パターン形成方法及び自己組織化組成物
    9.
    发明专利
    パターン形成方法及び自己組織化組成物 审中-公开
    绘图方法和自组织成分

    公开(公告)号:JP2015170723A

    公开(公告)日:2015-09-28

    申请号:JP2014044442

    申请日:2014-03-06

    申请人: JSR株式会社

    摘要: 【課題】十分に微細なパターンを簡便に形成することができるパターン形成方法の提供を目的とする。 【解決手段】本発明は、ブロック共重合体である第1重合体と、このブロック共重合体よりも表面自由エネルギーが小さい第2重合体とを含有する組成物を用い、上記第2重合体が表層領域に偏在する塗膜を形成する工程、上記塗膜の少なくとも一部を、略垂直方向に相分離させることにより自己組織化膜とする工程、及び上記自己組織化膜の一部の相を除去する工程を備えるパターン形成方法である。上記自己組織化膜は上記第1重合体で構成されることが好ましい。上記第1重合体の表面自由エネルギーから上記第2重合体の表面自由エネルギーを減じた値としては、1mN/m以上20mN/m以下が好ましい。 【選択図】図4

    摘要翻译: 要解决的问题:提供能够方便地形成足够精细图案的图案化方法。解决方案:图案化方法包括通过使用组合物形成第二聚合物不均匀地分布在表面层区域中的涂膜的步骤 含有嵌段共聚物的第一聚合物,所述第二聚合物的表面自由能小于嵌段共聚物的表面自由能,通过在大致垂直方向上的相分离来自组织所述涂膜的至少一部分的步骤,以及步骤 用于去除自组织膜的部分相。 自组织膜优选由第一共聚物组成。 通过从第一聚合物减去第二聚合物的表面自由能获得的值优选为1-20mN / m。

    ブロックコポリマーとブロックの一つの(コ)ポリマーのブレンドから得られる形態を特徴付ける周期の制御方法
    10.
    发明专利
    ブロックコポリマーとブロックの一つの(コ)ポリマーのブレンドから得られる形態を特徴付ける周期の制御方法 有权
    用于控制块状共聚物和块的(CO)聚合物混合物获得的期间特征的方法

    公开(公告)号:JP2015044981A

    公开(公告)日:2015-03-12

    申请号:JP2014149212

    申请日:2014-07-22

    IPC分类号: C08J5/00 C08L53/00

    摘要: 【課題】数nmオーダーのドメインサイズの解像度を持つ、ナノリソグラフィーに用いる、50nmを下廻るスケールでコポリマーを構成するブロックの配置が可能なブロックポリマーリソグラフィー用混合物の提供。【解決手段】ブロックコポリマーとブロックの一つの(コ)ポリマーのブレンドから得られる形態を特徴付ける周期を薄膜中で制御する方法であって、以下の段階を含む方法。(1)ブロックコポリマーの合成であって、前記合成の産物が、ブロックコポリマー及びブロックの一つの(コ)ポリマーを含むようにする、合成と、(2)前記ブロックコポリマーと前記(コ)ポリマーの前記混合物の溶液の、表面上への堆積と、(3)溶媒の蒸発と、(4)アニーリング【選択図】なし

    摘要翻译: 要解决的问题:提供用于光刻的嵌段聚合物共混物,其用于具有几nm左右的畴尺寸的分辨率的纳米光刻技术,并且可以在50nm以下的构成共聚物的嵌段排列 解决方案:控制从嵌段共聚物和其中一个嵌段共聚物(薄膜)的共混物开始形成的表征时间的方法包括以下阶段:(1)合成嵌段共聚物使得产物 的合成包括嵌段共聚物和其中一个嵌段的(共)聚合物; (2)将嵌段共聚物和(共)聚合物的共混物溶液沉积在表面上; (3)蒸发溶剂; 和(4)退火。