1/185 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , B82B3/00 , C09D153/00
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公开(公告)号：JP6377749B2
公开(公告)日：2018-08-22
申请号：JP2016538580
申请日：2014-12-11
Applicant: アルケマ フランス , セントレ ナショナル ドゥ ラ レシェルシェ サイエンティフィーク , アンスティチュ ポリテクニーク ドゥ ボルドー , ユニヴェルシテ・ドゥ・ボルドー
Inventor： ムムタズ, ムハンマド , アイス, カリム , ブロション, シリル , クルテ, エリク , フルーリー, ギヨーム , ハジオアノウ, ジョルジュ , ナヴァロ, クリストフ , ニコレ, セリア , シュバリエ, ザビエル
IPC: B82Y40/00 , B82Y30/00 , H01L21/3065 , H01L21/027 , C08G77/60 , C08L83/16 , C08J5/00
CPC classification number: C09D153/00 , B05D1/005 , B05D1/28 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C08G77/60 , G03F7/0002 , H01L21/0271 , Y10S977/892
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公开(公告)号：JP6247823B2
公开(公告)日：2017-12-13
申请号：JP2013022794
申请日：2013-02-08
Applicant: ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー , Rohm and Haas Electronic Materials LLC , ダウ グローバル テクノロジーズ エルエルシー
Inventor： ピーター・トレフォナス・ザ・サード , シー−ウェイ・チャン , フィリップ・デネ・フスタッド , エリン・ベス・フォーゲル
IPC: C08J7/02 , C08F220/22 , C08F220/02
CPC classification number: B81C1/00031 , G03F7/0002 , B44C1/227 , B81C2201/0149 , Y10T428/24802
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公开(公告)号：JP2017534474A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：JP2017520541
申请日：2015-11-10
Applicant: ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド
Inventor： カーター，デーヴィッド，ジェイ．
CPC classification number: C09J7/00 , B81C1/00206 , B81C2201/0149
Abstract: マイクロスケール物体のアセンブリの方法は、基板の表面上に第1の機能性部位のパターンを形成するステップと、基板の表面を、第1のマイクロスケール原材料要素の第1の部分上で、第1の機能性部位に相補的である第2の機能性部位により機能性を付与され、第1のマイクロスケール原材料要素の第2の部分上で第3の機能性部位により機能性を付与されている第1のマイクロスケール原材料要素を含む第1の液体懸濁液と接触させるステップと、第1のマイクロスケール原材料要素の第1の部分を基板の表面とアラインメントさせるステップと、第2の機能性部位を第1の機能性部位に結合して基板の表面上に第1のマイクロスケール原材料要素の第1の微細構造パターンを形成することを円滑にするステップとを含む。
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公开(公告)号：JP6138137B2
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：JP2014532437
申请日：2012-10-02
Applicant: エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.
Inventor： ニューエン,タン , フィンデルス,ヨゼフ , ケテラース,ウィルヘルムス , ウイスター,サンダー , ヴァン デル ヘイデン,エディー , メッセン,ヒエロニーモス , コール,ロエロフ , ピータース,エミール , ヴァン ヘース,クリス , ブリツァード,アウレリー , ボーツ,ヘンリ , ドルツィニナ,タマラ , デ ルイター,ジェシカ
IPC: B82Y30/00 , B82Y40/00 , H01L21/027
CPC classification number: C30B1/12 , B81C1/00031 , G03F7/0002 , B81C2201/0149 , B82Y30/00 , H01L21/0337 , Y10T117/10
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017088762A
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：JP2015221692
申请日：2015-11-11
Applicant: 国立大学法人名古屋大学 , Nagoya Univ , 株式会社堀場エステック , Horiba Ltd
Inventor： TAKANO ATSUSHI , TAKAKUWA MAI , YAMADA KYOTARO , MATSUSHITA HIROHIDE , HIRAHARA KAZUHIRO , HIMI TOMOYUKI , KAWAGUCHI YUKIO , KOSAKA AKIMASA
IPC: C08F297/02 , B82Y5/00 , B82Y20/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , H01L21/027
CPC classification number: C08F293/005 , B81C2201/0149 , C08F297/02 , C08J5/18 , C08J7/04 , C08J7/047 , C08J2353/00 , C08J2400/00
Abstract: 【課題】ミクロ相分離不良部位に基づく欠陥を低減でき、しかも、微細及び微小な繰り返しパターンを形成できる自己組織化用高分子材料、自己組織化膜、自己組織化膜の製造方法、パターン及びパターンの形成方法を提供すること。【解決手段】本発明の自己組織化用高分子材料は、特定構造を有する構成単位を主体とする第1重合体ブロックと、特定構造を有する構成単位を主体とする第2重合体ブロックとが連結されてなるマルチブロック共重合体を含有することを特徴とする。【選択図】なし
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公开(公告)号：JP2017047623A
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：JP2015173153
申请日：2015-09-02
Applicant: 株式会社東芝
IPC: B29C33/38 , H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: H01L21/0271 , G03F7/0002 , H01L21/3081 , H01L21/3086 , B81C1/00404 , B81C2201/0149 , C09K13/00 , G11B5/8404 , G11B7/263
Abstract: 【課題】 基板上に複数の球状粒子を高密度に配列させることを可能とすることを目的とする。 【解決手段】 実施形態によればパターン形成方法が提供される。該方法は、各々が先細り形状を有している複数の凸部が一方の主面に設けられた基板を準備することを含む。該方法はさらに、径が等しい複数の球状粒子を前記主面に供給して、前記複数の凸部の各々が、隣接した3つの前記球状粒子と前記主面とによって囲まれた領域内に少なくとも部分的に位置するように、前記複数の球状粒子を三角格子状に配列させることを含む。 【選択図】 図2
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公开(公告)号：JP2017502123A
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：JP2016538579
申请日：2014-12-10
Applicant: アルケマ フランス , アルケマ フランス , ユニヴェルシテ・ドゥ・ボルドー , アンスティチュ ポリテクニーク ドゥ ボルドー , アンスティチュ ポリテクニーク ドゥ ボルドー , セントレ ナショナル ドゥ ラ レシェルシェ サイエンティフィーク , セントレ ナショナル ドゥ ラ レシェルシェ サイエンティフィーク
Inventor： ギヨーム フルーリー， , ギヨーム フルーリー， , クリストフ ナヴァロ， , クリストフ ナヴァロ， , ジョルジュ ハジオアノウ， , ジョルジュ ハジオアノウ， , セリア ニコレ， , セリア ニコレ， , ザビエル シュバリエ， , ザビエル シュバリエ， , クリスティーラ ルヴール， , クリスティーラ ルヴール， , ベロニカ カスティーリョ， , ベロニカ カスティーリョ， , ジル ペカステン， , ジル ペカステン，
CPC classification number: C09D187/005 , B01J31/06 , B05D3/06 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , C08F293/005 , C08F2438/02 , C08J9/26 , C09D153/00 , G03F7/0002 , H01L21/0271
Abstract: 本発明は、基材上の自己組織化したブロックコポリマーのフィルムの生産のための方法に関し、前記方法は、非混和性であって化学的性質が異なるランダムコポリマーとブロックコポリマーのブレンドを含有する溶液により、ブロックコポリマーとランダムコポリマーの同時沈着を実施すること、その後、ブロックコポリマーの自己組織化に固有の相分離を促進するアニーリング処理を実施することからなる。【選択図】図1
Abstract translation: 该解决方案本发明涉及一种用于制造在衬底上自组装嵌段共聚物的膜的方法，该方法包括化学混溶包含不同的无规共聚物和嵌段共聚物的共混物 因此，进行嵌段共聚物和无规共聚物的同时沉积，然后，它由在执行退火处理，以促进嵌段共聚物的特定的相分离自组装。 点域1
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公开(公告)号：JP2017502115A
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：JP2016536916
申请日：2014-12-08
Applicant: エルジー・ケム・リミテッド
IPC: C08F293/00
CPC classification number: C08F293/005 , B81C1/00428 , B81C1/00531 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C07C35/48 , C07C43/215 , C07C43/225 , C07C217/84 , C07C2601/16 , C07D209/48 , C07F7/1852 , C08F12/20 , C08F12/22 , C08F12/26 , C08F12/32 , C08F212/14 , C08F220/10 , C08F220/30 , C08F2438/03 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J7/14 , C08J2353/00 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/162
Abstract: 本出願は、ブロック共重合体及びその用途を提供することができる。本出願のブロック共重合体は、優れた自己組織化特性や相分離特性を有し、例えば、エッチング選択性などのような要求される多様な機能も自由に付与することができる。
Abstract translation: 本申请可以提供一种嵌段共聚物及其用途。 本申请的嵌段共聚物，具有优异的自组织性质和相分离的性质，例如，还需要各种功能，诸如蚀刻选择性可自由赋予。
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公开(公告)号：JP2016540083A
公开(公告)日：2016-12-22
申请号：JP2016536924
申请日：2014-12-08
Applicant: エルジー・ケム・リミテッド
IPC: C08F293/00
CPC classification number: C08F293/005 , B81C1/00428 , B81C1/00531 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C07C35/48 , C07C43/215 , C07C43/225 , C07C217/84 , C07C2601/16 , C07D209/48 , C07F7/1852 , C08F12/20 , C08F12/22 , C08F12/26 , C08F12/32 , C08F212/14 , C08F220/10 , C08F220/30 , C08F2438/03 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J7/14 , C08J2353/00 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/162
Abstract: 本出願は、ブロック共重合体及びその用途を提供することができる。本出願のブロック共重合体は、自己組織化特性に優れていて、多様な用途で効果的に適用することができる。
Abstract translation: 本申请可以提供一种嵌段共聚物及其用途。 本申请的嵌段共聚物，具有优异的自组织性质可在各种应用中有效地应用。
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