公开(公告)号：JP5747468B2

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：JP2010222790

申请日：2010-09-30

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 芹澤 龍一 ,  征矢野 晃雅 ,  浅野 裕介 ,  石井 岳史 ,  柿澤 友洋 ,  松田 恭彦 ,  木元 孝和

IPC: G03F7/039 ,  H01L21/027 ,  G03F7/004

公开(公告)号：JP5834985B2

公开(公告)日：2015-12-24

申请号：JP2012029995

申请日：2012-02-14

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 浅野 裕介 ,  征矢野 晃雅

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/38 ,  C08F20/38 ,  G03F7/039

公开(公告)号：JP5879719B2

公开(公告)日：2016-03-08

申请号：JP2011073725

申请日：2011-03-29

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 芹澤 龍一 ,  笠原 一樹 ,  星子 賢二 ,  中島 浩光 ,  石川 裕也 ,  征矢野 晃雅

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039

公开(公告)号：JP5741210B2

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：JP2011114227

申请日：2011-05-20

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 征矢野 晃雅 ,  冨岡 寛

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004

公开(公告)号：JP5713011B2

公开(公告)日：2015-05-07

申请号：JP2012515932

申请日：2011-05-19

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 浅野 裕介 ,  大泉 芳史 ,  征矢野 晃雅 ,  石井 岳史

IPC: G03F7/039 ,  C08F20/30 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/004 ,  C07C69/653 ,  C07C69/753 ,  C07D307/93 ,  C08F22/18 ,  C08F220/26 ,  C08F24/00 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0382 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/2041 ,  C08F220/24

公开(公告)号：JP6079360B2

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：JP2013065259

申请日：2013-03-26

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 浅野 裕介 ,  征矢野 晃雅

IPC: G03F7/039 ,  C07D327/04 ,  G03F7/004

公开(公告)号：JP5708402B2

公开(公告)日：2015-04-30

申请号：JP2011209301

申请日：2011-09-26

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 征矢野 晃雅 ,  大泉 芳史 ,  芹澤 龍一 ,  柿澤 友洋 ,  浅野 裕介 ,  松田 恭彦 ,  杉江 紀彦

IPC: G03F7/004 ,  H01L21/027 ,  G03F7/039

公开(公告)号：JP5696352B2

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：JP2009140448

申请日：2009-06-11

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 大塚 昇 ,  征矢野 晃雅 ,  島 基之 ,  杉浦 誠

IPC: H01L21/027 ,  C08F20/28 ,  G03F7/039