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公开(公告)号:JP5895757B2
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:JP2012159271
申请日:2012-07-18
Applicant: JSR株式会社
IPC: H01L21/027 , C08F2/50
CPC classification number: G03F7/027 , B29C59/16 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C09D133/14 , G03F7/0002 , G03F7/029 , G03F7/031 , Y10T428/24479
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