公开(公告)号：JP5874722B2

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：JP2013502277

申请日：2012-02-23

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 峯岸 信也 ,  香村 和彦 ,  中藤 慎也 ,  中野 孝徳

IPC: G03F7/26 ,  C08F220/18 ,  C08F212/02 ,  C08G8/08 ,  C08G10/06 ,  H01L21/027 ,  G03F7/11

CPC classification number: G03F7/09 ,  C08F220/18 ,  C08L61/06 ,  C08L61/12 ,  G03F7/094 ,  G03F7/34 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/31144

公开(公告)号：JP5794228B2

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：JP2012509572

申请日：2011-03-31

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 中藤 慎也 ,  峯岸 信也 ,  香村 和彦 ,  中野 孝徳

IPC: G03F7/11

CPC classification number: G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/091 ,  G03F7/094 ,  G03F7/0955

公开(公告)号：JP5821694B2

公开(公告)日：2015-11-24

申请号：JP2012042500

申请日：2012-02-28

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 峯岸 信也 ,  松村 裕史 ,  中藤 慎也 ,  香村 和彦 ,  中野 孝徳 ,  村上 暁 ,  保田 慶友 ,  杉浦 誠

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/11

CPC classification number: G03F7/091 ,  C08G8/08 ,  C08L61/06 ,  G03F7/094

公开(公告)号：JP6064360B2

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：JP2012098261

申请日：2012-04-23

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 松村 裕史 ,  峯岸 信也 ,  村上 暁 ,  庵野 祐亮 ,  中藤 慎也 ,  香村 和彦 ,  保田 慶友

IPC: G03F7/42 ,  H01L21/027 ,  G03F7/11

CPC classification number: G03F7/027 ,  B44C1/22 ,  C07D407/12 ,  C07D487/04 ,  G03F7/004 ,  G03F7/11 ,  H05K1/00

公开(公告)号：JP6281490B2

公开(公告)日：2018-02-21

申请号：JP2014525853

申请日：2013-07-17

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 元成 正之 ,  滝本 嘉夫 ,  溝口 勝久 ,  松村 裕史 ,  中藤 慎也 ,  香村 和彦 ,  村上 暁

IPC: H01L21/027 ,  C07C69/76 ,  C07C251/68 ,  C08G8/10 ,  G03F7/11

CPC classification number: C07C69/76 ,  C07C69/80 ,  G03F7/091 ,  G03F7/094 ,  H01L21/0271

公开(公告)号：JP6160068B2

公开(公告)日：2017-07-12

申请号：JP2012263224

申请日：2012-11-30

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 中藤 慎也 ,  村上 暁 ,  香村 和彦 ,  松村 裕史 ,  元成 正之 ,  溝口 勝久

IPC: G03F7/11

CPC classification number: G03F7/11 ,  G03F7/091 ,  H01L21/0276

公开(公告)号：JP6146305B2

公开(公告)日：2017-06-14

申请号：JP2013538506

申请日：2012-10-02

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 香村 和彦 ,  峯岸 信也 ,  森 隆 ,  保田 慶友 ,  滝本 嘉夫 ,  中藤 慎也 ,  木村 徹

IPC: G03F7/26 ,  H01L21/027 ,  G03F7/11

CPC classification number: H01L21/3081 ,  G03F7/094 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/033 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31138

公开(公告)号：JP5910500B2

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：JP2012536407

申请日：2011-09-22

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 峯岸 信也 ,  村上 暁 ,  松村 裕史 ,  香村 和彦 ,  滝本 嘉夫 ,  中藤 慎也 ,  保田 慶友

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/42 ,  G03F7/26

CPC classification number: G03F7/004 ,  C08G8/08 ,  C08G8/22 ,  C08G8/28 ,  C09D161/06 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  G03F7/26 ,  G03F7/40