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    Method for cutting workpiece
    4.
    发明专利
    Method for cutting workpiece 有权
    切割工件的方法

    公开(公告)号：JP2010005773A

    公开(公告)日：2010-01-14

    申请号：JP2008171057

    申请日：2008-06-30

    申请人： Shin Etsu Handotai Co Ltd ,  信越半導体株式会社

    发明人： KITAGAWA KOJI ,  TOMII KAZUYA

    IPC分类号： B24B27/06 ,  B28D5/04

    CPC分类号： B28D5/045 ,  B24B27/0633 ,  B28D5/0088

    摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for cutting a workpiece which can accurately cut a workpiece with a wire saw to prepare a wafer having a good warp shape. SOLUTION: In the method, a cylindrical workpiece held on a workpiece holder is pressed against a wire line formed of a wire spirally wound between a plurality of wire guides. The wire is travelled while supplying slurry into a contact part between the workpiece and the wire to cut the workpiece in a wafer form. In this case, the workpiece is cut in such a manner that the axial direction of the workpiece is inclined to a plane formed by the wire line. The workpiece is cut after inclination such that the workpiece on its side remote from the plane of the wire line is extended in an axial direction of the wire guide. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

    摘要翻译： 要解决的问题：提供一种切割可以用线锯精确切割工件的工件的方法，以制备具有良好经纱形状的晶片。 解决方案：在该方法中，保持在工件保持器上的圆柱形工件被压在由螺旋形缠绕在多个导线器之间的线形成的线路上。 在将浆料供给到工件和线之间的接触部分中以将晶片形式切割成工件的同时，将线移动。 在这种情况下，工件被切割成使得工件的轴向倾斜于由线路形成的平面。 工件在倾斜之后被切割，使得远离线的平面的工件在导线器的轴向方向上延伸。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

    インゴット鋸引き方法及びシステム
    6.
    发明专利
    インゴット鋸引き方法及びシステム 审中-公开
    井下方法和系统

    公开(公告)号：JP2016000454A

    公开(公告)日：2016-01-07

    申请号：JP2015115728

    申请日：2015-06-08

    申请人： アプライド マテリアルズ スウィッツァーランド エス アー エール エル

    发明人： メルケ, ギュム ,  シュミット, アンドレアス ,  ミタズ, アレクサンドル

    IPC分类号： H01L21/304 ,  B28D5/04 ,  B24B27/06

    CPC分类号： B28D5/045 ,  B23D57/0046 ,  B28D5/0064 ,  B28D5/0088

    摘要： 【課題】シリコン、石英ブロックなどの硬脆材料の切断に使われるワイヤソーのワイヤの損傷や破損によるコスト、スループットが改善される加工方法を提案する。 【解決手段】インゴット600鋸引き方法、ワイヤソー用インゴットフィードシステムを含むワイヤソーによる加工方法。インゴット鋸引き方法は、インゴットを回転軸318周囲で回転させながら、ワイヤソーのワイヤウェブ111に向かう切削方向にインゴットをフィードすることを含み、回転軸とワイヤウェブとの間の距離は、±10mm、詳細には±5mm、詳細には±2、5mmよりも小さい。また、ワイヤボウ監視システムにより監視されたワイヤボウに基づき切削処理パラメータを制御する。さらにインゴットフィードシステムによる制御も含まれる方法である。 【選択図】図3A

    摘要翻译： 要解决的问题：提供一种加工方法，其提高由于在切割硅和石英块等的外壳材料中使用的线锯的线的损坏和断裂而导致的成本和生产量。解决方案：对于锭600锯切方法和 通过包括线锯锭进给系统的线锯的加工方法，锭锭切割方法包括沿着切割方向将锭锭送入线锯的丝网111，同时围绕旋转轴318转动锭子。 旋转轴和丝网小于±10mm，特别是±5mm，更特别地±2.5mm。 另外，基于由弓形弓监视系统监视的线弓来控制切割加工参数。 此外，该方法包括锭进料系统的控制。