公开(公告)号：JP5754377B2

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：JP2011538370

申请日：2010-10-20

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 齊藤 隆一 ,  鄭 康巨 ,  西村 秀樹 ,  酒井 達也

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  H01L21/288 ,  H01L21/8242 ,  H01L27/108 ,  C07F15/00 ,  C07C49/92 ,  C23C16/18

CPC classification number: C23C16/18 ,  C07C49/92 ,  C07F15/0046 ,  H01L21/76843 ,  H01L28/65

公开(公告)号：JP5729307B2

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：JP2011541879

申请日：2010-11-05

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 西村 秀樹 ,  鄭 康巨 ,  齊藤 隆一 ,  酒井 達也 ,  松木 安生

IPC: C23C16/16

CPC classification number: C23C16/18 ,  C07F15/06 ,  C23C16/16 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76873

公开(公告)号：JP5971248B2

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：JP2013524720

申请日：2012-07-17

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 酒井 達也 ,  西村 秀樹 ,  山本 雅浩 ,  中川 恭志 ,  齊藤 隆一 ,  青木 英行 ,  古川 剛

IPC: C07F5/06 ,  C23C16/20 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532 ,  H01L21/8242 ,  H01L27/108 ,  H01L21/285 ,  H01L21/288 ,  C23C16/18

CPC classification number: C23C16/06 ,  C23C16/18 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/32051 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76877

公开(公告)号：JP5817593B2

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：JP2012046393

申请日：2012-03-02

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 酒井 達也 ,  西村 秀樹 ,  中川 恭志 ,  山本 雅浩 ,  青木 英行 ,  齊藤 隆一 ,  古川 剛

IPC: C23C18/14 ,  H01L21/285 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532 ,  C07C211/65 ,  C23C18/10

公开(公告)号：JP5741443B2

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：JP2011543201

申请日：2010-11-09

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 齊藤 隆一 ,  鄭 康巨 ,  西村 秀樹 ,  酒井 達也

IPC: C07F19/00 ,  C23C16/18

CPC classification number: C23C16/16 ,  C07F15/0053 ,  C23C16/06