公开(公告)号：JP6311703B2

公开(公告)日：2018-04-18

申请号：JP2015508390

申请日：2014-03-19

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 中藤 慎也 ,  豊川 郁宏 ,  若松 剛史 ,  滝本 嘉夫 ,  溝口 勝久 ,  岡田 敬 ,  宇野 高明 ,  遠藤 剛 ,  森次 正樹

IPC: C08G65/40 ,  C08L71/08 ,  C07C255/54 ,  G03F7/11

CPC classification number: G03F7/11 ,  C07C255/54 ,  C07D493/10 ,  C08G65/38 ,  C08G65/40 ,  C09D171/00 ,  C09D171/10 ,  G03F7/094 ,  G03F7/16 ,  G03F7/36 ,  H01L21/02118

公开(公告)号：JP6281490B2

公开(公告)日：2018-02-21

申请号：JP2014525853

申请日：2013-07-17

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 元成 正之 ,  滝本 嘉夫 ,  溝口 勝久 ,  松村 裕史 ,  中藤 慎也 ,  香村 和彦 ,  村上 暁

IPC: H01L21/027 ,  C07C69/76 ,  C07C251/68 ,  C08G8/10 ,  G03F7/11

CPC classification number: C07C69/76 ,  C07C69/80 ,  G03F7/091 ,  G03F7/094 ,  H01L21/0271

公开(公告)号：JP6160068B2

公开(公告)日：2017-07-12

申请号：JP2012263224

申请日：2012-11-30

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 中藤 慎也 ,  村上 暁 ,  香村 和彦 ,  松村 裕史 ,  元成 正之 ,  溝口 勝久

IPC: G03F7/11

CPC classification number: G03F7/11 ,  G03F7/091 ,  H01L21/0276